專利名稱：一種新型pecvd設(shè)備專用c/c載板掛鉤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽能電池片的生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種板式PECVD所使用的C/C載板的掛鉤設(shè)計。
背景技術(shù)：
板式PECVD (等離子體增強化學氣相沉積法)工藝運行時，硅片通過載板上的掛鉤定位后傳送進入PECVD設(shè)備腔體完成鍍膜工藝?，F(xiàn)有的掛鉤結(jié)構(gòu)如圖2、圖3所示，在以“下成膜”方式的PECVD設(shè)備中，掛鉤與載板的安裝方式見圖I。由于沉相氣體是由下向上運動，在硅片下表面沉膜，因此在這個方向上掛鉤會遮擋掉一部氣體，因而在硅片表面相應(yīng)部位造成沉膜不均，形成一個鍍膜斑點(見圖8b)，而且該鍍膜斑點的面積大，從而影響電池片的外觀質(zhì)量。并且鍍膜斑點在電池片的 有效區(qū)域內(nèi)(鍍膜斑點位于電池片的柵線內(nèi))，因此影響了電池片的質(zhì)量和絕緣性能。同時由于掛鉤與硅片的接觸部分非常尖銳，且在沉膜的過程中一直與硅片牢牢接觸，因而會造成在這個接觸點上完全沒有沉膜，從而造成電池片絕緣性能降低。同時掛鉤與載板安裝好后，拆卸掛鉤時，容易損傷載板。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明針對上述問題的不足，提出一種鍍膜斑點偏離電池片的有效區(qū)域，而且斑點面積小、絕緣性能高，同時載板易拆卸安裝的新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤。本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題提出的技術(shù)方案是一種新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，用于硅片的定位，包括由下部開口的方形框架制成的第一、第二掛鉤支架；所述方形框架的兩支臂的下端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，且兩個頂片相對設(shè)置；所述第一掛鉤支架的方形框架的兩支臂的低端分別向外設(shè)置有用于硅片的定位的第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的方形框架的一支臂的低端向外設(shè)置有用于硅片的定位的第三掛鉤；且第一掛鉤、第二掛鉤、第三掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向均與方形框架的頂端相背離。優(yōu)選的所述斜坡面的表面呈階梯狀。優(yōu)選的所述斜坡面與載板之間的傾斜角度為33° -35°。優(yōu)選的所述固定桿均為上細下寬。優(yōu)選的所述掛鉤支架的底面為曲面。優(yōu)選的所述掛鉤支架的下部所有交接面均為圓弧過渡。優(yōu)選的所述第一掛鉤、第二掛鉤均為S316不銹鋼制作的掛鉤。本發(fā)明的新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，相比現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果
I.由于包括由下部開口的方形框架制成的第一、第二掛鉤支架；所述方形框架的兩支臂的下端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，且兩個頂片相對設(shè)置，因此在安裝過程中，只需通過旋轉(zhuǎn)頂片即可有效將第一、第二掛鉤支架安裝固定在載板上，因此安裝或者拆卸過程中對載板的損傷小。2.由于所述第一掛鉤支架的底側(cè)的兩端分別設(shè)置有第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的底側(cè)的一端設(shè)置有第三掛鉤，且第一掛鉤、第二掛鉤、第三掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向與掛鉤支架的頂端相背離，因此使用時硅片只有其下邊沿與掛鉤接觸，從而使得鍍膜斑點偏離電池片的有效區(qū)域，且斑點面積也大為縮小，有利于提高電池片的質(zhì)量，同時也大大改善了電池片絕緣性能。3.由于所述斜坡面的表面呈階梯狀，因此硅片在掛鉤上不會滑動，大大方便了生產(chǎn)人員上下片的操作，同時減少了硅片在載板上脫鉤的概率。4.由于所述固定桿均為上細下寬，上部的截面尺寸較小，因而較容易變形，方便了掛鉤的安裝固定。5.由于所述掛鉤支架的底面為曲面，因此確保掛鉤結(jié)構(gòu)強度的前提下，能夠減小·掛鉤的截面積，因而提高腔內(nèi)流的流動性，從而能夠減小掛鉤對工藝氣流的影響?！?.由于所述掛鉤支架的下部所有交接面均為圓弧過渡，因此能夠避免掛鉤因結(jié)構(gòu)上有尖銳部分而產(chǎn)生高壓放電。


圖I是現(xiàn)有的掛鉤與載板的安裝結(jié)構(gòu)示意 圖2是圖I中3 '的結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖2a是圖I中3 '的放大示意圖，圖2b是圖2a的左視 圖3是圖I中4 '的結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖3a是圖I中4 '的放大示意圖，圖3b是圖3a的左視 圖4是本發(fā)明實施例的結(jié)構(gòu)示意 圖5是圖4中3的結(jié)構(gòu)不意 圖6是圖4中4的結(jié)構(gòu)示意 圖7是圖4中A部分的放大示意 圖8是掛鉤沉膜效果圖，其中圖8a是本發(fā)明掛鉤沉膜效果圖，圖Sb現(xiàn)有掛鉤沉膜效果
其中1為載板，2為娃片,3 '為現(xiàn)有第一掛鉤,4 '為現(xiàn)有第二掛鉤,3為第一掛鉤支架，4為第二掛鉤支架，5為頂片，31為第一掛鉤，32為第二掛鉤，41為第三掛鉤，6為電池有效區(qū)域，7為電池無效區(qū)域，8為本發(fā)明掛鉤沉膜效果，9為現(xiàn)有掛鉤沉膜效果。
具體實施例方式附圖非限制性地公開了本發(fā)明一個優(yōu)選實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，以下將結(jié)合附圖詳細地說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
實施例本實施例的一種新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤如圖4_6所示，用于硅片的定位，包括由下部開口的方形框架制成的第一、第二掛鉤支架；所述方形框架的兩支臂的下端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，且兩個頂片相對設(shè)置；所述第一掛鉤支架的方形框架的兩支臂的低端分別向外設(shè)置有用于硅片的定位的第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的方形框架的一支臂的低端向外設(shè)置有用于硅片的定位的第三掛鉤。如圖5所示，所述第一掛鉤支架的底側(cè)的兩端分別設(shè)置有第一掛鉤、第二掛鉤，且第一掛鉤、第二掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向與掛鉤支架的頂端相背離。如圖6所示，所述第二掛鉤支架的底側(cè)的一端設(shè)置有第三掛鉤，且第三掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向與掛鉤支架的頂端相背離。為了硅片在掛鉤上不會滑動，大大方便生產(chǎn)人員上下片的操作，同時減少硅片在載板上脫鉤的概率，如圖7所示，所述斜坡面的表面呈階梯狀，
所述斜坡面與載板之間的傾斜角度為33° -35°，當載板與水平線平行時，所述斜坡面與水平線之間的傾斜角度為33° -35°，優(yōu)選所述斜坡面與水平線之間的傾斜角度為 34。。為了方便掛鉤的安裝固定，所述固定桿均為上細下寬。為了確保掛鉤結(jié)構(gòu)強度的前提下，能夠減小掛鉤的面積，從而能夠減小掛鉤對工藝氣流的影響，所述掛鉤支架的底面為曲面。為了能夠避免掛鉤因結(jié)構(gòu)上有尖銳部分而產(chǎn)生高壓放電，所述掛鉤支架的下部所有交接面均為圓弧過渡。所述第一掛鉤、第二掛鉤均為S316不銹鋼制作的掛鉤。本實施例由于所述第一掛鉤支架的底側(cè)的兩端分別設(shè)置有第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的底側(cè)的一端設(shè)置有第三掛鉤，且第一掛鉤、第二掛鉤、第三掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向與掛鉤支架的頂端相背離，因此使用時硅片只有其下邊沿與掛鉤接觸，從而使得鍍膜斑點偏離電池片的有效區(qū)域，即鍍膜斑點位于電池片最邊沿的柵線外邊，如圖8b所示，現(xiàn)有掛鉤沉膜效果圖，鍍膜斑點位于電池片的有效區(qū)域內(nèi)(鍍膜斑點位于電池片的柵線內(nèi))，且斑點面積大。圖8a是本發(fā)明掛鉤沉膜效果圖，本發(fā)明的鍍膜斑點偏離電池片的有效區(qū)域(鍍膜斑點位于電池片最邊沿的柵線外)，且斑點面積小于圖8b中現(xiàn)有掛鉤沉膜的鍍膜斑點且斑點面積也大為縮小，有利于提高電池片的質(zhì)量，同時也大大改善了電池片絕緣性能。上面結(jié)合附圖所描述的本發(fā)明優(yōu)選具體實施例僅用于說明本發(fā)明的實施方式，而不是作為對前述發(fā)明目的和所附權(quán)利要求內(nèi)容和范圍的限制，凡是依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所做的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬本發(fā)明技術(shù)和權(quán)利保護范疇。
權(quán)利要求
1.一種新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，用于硅片的定位，其特征在于包括由下部開口的方形框架制成的第一、第二掛鉤支架；所述方形框架的兩支臂的下端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片，且兩個頂片相對設(shè)置；所述第一掛鉤支架的方形框架的兩支臂的低端分別向外設(shè)置有用于硅片的定位的第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的方形框架的一支臂的低端向外設(shè)置有用于硅片的定位的第三掛鉤；且第一掛鉤、第二掛鉤、第三掛鉤與硅片接觸的一面為斜坡面，同時所述斜坡面的傾斜方向均與方形框架的頂端相背離。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述斜坡面的表面呈階梯狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述斜坡面與載板之間的傾斜角度為33° -35°。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述固定桿均為上細下寬。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述掛鉤支架的底面為曲面。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述掛鉤支架的下部所有交接面均為圓弧過渡。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，其特征在于所述第一掛鉤、第二掛鉤均為S316不銹鋼制作的掛鉤。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種新型PECVD設(shè)備專用C/C載板掛鉤，用于硅片的定位，包括由下部開口的方形框架制成的第一、第二掛鉤支架；所述方形框架的兩支臂的下端內(nèi)側(cè)均設(shè)置有一個可轉(zhuǎn)動的頂片；所述第一掛鉤支架的方形框架的兩支臂的低端分別向外設(shè)置有用于硅片的定位的第一掛鉤、第二掛鉤，所述第二掛鉤支架的方形框架的一支臂的低端向外設(shè)置有用于硅片的定位的第三掛鉤。本發(fā)明不僅鍍膜斑點偏離電池片的有效區(qū)域，而且斑點面積小、絕緣性能高，同時載板易拆卸安裝，不易受損傷。
文檔編號C23C16/458GK102899639SQ20121040308
公開日2013年1月30日 申請日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月22日
發(fā)明者不公告發(fā)明人 申請人:江蘇榮馬新能源有限公司