專利名稱：石墨舟的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種PECVD設備的技術(shù)領域，尤其是一種石墨舟。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的石墨舟使用的安全性比較低，減慢了鍍膜沉積的速度，降低了生產(chǎn)效率，同時降低了鍍膜的質(zhì)量，大大降低了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的石墨舟使用安全性低、鍍膜沉積慢、生產(chǎn)效率低以及鍍膜質(zhì)量低的不足，本實用新型提供了一種石墨舟。 本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種石墨舟，包括舟體、石墨片、插孔、硅片放置區(qū)和陶瓷棒，舟體上設有石墨片，石墨片上設有插孔和硅片放置區(qū)，插孔內(nèi)設有陶瓷棒。根據(jù)本實用新型的另一個實施例，進一步包括硅片放置區(qū)為鏤空型。本實用新型的有益效果是，這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率，同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
以下結(jié)合附圖
和實施例對本實用新型進一步說明。圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中I.舟體，2.石墨片，3.插孔，4.硅片放置區(qū)，5.陶瓷棒。
具體實施方式
如圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，一種石墨舟，包括舟體I、石墨片2、插孔3、硅片放置區(qū)4和陶瓷棒5，舟體I上設有石墨片2，石墨片2上設有插孔3和硅片放置區(qū)4，插孔3內(nèi)設有陶瓷棒5，硅片放置區(qū)4為鏤空型。使用時，舟體I上設有石墨片2，石墨片2四個角上開有插孔3，石墨片2中央設有硅片放置區(qū)4，陶瓷棒5插入插孔3內(nèi)，硅片放置區(qū)4為鏤空型。這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率，同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
權(quán)利要求1.一種石墨舟，包括舟體(I)、石墨片(2)、插孔(3)、硅片放置區(qū)(4)和陶瓷棒(5)，其特征是，舟體(I)上設有石墨片(2)，石墨片(2)上設有插孔(3)和硅片放置區(qū)(4)，插孔(3)內(nèi)設有陶瓷棒(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石墨舟，其特征是，硅片放置區(qū)(4)為鏤空型。
專利摘要本實用新型涉及一種PECVD設備的技術(shù)領域，尤其是一種石墨舟。其包括舟體、石墨片、插孔、硅片放置區(qū)和陶瓷棒，舟體上設有石墨片，石墨片上設有插孔和硅片放置區(qū)，插孔內(nèi)設有陶瓷棒，硅片放置區(qū)為鏤空型。這種石墨舟結(jié)構(gòu)簡單、緊湊并且合理，裝配方便快捷，連接可靠，提高了使用的安全性，鍍膜沉積快，提高了生產(chǎn)效率，同時提高了鍍膜的質(zhì)量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推廣。
文檔編號C23C16/458GK202688444SQ201220306990
公開日2013年1月23日 申請日期2012年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月28日
發(fā)明者沈文偉 申請人:沈文偉