專利名稱：一種用于板式pecvd設備的石墨框的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種用于平板式PECVD設備的石墨框，用于硅片的PECVD鍍膜工藝
背景技術：
太陽能是沒有污染、使用方便的可再生能源，有效地利用太陽能己經(jīng)成為人類的共識。在開發(fā)和利用太陽能的過程中，人們研制了太陽能電池，利用光伏效應直接把太陽能轉(zhuǎn)化為電能。在太陽能電池中，晶體硅太陽能電池占市場主要分額。在制備晶體硅太陽能電池過程中，制備減反射膜是一個必不可少的工序。近幾年來，氮化硅薄膜應用于晶體硅太陽能電池的減反射膜，它不僅具有減反射膜的作用，還能起到鈍化作用，其成膜工藝、鈍化及減反射性能受到人們的重視。目前，制備氮化硅薄膜主要采用等離子體增強化學氣相沉淀(PECVD)的方法，其使用的設備主要有倒掛式PECVD設備和平板式PECVD設備。平板式PECVD設備中承載硅片工裝主要包括石墨框和架于石墨框上的石墨碳板；所述石墨框一般呈長方形，其2條長邊上設有多個支撐片，用來支撐石墨碳板。石墨碳板上設有多個承載硅片的方格孔。硅片需要鍍膜時，將娃片水平放置在石墨碳板的方格孔內(nèi)，每一個方格孔內(nèi)放置一片娃片。然而，在實際應用過程中發(fā)現(xiàn)，石墨碳板使用一段時間就會發(fā)生前后翹曲的現(xiàn)象，這是因為在鍍膜工藝中，石墨碳板需要經(jīng)過長時間的加熱，在加熱過程中石墨碳板會發(fā)生一定的變形，而由于石墨框的2條長邊上設有支撐片，而在其2條短邊上未設置支撐結(jié)構，因此石墨碳板的前后兩端會發(fā)生翹曲，如果翹曲超過一定范圍(彎曲度為9_)，碳板就需要報廢，從而增加了成本；此外，翹曲的石墨碳板還有可能因變形而刮到電極板和加熱燈管，損壞PECVD設備。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型目的是提供一種用于板式PECVD設備的石墨框。為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是一種用于板式PECVD設備的石墨框，其2條長邊上設有支撐片，所述石墨框的2條短邊上均設有支撐件。上述技術方案中，所述支撐件為支撐條，其長度與石墨框的短邊長度相同，其承載石墨碳板的寬度為O. 8"!. 2 cm。由于上述技術方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有的優(yōu)點是I、由于本實用新型在石墨框的2條短邊上設置了支撐件，因而可以利用支撐件托住石墨碳板，從而避免因石墨碳板變形而刮到電極板和加熱燈管，防止其損壞鍍膜設備；同時，支撐件也可以防止石墨碳板過分翹曲，降低了石墨碳板的報廢幾率，增長了碳板的使用周期和時間，從而降低了成本。2、本實用新型的結(jié)構簡單，使用維護方便，且易于實現(xiàn)，適合推廣使用。
附圖I為本實用新型實施例一的結(jié)構示意圖；附圖2為圖I的A部放大圖。其中1、支撐片；2、支撐條。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作 進一步描述實施例一參見圖f 2所示，一種用于板式PECVD設備的石墨框，其2條長邊上設有支撐片1，所述石墨框的2條短邊上均設有支撐條2，所述支撐條可以是硬度較高的鋼片，鋼片的長度與石墨框的長度一致，寬度是2 cm,承載寬度為I cm,鋼片與石墨框用螺絲來連接固定。
權利要求1.一種用于板式PECVD設備的石墨框，其2條長邊上設有支撐片(I)，其特征在于所述石墨框的2條短邊上均設有支撐件。
2.根據(jù)權利要求I所述的用于板式PECVD設備的石墨框，其特征在于所述支撐件為支撐條(2)，其長度與石墨框的短邊長度相同，其承載石墨碳板的寬度為O. Cl. 2 cm。
專利摘要本實用新型公開了一種用于板式PECVD設備的石墨框，其2條長邊上設有支撐片，所述石墨框的2條短邊上均設有支撐件。本實用新型避免了因石墨碳板變形而刮到電極板和加熱燈管，防止其損壞鍍膜設備；同時，支撐件也可以防止石墨碳板過分翹曲，降低了石墨碳板的報廢幾率，增長了碳板的使用周期和時間，從而降低了成本。
文檔編號C23C16/34GK202359193SQ20112046648
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月22日 優(yōu)先權日2011年11月22日
發(fā)明者何江, 章靈軍, 鄭猛 申請人:蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司, 阿特斯(中國)投資有限公司