專利名稱:一種沉積減反射膜工序用的石墨框的制作方法
技術領域:
本發(fā)明涉及太陽能電池制造技術領域,尤其涉及一種沉積減反射膜工序用的石墨框。
背景技術:
常規(guī)太陽能電池的制備過程主要包括:制絨、擴散、濕法刻蝕、PECVD、印刷、燒結和測試。其中,PECVD工序是在硅片表面沉積一層折射率低于硅片本身折射率的氮化硅薄膜,從而起到減反射的作用。而PECVD工序用的石墨框是太陽能電池生產過程中的重要工裝。參考圖1,現(xiàn)有技術中的石墨框,長度約1000mm,寬度約1000mm,邊框寬度約100mm。該石墨框中心區(qū)域具有6*6個正方形結構的太陽能電池硅片放置框,其中,每個太陽能電池硅片放置框的邊長為126mm。在太陽能電池生產過程中,每個太陽能電池硅片都要放置到石墨框內才能在其表面沉積減反射膜。因此,每個石墨框內一次所承載的太陽能電池硅片的個數(shù)直接影響著太陽能電池的產量。
發(fā)明內容
有鑒于此,本發(fā)明實施例提供了一種沉積減反射膜工序用的石墨框,該石墨框可以一次承載49個太陽能電池硅片,從而在不提高成本的前提下,將太陽能電池的產量提高了 36%。為解決上述問題,本發(fā)明實施例提供了如下技術方案:一種沉積減反射膜工序用的石墨框,包括四周的邊框以及中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框,所述石墨框的中心區(qū)域具有七排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有七個太陽能電池硅片放置框。優(yōu)選的,所述石墨框的長度和寬度均在995 1005的范圍內。優(yōu)選的,所述石墨框的長度和寬度均為1000mm。優(yōu)選的,所述四周的邊框的寬度在31 35的范圍內。優(yōu)選的,所述四周的邊框的寬度為32.85mm。 優(yōu)選的,所述太陽能電池硅片放置框具有正方形結構。優(yōu)選的,所述正方形的邊長為126mm。與現(xiàn)有技術相比,上述技術方案具有以下優(yōu)點:本發(fā)明實施例所提供的石墨框,充分利用現(xiàn)有技術中石墨框的四周邊框區(qū)域,通過減小四周邊框的寬度,增加位于石墨框的中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框的個數(shù),從而將每次石墨框中的太陽能電池硅片放置框的個數(shù)增加到7*7個,進而在不提高成本的前提下,將太陽能電池的產量提高了 36%,而且減少了石墨框四周邊框的耗材,增加了石墨框的實用性。
為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術中所提供的石墨框的結構不意圖;圖2為本發(fā)明中所提供的石墨框的結構示意圖。圖2中示出了:四周邊框1、中心區(qū)域2、太陽能電池硅片放置框3。
具體實施例方式下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本發(fā)明,但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施,本領域技術人員可以在不違背本發(fā)明內涵的情況下做類似推廣,因此本發(fā)明不受下面公開的具體實施例的限制。其次,本發(fā)明結合示意圖進行詳細描述,在詳述本發(fā)明實施例時,為便于說明,表示器件結構的剖面圖會不依一般比例作局部放大,而且所述示意圖只是示例,其在此不應限制本發(fā)明保護的范圍。此外,在實際制作中應包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術部分所述,現(xiàn)有技術中的石墨框具有6*6個正方形結構的太陽能電池硅片放置框,嚴重制約著太陽能電池的產量。有鑒于此,本發(fā)明實施例提供了一種沉積減反射膜工序用的石墨框,該石墨框包括四周的邊框以及中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框,其中,所述石墨框的中心區(qū)域具有七排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有七個太陽能電池硅片放置框。本發(fā)明中所提供的石墨框的長度和寬度均在995 1005的范圍內,相應的,所述石墨框四周邊框的寬度在31 35的范圍內,通過縮小所述四周邊框的寬度,從而充分利用所述石墨框的預留空間,將每次石墨框中的太陽能電池硅片放置框的個數(shù)增加到7*7個,進而提高了太陽能電池的產量。下面結合附圖對本發(fā)明實施例中所提供的石墨框進行詳細描述。參考圖2,圖2為本發(fā)明實施例中所提供的石墨框的結構示意圖,本發(fā)明實施例中以所述石墨框的長度a和寬度a為1000_為例進行說明。本發(fā)明實施例中所提供的石墨框,通過減小所述石墨框四周邊框I的寬度b,將所述四周邊框I的寬度b由原來的IOOmm減至32.85mm,從而使得所述石墨框的中心區(qū)域2具有更多的空間來設置太陽能電池硅片放置框3,進而在所述石墨框的中心區(qū)域2形成七排太陽能電池硅片放置框3,且每排太陽能電池硅片放置框3具有七個太陽能電池硅片放置框3。本發(fā)明實施例中所述太陽能電池硅片放置框3具有正方形結構,所述正方形的邊長c為126mm,即每個太陽能電池娃片放置框3的邊長為126mm,且相鄰太陽能電池娃片放置框3間的距離相同。本發(fā)明實施例中所提供的石墨框,通過將所述石墨框四周邊框的寬度縮小,充分利用所述石墨框的預留空間,將原來石墨框中的六排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有六個太陽能電池硅片放置框,增加到七排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有七個太陽能電池硅片放置框,從而將太陽能電池生產過程中,石墨框每次承載的太陽能電池硅片的個數(shù)由36個增加到49個,進而在不提高成本的前提下,將太陽能電池的產量提高了 36%,在減少了石墨框四周邊框的耗材的同時,增加了石墨框的實用性。本說明書中各個部分采用遞進的方式描述,每個部分重點說明的都是與其他部分的不同之處,各個部分之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明,使本領域專業(yè)技術人員能夠實現(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本發(fā)明將不會被限制于本文所示的實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求
1.一種沉積減反射膜工序用的石墨框,包括四周的邊框以及中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框,其特征在于,所述石墨框的中心區(qū)域具有七排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有七個太陽能電池硅片放置框。
2.根據(jù)權利要求1所述的石墨框,其特征在于,所述石墨框的長度和寬度均在995 1005的范圍內。
3.根據(jù)權利要求2所述的石墨框,其特征在于,所述石墨框的長度和寬度均為1000mm。
4.根據(jù)權利要求2所述的石墨框,其特征在于,所述四周的邊框的寬度在31 35的范圍內。
5.根據(jù)權利要求3所述的石墨框,其特征在于,所述四周的邊框的寬度為32.85_。
6.根據(jù)權利要求1所述的石墨框,其特征在于,所述太陽能電池硅片放置框具有正方形結構。
7.根據(jù)權利要求6所述的石墨框,其特征在于,所述正方形的邊長為126mm。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開了一種沉積減反射膜工序用的石墨框,包括四周的邊框以及中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框,所述石墨框的中心區(qū)域具有七排太陽能電池硅片放置框,且每排太陽能電池硅片放置框具有七個太陽能電池硅片放置框。本發(fā)明所提供的石墨框,充分利用現(xiàn)有技術中石墨框的四周邊框區(qū)域,通過減小四周邊框的寬度,增加位于石墨框的中心區(qū)域的太陽能電池硅片放置框的個數(shù),從而將每次石墨框中的太陽能電池硅片放置框的個數(shù)增加到7*7個,進而在不提高成本的前提下,將太陽能電池的產量提高了36%,而且減少了石墨框四周邊框的耗材,增加了石墨框的實用性。
文檔編號H01L21/687GK103177999SQ201110431009
公開日2013年6月26日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權日2011年12月20日
發(fā)明者李敏, 陳平 申請人:浚鑫科技股份有限公司