石墨舟清洗工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶硅體太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種石墨舟清洗工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]目前商業(yè)化晶體硅太陽電池大多數(shù)是使用直接式的PECVD(即管式PE)，使用石墨舟作為硅片的載體，在生產(chǎn)過程中也會石墨舟的表面沉積氮化硅，隨著使用次數(shù)的增加氮化硅累積，同時對硅片的鍍膜均勻性也造成影響，因此石墨舟在使用150次后便需要對其清洗，以減少不良品的產(chǎn)生。而現(xiàn)有工藝只使用HF，初始配液濃度大概為10% -25%之間，對石墨舟進行清洗，此種清洗液每次清洗會對石墨舟產(chǎn)生一定的腐蝕，大大降低了石墨舟的使用壽命，也造成企業(yè)的生成成本的增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出了石墨舟清洗工藝，以達(dá)到延長石墨舟的使用壽命和降低企業(yè)的生產(chǎn)成本的目的。
[0004]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種石墨舟清洗工藝，其具體步驟如下:
[0006](I).配置清洗液:在原液中加入氫氟酸，且氫氟酸的體積濃度為20%?25%，并加入體積濃度為I %的氨水。
[0007](2).將石墨舟用配制好的清洗液進行浸泡4-8小時，并通過氮氣進行鼓泡。
[0008](3).用清水進行清洗；
[0009](4).用氣槍將清洗后的石墨舟進行吹干；
[0010](5).烘干:將石墨舟放入到烘干箱中進行烘干，并且烘干箱中通入氮氣。
[0011]作為優(yōu)選的，所述氨水、氫氟酸和純水的體積比如下:
[0012]氨水:氫氟酸:純水=4L:100L ；280L,
[0013]且所使用的氨水濃度為28%，所使用的氫氟酸濃度為40%。
[0014]作為優(yōu)選的，所述步驟(2)中氮氣的壓力不大于3公斤，并且每小時鼓泡5分鐘。
[0015]作為優(yōu)選的，所述步驟(5)中烘干溫度為120°C，時間為6小時，氮氣流量為90L/min,超溫開關(guān)為250攝氏度。
[0016]通過上述技術(shù)方案，本發(fā)明通過在清洗液中添加氨水來減輕清洗液對石墨舟的腐蝕，達(dá)到延長石墨舟的使用壽命和降低企業(yè)的生產(chǎn)成本的目的。
【具體實施方式】
[0017]下面對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0018]本發(fā)明提供了石墨舟清洗工藝，其工作原理是通過在清洗液中添加一緩沖劑，減少清洗液對石墨舟的腐蝕，達(dá)到延長石墨舟的使用壽命和降低企業(yè)的生產(chǎn)成本的目的。
[0019]下面結(jié)合實施例和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細(xì)的說明。
[0020]一種石墨舟清洗工藝，其具體步驟如下:
[0021](I).配置清洗液:在原液中加入氫氟酸，且氫氟酸的體積濃度為20%?25%，并加入體積濃度為I %的氨水。
[0022](2).將石墨舟用配制好的清洗液進行浸泡4-8小時，并通過氮氣進行鼓泡。
[0023](3).用清水進行清洗；
[0024](4).用氣槍將清洗后的石墨舟進行吹干；
[0025](5).烘干:將石墨舟放入到烘干箱中進行烘干，并且烘干箱中通入氮氣。
[0026]值得注意的是，所述氨水、氫氟酸和純水的體積比如下:氨水:氫氟酸:純水=4L:100L ;280L，且所使用的氨水濃度為28%，所使用的氫氟酸濃度為40%。
[0027]值得注意的是，所述步驟(2)中氮氣的壓力不大于3公斤，并且每小時鼓泡5分鐘。
[0028]值得注意的是，所述步驟(5)中烘干溫度為120°C，時間為6小時，氮氣流量為90L/min,超溫開關(guān)為250攝氏度。
[0029]通過以上的方式，本發(fā)明所提供的石墨舟清洗工藝，通過在清洗液中添加氨水來減輕清洗液對石墨舟的腐蝕，達(dá)到延長石墨舟的使用壽命、降低企業(yè)的生產(chǎn)成本和促進企業(yè)的發(fā)展的目的。
[0030]以上所述的僅是本發(fā)明所公開的石墨舟清洗工藝的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種石墨舟清洗工藝，其特征在于，其具體步驟如下: (1).配置清洗液:在原液中加入氫氟酸，且氫氟酸的體積濃度為20%?25%，并加入體積濃度為I %的氨水。 (2).將石墨舟用配制好的清洗液進行浸泡4-8小時，并通過氮氣進行鼓泡。 (3).用清水進行清洗； (4).用氣槍將清洗后的石墨舟進行吹干； (5).烘干:將石墨舟放入到烘干箱中進行烘干，并且烘干箱中通入氮氣。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟清洗工藝，其特征在于，所述氨水、氫氟酸和純水的體積比如下: 氨水:氫氟酸:純水=4L:100L:280L ； 且所使用的氨水濃度為28 %，所使用的氫氟酸濃度為40 %。3.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的石墨舟清洗工藝，其特征在于，所述步驟(2)中氮氣的壓力不大于3公斤，并且每小時鼓泡5分鐘。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟清洗工藝，其特征在于，所述步驟(5)中烘干溫度為120°C，時間為6小時，氮氣流量為90L/min，超溫開關(guān)為250攝氏度。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種石墨舟清洗工藝，其具體步驟如下：(1).配置清洗液：在原液中加入氫氟酸，且氫氟酸的體積濃度為20％～25％，并加入體積濃度為1％的氨水。(2).將石墨舟用配制好的清洗液進行浸泡4-8小時，并通過氮氣進行鼓泡。(3).用清水進行清洗；(4).用氣槍將清洗后的石墨舟進行吹干；(5).烘干：將石墨舟放入到烘干箱中進行烘干，并且烘干箱中通入氮氣。通過在清洗液中添加氨水來減輕清洗液對石墨舟的腐蝕，達(dá)到延長石墨舟的使用壽命和降低企業(yè)的生產(chǎn)成本的目的。
【IPC分類】B08B3/08, B08B13/00
【公開號】CN104923518
【申請?zhí)枴緾N201510203283
【發(fā)明人】郭建東, 樊選東, 錢明星, 關(guān)統(tǒng)州
【申請人】中建材浚鑫科技股份有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年4月24日