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濕式噴砂裝置以及濕式噴砂方法與流程

文檔序號:11912954閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種濕式噴砂裝置以及噴砂方法,濕式噴砂裝置包括漿料提供單元、連接漿料提供單元的漿料傳遞單元以及連接漿料傳遞單元的漿料輸出單元。漿料輸出單元具有沿第一方向延伸的條狀開口。條狀開口與待處理的基板沿不平行于第一方向的第二方向相對移動,且條狀開口的長度大于或等于基板在第一方向上的最大長度。濕式噴砂方法可縮短傳統(tǒng)濕式噴砂處理的時間,且濕式噴砂裝置可改善傳統(tǒng)因作用區(qū)域重疊而產(chǎn)生的斑馬紋現(xiàn)象,從而提升噴砂處理的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員:劉俊毅;林文信;鄭學(xué)鴻;王秋迪
受保護的技術(shù)使用者:綠能科技股份有限公司
文檔號碼:201510390118
技術(shù)研發(fā)日:2015.07.06
技術(shù)公布日:2016.12.07

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