電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于一種電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置，包括潘寧放電管的殼體（17），其特征在于在殼體（17）的腔內(nèi)裝有磁過濾筒（5），磁過濾筒（5）與殼體（17）之間纏有弧斑驅(qū)動(dòng)電磁線圈（1）、磁鏡線圈A（3）和磁鏡線圈B（16）；在磁鏡阱（8）兩端的磁過濾筒（5）的內(nèi)側(cè)裝有絕緣環(huán)（11），在右側(cè)的絕緣環(huán)（11）內(nèi)裝有放電陰極環(huán)二（9），放電陰極環(huán)二（9）中心設(shè)有等離子體逸出通道（10），在左側(cè)的絕緣環(huán)（11）內(nèi)裝有放電陰極環(huán)一（4）；在放電陰極環(huán)一（4）左側(cè)中心裝有陰極電弧靶（2）。該實(shí)用新型通過二次放電，大大的降低大顆粒液滴對(duì)真空電弧膜層的污染，提高了真空電弧膜層的質(zhì)量和速率。
【專利說明】電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于真空離子鍍膜設(shè)備，特別涉及一種電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在真空離子鍍膜中，為進(jìn)一步減少濾筒中的大顆粒及液滴，同時(shí)又不至于損失能量，在濾筒中加裝了一個(gè)潘寧放電管，等離子體在潘寧放電管中進(jìn)行二次加強(qiáng)放電。
[0003]我們通過對(duì)各種技術(shù)資料的研究和實(shí)驗(yàn)得知:在常規(guī)真空電弧放電時(shí)，迅速轉(zhuǎn)入低溫狀態(tài)的大顆粒及液滴在距離電弧陰極表面5_時(shí)出現(xiàn)；在液滴運(yùn)動(dòng)的整個(gè)過程中，等離子體參數(shù)的變化強(qiáng)烈的影響到耐熔金屬微滴的演變過程，微滴斑點(diǎn)很容易在耐熔材料上形成，造成對(duì)真空電弧膜層的污染，影響鍍膜質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足，提供一種通過潘寧放電管的二次放電，使微滴在通過等離子體的運(yùn)動(dòng)過程中，獲得能量進(jìn)行二次蒸發(fā)“燃燒”，有效地降低大顆粒微滴對(duì)真空電弧膜層污染的電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置。
[0005]本實(shí)用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置，包括潘寧放電管的殼體，其特征在于在殼體的腔內(nèi)裝有磁過濾筒，磁過濾筒與殼體之間纏有弧斑驅(qū)動(dòng)電磁 線圈、磁鏡線圈A和磁鏡線圈B ;在磁過濾筒的內(nèi)壁裝有絕緣層，絕緣層的內(nèi)壁裝有放電陽極板，放電陽極板內(nèi)構(gòu)成一個(gè)磁鏡阱；在磁鏡阱兩端的磁過濾筒的內(nèi)側(cè)裝有絕緣環(huán)，在右側(cè)的絕緣環(huán)內(nèi)裝有放電陰極環(huán)二，放電陰極環(huán)二中心設(shè)有等離子體逸出通道，在左側(cè)的絕緣環(huán)內(nèi)裝有放電陰極環(huán)一；在放電陰極環(huán)一左側(cè)中心裝有陰極電弧靶。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果是:該實(shí)用新型通過二次放電，使電弧陰極蒸發(fā)的等離子體在潘寧放電管中構(gòu)成更熱更密的等離子體，使微滴在通過等離子體的運(yùn)動(dòng)過程中，獲得能量進(jìn)行二次蒸發(fā)“燃燒”，大大的降低大顆粒液滴對(duì)真空電弧膜層的污染，二次蒸發(fā)后的液滴參與薄膜沉積，提高了真空電弧膜層的質(zhì)量和速率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]以下結(jié)合附圖以實(shí)施例具體說明。
[0008]圖1是電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置的主視剖視圖。
[0009]圖中:1-弧斑驅(qū)動(dòng)電磁線圈；2-陰極電弧靶；3-磁鏡線圈A ;4_放電陰極環(huán)一；5-磁過濾筒；6_絕緣層；7_放電陽極板；8_磁鏡阱；9_放電陰極環(huán)二 ；10_等離子體逸出通道；11-絕緣環(huán)；12-等離子體逸出通道接頭；13-磁過濾筒端蓋；14-密封圈；15_端蓋；16-磁鏡線圈B ；17-殼體?！揪唧w實(shí)施方式】
[0010]實(shí)施例，參照附圖，一種電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置，包括潘寧放電管的殼體17，其特征在于在殼體17的腔內(nèi)裝有磁過濾筒5，磁過濾筒5與殼體17之間纏有弧斑驅(qū)動(dòng)電磁線圈1、磁鏡線圈A3和磁鏡線圈B16 ;在磁過濾筒5的內(nèi)壁裝有絕緣層6，絕緣層6的內(nèi)壁裝有放電陽極板7，放電陽極板7內(nèi)構(gòu)成一個(gè)磁鏡阱8 ;在磁鏡阱8兩端的磁過濾筒5的內(nèi)側(cè)裝有絕緣環(huán)11，在右側(cè)的絕緣環(huán)11內(nèi)裝有放電陰極環(huán)二 9，放電陰極環(huán)二 9中心設(shè)有等離子體逸出通道10，在左側(cè)的絕緣環(huán)11內(nèi)裝有放電陰極環(huán)一 4 ;在放電陰極環(huán)一 4左側(cè)中心裝有陰極電弧祀2。殼體17和磁過濾筒5的右端裝有端蓋15和磁過濾筒端蓋13,在磁過濾筒端蓋13上裝有密封圈14 ;在磁過濾筒端蓋13上裝有等離子體逸出通道接頭12。
【權(quán)利要求】
1.一種電弧蒸發(fā)源二次放電細(xì)化顆粒裝置，包括潘寧放電管的殼體(17)，其特征在于在殼體(17)的腔內(nèi)裝有磁過濾筒(5)，磁過濾筒(5)與殼體(17)之間纏有弧斑驅(qū)動(dòng)電磁線圈(I)、磁鏡線圈A (3)和磁鏡線圈B (16);在磁過濾筒(5)的內(nèi)壁裝有絕緣層(6)，絕緣層(6)的內(nèi)壁裝有放電陽極板(7)，放電陽極板(7)內(nèi)構(gòu)成一個(gè)磁鏡阱(8);在磁鏡阱(8)兩端的磁過濾筒(5 )的內(nèi)側(cè)裝有絕緣環(huán)(11)，在右側(cè)的絕緣環(huán)(11)內(nèi)裝有放電陰極環(huán)二( 9 )，放電陰極環(huán)二(9)中心設(shè)有等離子體逸出通道(10)，在左側(cè)的絕緣環(huán)(11)內(nèi)裝有放電陰極環(huán)一(4);在放電陰極環(huán)一(4)左側(cè)中心裝有陰極電弧靶(2)。
【文檔編號(hào)】C23C14/30GK203613257SQ201320826816
【公開日】2014年5月28日 申請(qǐng)日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】陳大民 申請(qǐng)人:陳大民