一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型創(chuàng)造提供一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置，是針對無蠟拋光設備粗拋過程的最后一步使用醋酸時的配液供液裝置，該裝置包括一號液桶、二號液桶、無蠟拋光設備和總控制系統(tǒng)。本實用新型創(chuàng)造不需要停機便可以按要求進行配液和供液，可以保持拋光設備連續(xù)運行較長時間，具有結(jié)構(gòu)簡單，控制容易，制造成本低，維護費用少，安全性高，穩(wěn)定性好的優(yōu)點，可較好的應用于無蠟拋光設備的拋光過程中。
【專利說明】一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置
【技術(shù)領域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造涉及設備配液、供液技術(shù)，特別涉及一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]無蠟拋光是利用Peter Wolters FL12P拋光機用化學機械拋光(CMP)的方法進行拋光。其中粗拋過程的最后一步需要利用醋酸來中和掉一部分拋光液的堿性，而原有的方法是將醋酸溶液按一定比例配好后，手動將其倒在拋光墊上。這種方法在操作上非常復雜，且醋酸溶液量無法有效控制，設備無法實現(xiàn)自動化，工作效率低，無法適應大批量生產(chǎn)的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造針對上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺失，主要目的在于提供了一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置。其可以在不用停機的狀態(tài)下，按要求進行配液和供液。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置，包括一號液桶(I)、二號液桶(2)、無蠟拋光設備(5)和總控制系統(tǒng)(3)，其中一號液桶(I)和二號液桶(2)的進液口通過分管道與總管道(13)的一端連接，一號液桶(I)和二號液桶(2)的出液口通過分管道與總管道(13)的另一端連接，無蠟拋光設備(5)也通過分管道與總管道(13)相連接，位于兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位于兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)(3)通過導線與裝置內(nèi)的各個泵相連接，用于控制泵的開啟和關(guān)閉。
[0006]所述的一號液桶(I)和二號液桶(2)的底部均設置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過導線與設置在總控制系統(tǒng)(3)上的低液位傳感報警器(4)相連接。
[0007]優(yōu)選地，所述一號液桶(I)與二號液桶(2)的容量相同。
[0008]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點和積極效果是:本發(fā)明創(chuàng)造提供的用于無蠟拋光設備的配液供液裝置，在進行無蠟拋光工序時，可以在不用停機的狀態(tài)下，按要求進行配液和供液，實現(xiàn)設備完全自動化，提高了工作效率。具有結(jié)構(gòu)簡單，控制容易，制造成本低，維護費用少，安全性高，穩(wěn)定性好的優(yōu)點，可較好的應用于無蠟拋光設備的拋光過程中。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造的結(jié)構(gòu)示意圖
[0010]圖中:
[0011]1、一號液桶 2、二號液桶 3、總控制系統(tǒng)4、低液位傳感報警器
[0012]5、無臘拋光設備6、低液位傳感器7、一號閥門 8、二號閥門
[0013]9、三號閥門 10、四號閥門 11、一號泵 12、二號泵
[0014]13、總管道【具體實施方式】
[0015]本發(fā)明創(chuàng)造所公開的無蠟拋光設備的配液供液裝置，包括一號液桶1、二號液桶
2、無蠟拋光設備5和總控制系統(tǒng)3，其中一號液桶I和二號液桶2的進液口通過分管道與總管道13的一端連接，一號液桶I和二號液桶2的出液口通過分管道與總管道13的另一端連接，無蠟拋光設備5也通過分管道與總管道13相連接，位于兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位于兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)3通過導線與裝置內(nèi)的各個泵相連接，用于控制泵的開啟和關(guān)閉。
[0016]本發(fā)明創(chuàng)造的配液供液裝置主要由兩個液桶組成，兩個液桶的出液口處均有一個泵使得兩個液桶是相對獨立的，即單一設備即可完成醋酸的配液和供液。除此之外，兩個液桶彼此通過管道相連接形成配液回路，使得一號液桶I內(nèi)的醋酸溶液可以流至二號液桶2內(nèi)，同理二號液桶2內(nèi)的醋酸溶液也可以流至一號液桶I內(nèi)。
[0017]除此之外，在兩個液桶上還裝配了低液位報警裝置，當液桶內(nèi)的液位較低時，低液位傳感器處于打開狀態(tài)，此時連接在傳感器上的報警器便會發(fā)出報警信號，提示操作人員需要進行配液，有效控制了醋酸配液和供液的時間，給生產(chǎn)和操作帶來了很大的方便。
[0018]為了更清楚的理解本發(fā)明，下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明進行進一步詳細描述:
[0019]實施例1
[0020]使用時，首先根據(jù)工藝要求，按照醋酸的配液比例為醋酸:去離子水=1:1000配制酸液，盛放醋酸溶液的一號液桶I容積為35L，所加冰醋酸應為35mL。用帶刻度的量筒量取35mL的冰醋酸倒入配液桶內(nèi)，將純水加入一號液桶I至35L。整個配液過程仍需要人手動完成配液。
[0021]打開一號液桶I進液口處的一號閥門7,出液口處的三號閥門9及一號泵11的開關(guān)，同時關(guān)閉二號液桶2進液口處的二號閥門8，出液口處的四號閥門10及二號泵12的開關(guān)，此時一號液桶I用來供液，二號液桶2米用相同配液方法進行配液。待一號液桶I內(nèi)的液體用完時，再關(guān)閉一號液桶I的相應的閥門和泵的開關(guān)同時打開液桶2的泵和閥門的開關(guān)。此時液桶2供液，同理液桶I可以用來配液。
[0022]實施例2
[0023]與實施例1中的配液方法相同，本實施中是采用固定一個液桶始終用于供液，另一個液桶則用來配液。具體方法為，打開一號液桶I的一號閥門7，三號閥門9及一號泵11的開關(guān)，同時打開二號液桶2的三號閥門8與四號閥門10的開關(guān)并關(guān)閉二號泵12的開關(guān)。使得兩液桶之間形成一個配液回路。在一號液桶I供液時，由于一號泵11的作用，使得一號液桶與二號液桶內(nèi)的液體存在壓力差，因此二號液桶2內(nèi)的溶液會不斷的流向一號液桶I內(nèi)。待二號液桶2內(nèi)溶液完全消失且液桶I內(nèi)的溶液剩余不多時，關(guān)閉配液回路上三號閥門8與四號閥門10，在二號液桶2內(nèi)進行配液。配液完成后再打開三號閥門8與四號閥門10使得兩個液桶之間重新形成配液回路。
[0024]以上對本發(fā)明創(chuàng)造的實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于無蠟拋光設備的配液供液裝置，其特征在于:包括一號液桶(I)、二號液桶(2)、無蠟拋光設備(5)和總控制系統(tǒng)(3)，其中一號液桶(I)和二號液桶(2)的進液口通過分管道與總管道(13)的一端連接，一號液桶(I)和二號液桶(2)的出液口通過分管道與總管道(13)的另一端連接，無蠟拋光設備(5)也通過分管道與總管道(13)相連接，位于兩個液桶進液口處的分管道上分別設置有一個閥門，位于兩個液桶出液口處的分管道上都設置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)(3)通過導線與裝置內(nèi)的各個泵相連接，用于控制泵的開啟和關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的配液供液裝置，其特征在于:所述的一號液桶(I)和二號液桶(2)的底部均設置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過導線與設置在總控制系統(tǒng)(3)上的低液位傳感報警器(4)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的配液供液裝置，其特征在于:所述一號液桶(I)與二號液桶(2)的容量相同。
【文檔編號】B24B37/34GK203579399SQ201320803506
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月5日
【發(fā)明者】劉建偉, 秦焱澤, 嚴政先, 董建斌, 呂瑩 申請人:天津中環(huán)領先材料技術(shù)有限公司