專利名稱：石墨舟陶瓷桿的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種陶瓷桿，特別涉及一種石墨舟陶瓷桿。
背景技術(shù)：
太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道程序叫做PECVD鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，經(jīng)過一定的條件產(chǎn)生化學(xué)反映，在娃片表面鍍上一層膜。石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率，現(xiàn)有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷桿、石墨桿、石墨隔塊等石墨配件。其工作原理為將未鍍膜的硅片放在石墨舟片的卡點(diǎn)上，每個舟片上可放固定數(shù)量的硅片，然后，將石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備的墻體內(nèi)，采用PECVD工藝進(jìn)行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。石墨舟上固定有不同數(shù)量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷桿穿套起來的。石墨舟在使用一定次數(shù)后，石墨舟上各部分表面上會被鍍上一層氮化硅，此時需要采用適當(dāng)濃度的氫氟酸來清洗石墨舟，再用清水清洗，現(xiàn)有石墨舟陶瓷桿上沒有排水的通道，使得氫氟酸不能有效排除，殘留的氫氟酸加速了陶瓷桿的腐蝕速度，陶瓷桿易斷，工業(yè)生產(chǎn)中需經(jīng)常更換陶瓷桿。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是解決上述不足，提供一種具有導(dǎo)流槽，能有效排除氫氟酸的陶瓷桿。實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的技術(shù)方案是一種石墨舟陶瓷桿，包括兩個端部的螺紋段，中間的光桿其特征在于光桿上開設(shè)有導(dǎo)流槽。上述石墨舟陶瓷桿，所述導(dǎo)流槽為沿軸向水平開設(shè)。上所述石墨舟陶瓷桿，所述導(dǎo)流槽為沿軸向與水平成角度開設(shè)。上述石墨舟陶瓷桿，所述導(dǎo)流槽為沿軸向與水平成5°角開設(shè)。本實(shí)用新型具有積極的效果(1)結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用；(2)開設(shè)導(dǎo)流槽能有效的使氫氟酸引流出去，能有效延長陶瓷桿的使用壽命。
為了使本實(shí)用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。其中1螺紋段，2光桿，3導(dǎo)流槽。
具體實(shí)施方式
[0014]實(shí)施例(I)見圖I，本實(shí)用新型具有頭尾兩個端部的螺紋段1，中間的光桿2，在光桿2上沿軸向水平開設(shè)有導(dǎo)流槽3。使用時，清洗完石墨舟后，殘留的氫氟酸會順著導(dǎo)流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟 ，清水也能快速從導(dǎo)流槽3中流出，再進(jìn)行清洗的后續(xù)步驟。以上所述的具體實(shí)施例，對本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種石墨舟陶瓷桿，包括兩個端部的螺紋段(1)，中部的光桿(2)其特征在于光桿(2)上開設(shè)有導(dǎo)流槽(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述石墨舟陶瓷桿，其特征在于所述導(dǎo)流槽(3)為沿軸向水平開設(shè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述石墨舟陶瓷桿，其特征在于所述導(dǎo)流槽(3)為沿軸向與水平成角度開設(shè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述石墨舟陶瓷桿，其特征在于所述導(dǎo)流槽(3)為沿軸向與水平成5°角開設(shè)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種石墨舟陶瓷桿，包括兩個端部的螺紋段，中部的光桿，光桿上開設(shè)有導(dǎo)流槽，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)用；開設(shè)導(dǎo)流槽能有效的使氫氟酸引流出去，能有效延長陶瓷桿的使用壽命。
文檔編號C23C16/458GK202797045SQ20122040414
公開日2013年3月13日 申請日期2012年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月15日
發(fā)明者吳建洪 申請人:常州市立新石墨有限公司