專利名稱：Pecvd載板導(dǎo)軌的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及光伏行業(yè)的電池片鍍膜設(shè)備，具體地說是一種用于板式PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的載板導(dǎo)軌。
背景技術(shù)：
C/C復(fù)合載板是板式PECVD中承載電池片的重要工藝裝備。如圖I所示，載板I在設(shè)備上的循環(huán)運(yùn)動(dòng)是通過固定在載板底下的石墨墊片2與C/C復(fù)合導(dǎo)軌3來實(shí)現(xiàn)的，C/C復(fù)合載板I、石墨墊片2、C/C復(fù)合導(dǎo)軌3三者是通過螺絲螺母完成緊固的。運(yùn)動(dòng)時(shí)，C/C復(fù)合導(dǎo)軌3置于設(shè)備的滾輪上，滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)通過摩擦將動(dòng)力提供給C/C復(fù)合導(dǎo)軌3并使C/C復(fù)合載板I完成在設(shè)備上的循環(huán)運(yùn)動(dòng)。此導(dǎo)軌3由于中間安裝一個(gè)石墨墊片2，石墨墊片2與 C/C復(fù)合導(dǎo)軌3的安裝會(huì)累積安裝誤差，使得導(dǎo)軌3安裝精度降低；另外，設(shè)備上的滾輪為不銹鋼材料，在運(yùn)動(dòng)過程中容易對C/C復(fù)合導(dǎo)軌3產(chǎn)生磨損，大幅降低了導(dǎo)軌3的使用壽命和維護(hù)周期。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對上述問題，提供一種PECVD載板導(dǎo)軌，該導(dǎo)軌安裝精度高，并且使用壽命長。按照本實(shí)用新型的技術(shù)方案一種PECVD載板導(dǎo)軌，包括長方體形狀的導(dǎo)軌本體，所述導(dǎo)軌本體的材料為不銹鋼，直接固定在載板上，所述導(dǎo)軌本體沿長度方向的上下兩個(gè)平面上開有貫穿的多個(gè)螺絲孔，所述導(dǎo)軌本體沿長度方向的左右兩個(gè)側(cè)面上開有多個(gè)凹槽。每個(gè)所述凹槽分別位于相鄰的兩個(gè)所述螺絲孔之間。所述多個(gè)螺絲孔均布在所述導(dǎo)軌本體上。所述凹槽的長度小于所述螺絲孔的間距。所述導(dǎo)軌本體兩側(cè)的所述凹槽沿多個(gè)所述螺絲孔軸線所在的面對稱分布。本實(shí)用新型的技術(shù)效果在于本實(shí)用新型直接固定在載板上，為一體式導(dǎo)軌，提高了導(dǎo)軌本身的精度與導(dǎo)軌的安裝精度；導(dǎo)軌材料采用不銹鋼，大幅提高了壽命和導(dǎo)軌的維護(hù)成本；導(dǎo)軌兩側(cè)面加工的凹槽可降低導(dǎo)軌的重量。

圖I為現(xiàn)有技術(shù)中的導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2中的A-A剖視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。[0014]圖廣圖3中，包括C/C復(fù)合載板I、石墨墊片2、C/C復(fù)合導(dǎo)軌3、導(dǎo)軌本體4、螺絲孔5、凹槽6等。如圖2所示，本實(shí)用新型是一種PECVD載板導(dǎo)軌，包括長方體形狀的導(dǎo)軌本體4，導(dǎo)軌本體4的材料為不銹鋼，直接固定在C/C復(fù)合載板I上，導(dǎo)軌本體4的高度H為傳統(tǒng)載板的C/C復(fù)合導(dǎo)軌3與石墨墊片2的高度之和。導(dǎo)軌本體4沿長度方向的上下兩個(gè)平面上開有貫穿的多個(gè)螺絲孔5，多個(gè)螺絲孔5均布在導(dǎo)軌本體4上。由于不銹鋼導(dǎo)軌的重量比C/C復(fù)合材料導(dǎo)軌的重量重，因此在導(dǎo)軌本體4沿長度方向的左右兩個(gè)側(cè)面上開有多個(gè) 凹槽6。每個(gè)凹槽6分別位于相鄰的兩個(gè)螺絲孔5之間，凹槽6的長度L2小于螺絲孔5的間距LI。如圖3所示，導(dǎo)軌本體4兩側(cè)的凹槽6沿多個(gè)螺絲孔5軸線所在的面對稱分布。本實(shí)用新型將現(xiàn)有技術(shù)中的C/C復(fù)合導(dǎo)軌與石墨墊片組合的方式，變?yōu)橐惑w式導(dǎo)軌，因此加工制造無累積誤差，安裝過程中減低了誤差積累，提高了導(dǎo)軌本身的精度與導(dǎo)軌的安裝精度；本實(shí)用新型采用優(yōu)質(zhì)合金不銹鋼替代原C/C復(fù)合材料，大幅提高了壽命和導(dǎo)軌的維護(hù)成本；本實(shí)用新型在導(dǎo)軌兩側(cè)面加工的凹槽可降低導(dǎo)軌的重量。
權(quán)利要求1.一種PECVD載板導(dǎo)軌，包括長方體形狀的導(dǎo)軌本體(4)，其特征是所述導(dǎo)軌本體(4)的材料為不銹鋼，直接固定在載板(I)上，所述導(dǎo)軌本體(4)沿長度方向的上下兩個(gè)平面上開有貫穿的多個(gè)螺絲孔(5)，所述導(dǎo)軌本體(4)沿長度方向的左右兩個(gè)側(cè)面上開有多個(gè)凹槽(6)。
2.按照權(quán)利要求I所述的PECVD載板導(dǎo)軌，其特征是每個(gè)所述凹槽(6)分別位于相鄰的兩個(gè)所述螺絲孔(5)之間。
3.按照權(quán)利要求2所述的PECVD載板導(dǎo)軌，其特征是所述多個(gè)螺絲孔(5)均布在所述導(dǎo)軌本體(4)上。
4.按照權(quán)利要求3所述的PECVD載板導(dǎo)軌，其特征是所述凹槽(6)的長度(L2)小于所述螺絲孔(5)的間距(LI)。
5.按照權(quán)利要求I所述的PECVD載板導(dǎo)軌，其特征是所述導(dǎo)軌本體(4)兩側(cè)的所述凹槽(6)沿多個(gè)所述螺絲孔(5)軸線所在的面對稱分布。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于光伏行業(yè)的PECVD載板導(dǎo)軌，包括長方體形狀的導(dǎo)軌本體，所述導(dǎo)軌本體的材料為不銹鋼，直接固定在載板上，所述導(dǎo)軌本體沿長度方向的上下兩個(gè)平面上開有貫穿的多個(gè)螺絲孔，所述導(dǎo)軌本體沿長度方向的左右兩個(gè)側(cè)面上開有多個(gè)凹槽。本實(shí)用新型直接固定在載板上，為一體式導(dǎo)軌，提高了導(dǎo)軌本身的精度與導(dǎo)軌的安裝精度；導(dǎo)軌材料采用不銹鋼，大幅提高了壽命和導(dǎo)軌的維護(hù)成本；導(dǎo)軌兩側(cè)面加工的凹槽可降低導(dǎo)軌的重量。
文檔編號C23C16/44GK202688434SQ20122030830
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月28日
發(fā)明者尤耀明, 代寧 申請人:無錫綠波新能源設(shè)備有限公司