專(zhuān)利名稱(chēng)：噴淋頭清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及噴淋頭的清洗裝置。
背景技術(shù)：
MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor D印osition)是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延沉積工藝。它以III族、II族元素的有機(jī)化合物和V、 VI族元素的氫化物等作為晶體生長(zhǎng)的源材料，以熱分解反應(yīng)方式在基座上進(jìn)行沉積工藝， 生長(zhǎng)各種III-V族、II-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。下面對(duì)現(xiàn)有的沉積工藝的原理進(jìn)行說(shuō)明。具體地，以MOCVD為例，請(qǐng)參考圖1所示的現(xiàn)有的沉積裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。手套箱10內(nèi)形成有相對(duì)設(shè)置的噴淋頭11和基座12。所述噴淋頭11內(nèi)可以設(shè)置多個(gè)小孔，所述噴淋頭11用于提供源氣體。所述基座12上通常放置多片基片121，所述基片121的材質(zhì)通常為價(jià)格昂貴的藍(lán)寶石。所述基座12的下方還形成有加熱單元13，所述加熱單元13對(duì)所述基片121進(jìn)行加熱，使得所述基片121表面的溫度達(dá)到外延工藝需要的溫度。在進(jìn)行MOCVD工藝時(shí)，源氣體自噴淋頭11的小孔進(jìn)入基座12上方的反應(yīng)區(qū)域(靠近基片121的表面的位置)，所述基片121由于加熱單元13的熱輻射作用而具有一定的溫度，從而該溫度使得源氣體之間進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，從而在基片121表面沉積外延材料層。由于噴淋頭11與基座121之間的具有一定的距離，部分源氣體之間會(huì)在沒(méi)有到達(dá)基片121之前就發(fā)生預(yù)反應(yīng)，預(yù)反應(yīng)的部分產(chǎn)物會(huì)導(dǎo)致噴淋頭11的表面沾污，并且基座12 或基片121上的污染物在加熱過(guò)程中揮發(fā)，也可能導(dǎo)致噴淋頭11的表面沾污，從而一批基片121的沉積工藝完成后，需要對(duì)噴淋頭11的表面進(jìn)行清洗，以保證噴淋頭11的表面的污染物不會(huì)對(duì)下一次沉積工藝產(chǎn)生影響?，F(xiàn)有技術(shù)通常利用相關(guān)技術(shù)人員采用手動(dòng)方式清潔噴淋頭，由于缺少有效的噴淋頭的清洗裝置，使得噴淋頭表面的清洗效果不好。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例解決的問(wèn)題是提供了一種噴淋頭清洗裝置，解決了噴淋頭的表面無(wú)法清洗的問(wèn)題，避免噴淋頭表面的污染物對(duì)下一次沉積工藝的影響。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種噴淋頭清洗裝置，用于對(duì)噴淋頭的表面進(jìn)行清洗，包括清洗刷，具有刷毛；清洗刷機(jī)械手，用于夾持和移動(dòng)清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面；吸附裝置，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物?？蛇x地，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動(dòng)控制方式，還包括[0014]機(jī)械手控制單元，用于控制所述清洗刷機(jī)械手，調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手與所述噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的軌跡和速度。可選地，所述機(jī)械手控制單元包括動(dòng)力單元，用于提供動(dòng)力，該動(dòng)力使得所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷能夠與所述噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)；傳動(dòng)單元，一段與所述動(dòng)力單元相連接，用于接收來(lái)自動(dòng)力單元的動(dòng)力，另一端與所述清洗刷機(jī)械手相連接，將動(dòng)力傳動(dòng)至所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷；子控制單元，用于控制所述動(dòng)力單元、傳動(dòng)單元，通過(guò)所述動(dòng)力單元、傳動(dòng)單元控制所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷的運(yùn)動(dòng)；所述噴淋頭清洗裝置用于沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備包括手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內(nèi)，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手位于所述手套箱內(nèi)、傳輸腔室內(nèi)、裝載卸載腔室內(nèi)或手套箱外；在沉積工藝完成后，所述子控制單元控制所述傳動(dòng)單元和動(dòng)力單元將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手移動(dòng)至與所述噴淋頭的表面相對(duì)的位置，或所述子控制單元控制所述噴淋頭移動(dòng)至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對(duì)的位置，利用所述清洗刷對(duì)所述噴淋頭的表面進(jìn)行清洗；在噴淋頭的清洗完成后，所述子控制單元還可用于控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手放置于手套箱內(nèi)、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中?？蛇x地，還包括圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；圖像分析單元，用于對(duì)所述圖像采集單元采集到的圖像進(jìn)行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況；反饋單元，用于根據(jù)圖像分析單元的分析結(jié)果，獲得控制信號(hào)，所述控制信號(hào)作為所述子控制單元的調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手和清洗刷的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的依據(jù)?？蛇x地，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為半自動(dòng)控制方式，還包括動(dòng)力單元、 傳動(dòng)單元；所述動(dòng)力單元用于提供動(dòng)力，該動(dòng)力使得所述清洗刷和/或刷毛能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；所述傳動(dòng)單元的一端與所述動(dòng)力單元相連接，用于接收來(lái)自動(dòng)力單元的動(dòng)力，另一端與所述清洗刷機(jī)械手相連接，將該動(dòng)力傳動(dòng)至所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷；所述沉積設(shè)備包括手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內(nèi)，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷清洗裝置位于所述手套箱內(nèi)、傳輸腔室內(nèi)、裝載卸載腔室內(nèi)或手套箱外；在沉積工藝完成后，操作人員控制所述傳動(dòng)單元和動(dòng)力單元將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手移動(dòng)至與所述噴淋頭的表面相對(duì)的位置，或操作人員控制所述噴淋頭移動(dòng)至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對(duì)的位置，利用所述清洗刷對(duì)所述噴淋頭的表面進(jìn)行清洗；在清洗完成后操作人員控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手放置于手套箱內(nèi)、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中?？蛇x地，所述傳動(dòng)單元與所述清洗刷機(jī)械手相連接的部分為剛性結(jié)構(gòu)，所述剛性結(jié)構(gòu)用于操作人員手持，所述傳動(dòng)單元的與所述動(dòng)力單元相連接的部分為柔性結(jié)構(gòu)，使得所述傳動(dòng)單元能夠帶動(dòng)所述清洗刷與所述噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，還包括圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；顯示單元，用于將圖像采集單元采集的圖像顯示，操作人員根據(jù)顯示單元的圖像， 調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手和清洗刷的相對(duì)運(yùn)動(dòng)?？蛇x地，所述噴淋頭清洗裝置位于所述沉積設(shè)備的手套箱內(nèi)，所述清洗刷機(jī)械手包括導(dǎo)軌支撐部件，位于所述噴淋頭外部；可動(dòng)導(dǎo)軌，一端與所述導(dǎo)軌支撐部件通過(guò)固定件相連接，所述可動(dòng)導(dǎo)軌能夠相對(duì)所述導(dǎo)軌支撐部件進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)，該可動(dòng)導(dǎo)軌的圓周運(yùn)動(dòng)的軌跡至少覆蓋所述噴淋頭的表面；滑塊，設(shè)置于所述可動(dòng)導(dǎo)軌上，所述滑塊用于活動(dòng)連接所述可動(dòng)導(dǎo)軌和清洗刷，使得所述清洗刷能夠隨著所述滑塊與所述可動(dòng)導(dǎo)軌進(jìn)行徑向運(yùn)動(dòng)，所述徑向運(yùn)動(dòng)的方向?yàn)檠厮鰣A周運(yùn)動(dòng)的半徑方向，所述徑向運(yùn)動(dòng)與所述圓周運(yùn)動(dòng)配合，使得所述清洗刷的運(yùn)動(dòng)軌跡覆蓋整個(gè)噴淋頭的表面?？蛇x地，所述導(dǎo)軌支撐部件與動(dòng)力單元相連接，所述導(dǎo)軌支撐部件將動(dòng)力傳輸給所述可動(dòng)導(dǎo)軌，控制所述可動(dòng)導(dǎo)軌圓周運(yùn)動(dòng)的速度、方向、軌跡?？蛇x地，還包括圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；圖像分析單元，用于對(duì)所述圖像采集單元采集到的圖像進(jìn)行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況；反饋單元，用于根據(jù)圖像分析單元的分析結(jié)果，獲得控制信號(hào)，所述控制信號(hào)作為所述動(dòng)力源的輸入信號(hào)?？蛇x地，所述清洗刷和刷毛的材質(zhì)相同或不同。可選地，所述清洗刷包括第一清洗刷和第二清洗刷，所述第一清洗刷的刷毛比第二清洗刷的刷毛粗，所述第一清洗刷用于進(jìn)行噴淋頭的粗清洗，所述第二清洗刷用于噴淋頭的精清洗。可選地，還包括彈性密封圈，環(huán)繞所述清洗刷靠近所述噴淋頭的待清洗表面一側(cè)，所述彈性密封圈用于清洗時(shí)，在所述清洗刷與所述噴淋頭的待清洗的表面形成相對(duì)封閉的環(huán)境，所述吸附裝置包括吸附管道和真空泵，所述吸附管道的一端與所述清洗刷的與所述噴淋頭待清洗表面相對(duì)一側(cè)的表面相連接，另一端與所述真空泵相連接，所述真空泵用于使得所述吸附管道的一端壓力小于另一端的壓力，在清洗過(guò)程中的污染物由于吸附管道兩端的壓力差隨著所述吸附管道被抽離所述清洗刷與噴淋頭之間?？蛇x地，所述彈性密封圈的材質(zhì)為橡膠、金屬、陶瓷、塑料中的一種或其中的組合。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴淋頭清洗裝置利用清洗刷機(jī)械手夾持和移動(dòng)清洗刷， 利用清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，清洗噴淋頭的表面，從而實(shí)現(xiàn)噴淋頭表面的清洗，由于本實(shí)用新型實(shí)施例利用清洗刷機(jī)械手夾持清洗刷，操作人員無(wú)需用手夾持噴淋頭，無(wú)需等待噴淋頭表面的溫度降低為安全溫度(即操作人員手不會(huì)被燙傷的溫度)，從而減少了清洗的時(shí)間，提供了噴淋頭用于沉積工藝的時(shí)間和沉積設(shè)備的利用率；并且由于本實(shí)用新型利用刷毛與噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面，從而與采用等離子體等化學(xué)方式對(duì)噴淋頭表面進(jìn)行清洗會(huì)造成噴淋頭的損傷相比，本實(shí)用新型實(shí)施例不會(huì)損傷噴淋頭，從而可以提高噴淋頭的使用壽命； 進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動(dòng)控制方式，無(wú)需操作人員對(duì)噴淋頭進(jìn)行操作，可以利用機(jī)械手控制單元控制清洗刷機(jī)械手與所述噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的軌跡和速度，可以在節(jié)約人力的同時(shí)達(dá)到更好的清洗效果清洗； 進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置還包括圖像采集單元、圖像分析單元和反饋單元，從而可以監(jiān)控噴淋頭的表面的圖像，從而根據(jù)所述圖像判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況，自動(dòng)地控制清洗刷機(jī)械手和清洗刷的運(yùn)動(dòng)，獲得更好的清洗效果；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置可以包括第一清洗刷和第二清洗刷，從而可以對(duì)噴淋頭進(jìn)行粗清洗和精清洗，粗清洗可以較快地將噴淋頭表面的大部分污染物去除， 縮短噴淋頭清洗的時(shí)間，而精清洗則可以將噴淋頭表面殘留的難以去除的污染物去除，保證噴淋頭清洗的潔凈度；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置還包括環(huán)繞所述清洗刷靠近所述噴淋頭的待清洗表面一側(cè)的彈性密封圈，在清洗時(shí)，所述彈性密封圈在所述清洗刷與所述噴淋頭的待清洗的表面形成相對(duì)封閉的環(huán)境，從而防止清洗過(guò)程中的顆粒沾污手套箱的其他部件；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置位于所述手套箱內(nèi)，所述清洗刷機(jī)械手包括 導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊，利用滑塊和可動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)，使得清洗刷與噴淋頭表面進(jìn)行清洗，所述導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊的體積小，從而使得整個(gè)噴淋頭清洗裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，也降低了噴淋頭清洗裝置的成本。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)的MOCVD裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是圖3所示的噴淋頭清洗裝置的在清洗時(shí)的原理示意圖；圖5是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型第三實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本實(shí)用新型第四實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)有技術(shù)由于缺少有效的噴淋頭的清洗裝置，使得噴淋頭表面的清洗效果不好。 發(fā)明人考慮采用等離子體等化學(xué)清洗的方式對(duì)噴淋頭的表面進(jìn)行清洗。但是等離子體去除噴淋頭表面的污染物的同時(shí)，會(huì)損傷噴淋頭的表面以及噴淋頭中的孔，造成孔內(nèi)徑的粗糙， 并且，所述等離子體等化學(xué)清洗的方式還會(huì)損傷薄膜沉積腔室的側(cè)壁。如何在清洗噴淋頭的表面的同時(shí)不損傷噴淋頭以及沉積腔室，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的問(wèn)題。為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種噴淋頭的表面清洗的裝置，包括清洗刷，具有刷毛；清洗刷機(jī)械手，用于夾持和移動(dòng)清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面；吸附裝置，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物。下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。本實(shí)用新型實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置用于沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備可以為MOCVD設(shè)備，也可以為CVD、PVD等其他任何具有噴淋頭的設(shè)備。作為一個(gè)實(shí)施例，所述噴淋頭清洗裝置用于MOCVD設(shè)備。所述噴淋頭清洗裝置可以用于MOCVD設(shè)備的手套箱的內(nèi)部清洗，也可以用于手套箱內(nèi)的噴淋頭的表面的清洗。為了更好地說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，請(qǐng)參考圖2所示，為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的MOCVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。所述MOCVD設(shè)備的布局為多邊形布局，包括裝載卸載腔室對(duì)、真空傳輸腔室21、多個(gè)手套箱和緩沖臺(tái)23。本實(shí)施例中，所述真空傳輸腔室21的形狀為多邊形，在其他的實(shí)施例中，所述真空傳輸腔室的形狀也可以為線性。所述手套箱的數(shù)目為多個(gè)，分別是第一手套箱221、第二手套箱222、第三手套箱223和第四手套箱224，每一個(gè)手套箱內(nèi)均具有一個(gè)噴淋頭。在其他的實(shí)施例中，手套箱的數(shù)目可以為更多或更少，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要進(jìn)行具體的設(shè)置。來(lái)自外部潔凈室的基片放置于所述裝載卸載腔室24，并經(jīng)過(guò)真空傳輸腔室21傳輸至相應(yīng)的手套箱內(nèi)，在沉積工藝完成后，基片通過(guò)所述真空傳輸腔室21到達(dá)裝載卸載腔室21。當(dāng)然，基片在真空傳輸腔室21進(jìn)入沉積腔室之前，可以在緩沖臺(tái)23中進(jìn)行相應(yīng)的預(yù)處理(比如清洗處理以去除基片表面的污染物，或預(yù)熱處理以使得基片的溫度與將要進(jìn)行的沉積腔室的溫度一致)，也可以在沉積工藝完成后， 在緩沖臺(tái)23中進(jìn)行后續(xù)處理(比如降溫處理)，在此不做詳細(xì)的說(shuō)明。請(qǐng)結(jié)合圖3所示的本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。 為了更好地說(shuō)明噴淋頭清洗裝置，圖3中還示意性的示出了 MOCVD設(shè)備的部分結(jié)構(gòu)，與圖2 中相同的結(jié)構(gòu)在圖3中采用相同的標(biāo)號(hào)，特此說(shuō)明。所述噴淋頭清洗裝置30位于MOCVD設(shè)備的傳輸腔室21內(nèi)，所述傳輸腔室21的一側(cè)與手套箱222相鄰，所述手套箱222內(nèi)形成有加熱單元2223、石墨基座2222和噴淋頭 2221，其中所述石墨基座2222用于放置基片，所述加熱單元2223用于對(duì)所述石墨基座2222 進(jìn)行加熱，所述噴淋頭2221位于所述石墨基座2222放置有基片的一側(cè)的上方，所述噴淋頭 2221的朝向所述基片和石墨基座2222 —側(cè)的表面為待清洗的表面。作為一個(gè)實(shí)施例，所述手套箱222具有門(mén)22M。在進(jìn)行沉積工藝時(shí)，門(mén)22M關(guān)閉，使得手套箱222形成相對(duì)密封的環(huán)境，以所述噴淋頭2221向所述石墨基座2222移動(dòng)，以便于在石墨基座2222和噴淋頭 2221之間形成一定的空間，該空間內(nèi)用于進(jìn)行沉積工藝(比如MOCVD工藝)。在沉積工藝完成后，門(mén)22M打開(kāi)，手套箱222可以與裝載卸載腔室(圖中未示出)或傳輸腔室21交換基片，在沉積工藝完成后交換基片之前或交換基片的同時(shí)，噴淋頭清洗裝置30工作，對(duì)噴淋頭2221的待清洗的表面或手套箱222的待清洗的表面進(jìn)行清洗。下面對(duì)噴淋頭清洗裝置30的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)的說(shuō)明。具體地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3，噴淋頭清洗裝置30包括[0073]清洗刷31，具有刷毛面311，該刷毛面311在清洗時(shí)與噴淋頭2221的待清洗的表面或者手套箱222的待清洗的表面相對(duì)，該刷毛面311上具有刷毛(圖中未示出)；清洗刷機(jī)械手33，與所述噴淋頭31的刷毛面311相對(duì)一側(cè)表面相連接，所述清洗刷機(jī)械手33用于夾持和移動(dòng)清洗刷31，使得所述清洗刷31和/或刷毛能夠與噴淋頭2221 的待清洗的表面或手套箱222的待清洗的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭 2221或手套箱222的表面；吸附裝置，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物。具體地，作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷31的形狀為圓柱體。在其他的實(shí)施例中，所述清洗刷31的形狀還可以為長(zhǎng)方體、階梯狀等規(guī)則形狀或其他不規(guī)則形狀。本實(shí)施例中，所述清洗刷31的刷毛面331為圓柱體的底面。在其他的實(shí)施例中， 所述清洗刷31的刷毛面331還可以為圓柱體的側(cè)面。作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷31的刷毛面331的面積與噴淋頭2221的待清洗的表面接近，比如所述清洗刷31的刷毛面331 的面積可以等于噴淋頭2221的待清洗的表面的面積，也可以略大于或略小于所述噴淋頭 2221的待清洗的表面的面積。當(dāng)然，所述清洗刷31的刷毛面331的面積也可以為所述噴淋頭2221的待清洗的表面的面積的1/3、1/5、1/2或2/3等。當(dāng)然，為了加快清洗噴淋頭的速度，所述清洗刷31的刷毛面331的面積可以與噴淋頭2221的待清洗的表面的面積大小接近，比如清洗刷31的刷毛面331的面積為噴淋頭2221的待清洗表面的0. 95倍、1倍、1. 05 倍等。清洗作為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷31垂直于刷毛面311的方向環(huán)繞了彈性密封圈312，所述彈性密封圈312在垂直于刷毛面311方向上具有一定彈性，在清洗時(shí)， 所述刷毛面311與噴淋頭2221的待清洗的表面或手套箱222內(nèi)的其他的待清洗表面接觸時(shí)，所述彈性密封圈312能夠使得所述刷毛面311與所述噴淋頭2221的待清洗表面或手套箱2221內(nèi)的其他待清洗表面之間形成相對(duì)封閉的環(huán)境，避免清洗過(guò)程中的污染物對(duì)手套箱222內(nèi)的其他部件(比如加熱單元2223和石墨基座222 造成污染。所述彈性密封圈 312的厚度可以略大于所述噴淋頭31的厚度(本實(shí)用新型實(shí)施例所述的厚度是指噴淋頭 31的沿著垂直于噴淋頭31的刷毛面311的方向的尺寸)。所述彈性密封圈312的材質(zhì)為橡膠、金屬、陶瓷、塑料。在實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述彈性密封圈312的材質(zhì)為硅膠； 在本實(shí)用新型的又一實(shí)施例中，所述彈性密封圈312的材質(zhì)為特氟龍；當(dāng)然，所述彈性密封圈312的材質(zhì)還可以為不銹鋼。圖中所示的清洗刷31的數(shù)目為1個(gè)。在其他的實(shí)施例中，所述清洗刷31的數(shù)目也可以為兩個(gè)甚至多個(gè)。兩個(gè)或多個(gè)清洗刷31可以同時(shí)對(duì)噴淋頭2221的表面進(jìn)行清洗 (此時(shí)清洗刷31的刷毛面的面積小于噴淋頭2221的待清洗的表面)，也可以單獨(dú)清洗。作為一個(gè)可選的實(shí)施例，所述清洗刷31的數(shù)目為兩個(gè)，分別是第一清洗刷和第二清洗刷，所述第一清洗刷的刷毛比第二清洗刷的刷毛粗，所述第一清洗刷進(jìn)行噴淋頭的粗清洗，該第一清洗刷能夠進(jìn)行快速的運(yùn)動(dòng)，將噴淋頭的待清洗表面的大部分污染物去除，加快清洗的速度，在粗清洗之后，所述第二清洗刷進(jìn)行噴淋頭的精清洗，所述第二清洗刷的刷毛細(xì)，其轉(zhuǎn)速快，能夠?qū)⒋智逑春髿埩粲趪娏茴^的待清洗表面的污染物去除。所述清洗刷31的材質(zhì)可以選擇能夠承受高溫的材質(zhì)，這樣在沉積工藝完成后，無(wú)需等待噴淋頭的溫度降低，該清洗刷可以直接對(duì)噴淋頭的待清洗的表面進(jìn)行清洗。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述清洗刷31的材質(zhì)為金屬材質(zhì)，例如普通不銹鋼、添加了稀土元素的不銹鋼(以改善清洗刷31的使用壽命、硬度等性能)、石墨、特氟龍、金屬或合金等。所述刷毛的材質(zhì)可以與清洗刷31的材質(zhì)相同，也可以不同。本實(shí)施例中，所述刷毛的材質(zhì)與所述清洗刷31的材質(zhì)相同。所述刷毛的形狀、尺寸、排布可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置。當(dāng)清洗刷31的數(shù)目為兩個(gè)或多個(gè)時(shí)，每個(gè)清洗刷的刷毛的材質(zhì)、尺寸、形狀和排布可以相同，也可以不同。作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷31上形成有貫穿所述清洗刷31的兩個(gè)相對(duì)的表面的孔，該孔用于與吸附裝置相連接，在清洗時(shí)所述噴淋頭2221或手套箱222的表面去除的顆粒通過(guò)所述孔到達(dá)所述吸附裝置。如圖3所示，所述吸附裝置進(jìn)一步包括第一管道32， 一端與清洗刷31上的孔相連接，另一端與第二管道37的一端相連接，所述第二管道37的另一端與真空泵；34相連接；所述第一管道32與第二管道37相連接的部分形成有過(guò)濾片 331，該過(guò)濾片331用于過(guò)濾清洗過(guò)程中的被清洗刷31刷下的顆粒。所述真空泵34用于進(jìn)行抽真空，使得所述第一管道32、第二管道37的壓力小于清洗時(shí)沉積腔室2221的壓力，從而保證清洗過(guò)程中的顆粒能夠通過(guò)清洗刷31上的孔進(jìn)入第一管道32，并且被第一管道32 和第二管道37之間的過(guò)濾片331過(guò)濾。本實(shí)用新型所述的真空泵34可以為獨(dú)立的真空泵，也可以與MOCVD設(shè)備內(nèi)的其他部件(例如手套箱222內(nèi)的真空泵或裝載卸載腔室或傳輸腔室21內(nèi)的其他部件)共用一個(gè)真空泵。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述第一管道 32集成于所述清洗刷機(jī)械手33的內(nèi)部，此時(shí)，所述清洗刷機(jī)械手33的形狀和尺寸應(yīng)進(jìn)行設(shè)計(jì)，一方面，使得所述清洗刷機(jī)械手33能夠滿足夾持清洗刷31，另一方面，所述清洗刷機(jī)械手33應(yīng)為中空的管狀，其內(nèi)部能夠容納所述第一管道32，從而可以節(jié)約噴淋頭清洗裝置占用的空間。當(dāng)然，在其他的實(shí)施例中，所述第一管道32和清洗刷機(jī)械手33也可以分別獨(dú)立設(shè)置，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要進(jìn)行靈活選擇和設(shè)置。所述清洗刷機(jī)械手33的材質(zhì)硬選擇具有一定強(qiáng)度和硬度的材質(zhì)，以滿足其使用壽命的要求，所述清洗刷機(jī)械手33可以采用焊接、鉚接等任何可能的機(jī)械加工方法與清洗刷31的背面相連接。需要說(shuō)明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例的吸附裝置采用了第一管道32和第二管道37， 這樣方便拆卸所述吸附裝置，并且方便對(duì)第一管道32和第二管道37進(jìn)行清洗以及對(duì)過(guò)濾片331進(jìn)行及時(shí)更換。在其他的實(shí)施例中，也可以直接采用一個(gè)管道，該管道的一端與清洗刷中的孔相連接，另一端與真空泵34相連接。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動(dòng)控制方式，所述噴淋頭清洗裝置還包括機(jī)械手控制單元，用于控制所述清洗刷機(jī)械手33，調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手33和清洗刷31，調(diào)整所述噴清洗刷31與所述噴淋頭222的待清洗表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的軌跡和速度， 從而可以獲得更好的清洗效果。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，所述機(jī)械手控制單元包括動(dòng)力單元36，用于提供動(dòng)力，使得所述清洗刷機(jī)械手33和/或清洗刷31能夠與所述噴淋頭2221的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所述動(dòng)力單元36可以為電機(jī)等；傳動(dòng)單元35，用于將動(dòng)力單元35的動(dòng)力傳送至所述清洗刷機(jī)械手33和清洗刷 31 ；子控制單元(圖中未示出)，用于控制所述動(dòng)力單元36、傳動(dòng)單元35，通過(guò)所述動(dòng)力單元36、傳動(dòng)單元35控制所述清洗刷機(jī)械手33和噴淋頭31的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，控制所述清洗刷機(jī)械手33和噴淋頭31的相對(duì)位置關(guān)系。作為一個(gè)實(shí)施例，所述傳動(dòng)單元35為管狀結(jié)構(gòu)，其材質(zhì)應(yīng)選擇具有一定柔性的材質(zhì)，這樣所述傳動(dòng)單元35能夠?qū)?lái)自動(dòng)力單元35的動(dòng)力傳輸至動(dòng)力單元35，并且所述傳動(dòng)單元35的長(zhǎng)度應(yīng)能支持清洗刷31和清洗刷機(jī)械手33。作為可選的實(shí)施例，部分第一管道 32和第二管道37這只在所述傳動(dòng)單元35的內(nèi)部，這樣可以節(jié)約噴淋頭清洗裝置占用的空間，當(dāng)然，所述第一管道32和第二管道37也可以獨(dú)立與所述傳動(dòng)單元35設(shè)置。作為本實(shí)用新型的又一實(shí)施例，所述噴淋頭清洗裝置30還包括圖像采集單元(未圖示)，用于采集噴淋頭2221的表面的圖像，所述圖像采集單元可以為攝像頭，其可以固定安裝于手套箱2221內(nèi)的能夠監(jiān)控噴淋頭2221表面的任何位置，也可以安裝于清洗刷31待清洗的表面的任何位置，例如所述圖像采集單元可以安裝于清洗刷31的刷毛面311上(圖像采集單元的位置設(shè)置在刷毛面311上的孔的附近，其表面可以設(shè)置保護(hù)裝置，避免表面由于清洗過(guò)程中的顆粒損傷或沾污而無(wú)法采集噴淋頭表面的圖像)；圖像分析單元，用于對(duì)所述圖像采集單元采集到的圖像進(jìn)行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況，所述圖像分析單元基于標(biāo)準(zhǔn)圖像(即噴淋頭2221的表面的潔凈度符合要求的圖像)與圖像采集單元采集的圖像進(jìn)行對(duì)比，基于計(jì)算機(jī)判斷和識(shí)別，能夠獲得噴淋頭表面的潔凈度的情況；反饋單元，用于根據(jù)圖像分析單元的分析結(jié)果，獲得控制信號(hào)，所述控制信號(hào)作為所述子控制單元的調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手33和清洗刷31的運(yùn)動(dòng)的依據(jù)。當(dāng)然，作為本實(shí)用新型再一實(shí)施例，也可以?xún)H在噴淋頭清洗裝置30中設(shè)置圖像采集單元和顯示單元，該圖像采集單元用于采集噴淋頭2221的表面的圖像，該顯示單元位于 MOCVD設(shè)備的外部，其將圖像采集單元獲得的圖像進(jìn)行顯示，以供相關(guān)操作人員進(jìn)行判斷， 對(duì)噴淋頭清洗裝置30的工作進(jìn)行調(diào)整，判斷是否繼續(xù)進(jìn)行清洗或調(diào)整清洗刷31與噴淋頭 2221的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)和相對(duì)位置關(guān)系。作為一個(gè)實(shí)施例，在進(jìn)行沉積工藝時(shí)，所述噴淋頭清洗裝置30的清洗刷31和清洗刷機(jī)械手33位于傳輸腔室21內(nèi)，在沉積工藝完成后，所述清洗刷31和清洗刷機(jī)械手33在子控制單元的驅(qū)動(dòng)下運(yùn)動(dòng)至手套箱222內(nèi)的與噴淋頭2221的待清洗表面相對(duì)的位置；在其他的實(shí)施例中，在進(jìn)行沉積工藝時(shí)，所述噴淋頭清洗裝置30的清洗刷和清洗刷機(jī)械手33還可以位于裝載卸載腔室中手套箱中，甚至所述噴淋頭清洗裝置還可以位于手套箱外。本實(shí)用新型實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置位于手套箱外，具體是指，所述噴淋頭清洗裝置的清洗刷和清洗刷機(jī)械手位于與手套箱相連接的單獨(dú)的腔室中(目的是防止清洗刷和清洗刷機(jī)械手由于與外部潔凈室接觸而形成污染，該腔室具有腔室門(mén)，能夠使得清洗刷和清洗刷機(jī)械手能夠通過(guò)該腔室門(mén)進(jìn)出所述手套箱。在其他的實(shí)施例中，所述噴淋頭清洗裝置也可以有更多的部分(甚至全部)位于手套箱內(nèi)、傳輸腔室內(nèi)、裝載卸載裝置內(nèi)或手套箱外。在其他的實(shí)施例中，也可以保持清洗刷和清洗刷機(jī)手與手套箱222的相對(duì)位置不變，而移動(dòng)噴淋頭2221的位置，當(dāng)然，此時(shí)需要對(duì)控制噴淋頭2221的位置的機(jī)械單元和控制單元進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整和更新，以滿足噴淋頭2221能夠運(yùn)動(dòng)至其表面與清洗刷的清洗面相對(duì)的位置。本實(shí)用新型以清洗刷31對(duì)手套箱222內(nèi)的噴淋頭2221進(jìn)行清洗為例(參考圖3)進(jìn)行說(shuō)明，實(shí)際上，所述清洗刷31還可以清洗其他手套箱內(nèi)的噴淋頭；本實(shí)用新型以噴淋頭清洗裝置30應(yīng)用于多邊形布局的MOCVD設(shè)備(參見(jiàn)圖2)為例進(jìn)行說(shuō)明，在實(shí)際中，所述噴淋頭清洗裝置30還可以應(yīng)用于線性MOCVD設(shè)備中；本實(shí)用新型以噴淋頭清洗裝置30安裝于傳輸腔室21內(nèi)，在其他的實(shí)施例中，所述噴淋頭清洗裝置30還可以安裝于裝載卸載腔室M或各個(gè)手套箱內(nèi)；在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。下面請(qǐng)參考圖4所示的圖3中的噴淋頭清洗裝置的在清洗時(shí)的原理示意圖。噴淋頭2221的待清洗表面與清洗刷31的刷毛面31貼合，彈性密封圈312將噴淋頭2221的待清洗表面和清洗刷31的刷毛面311密封(形成相對(duì)密封的環(huán)境以防止清洗過(guò)程中的顆粒污染手套箱內(nèi)的其他部件)，清洗刷31在動(dòng)力單元36、傳動(dòng)單元35、噴淋頭機(jī)械手33的配合下進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，為了保證清洗的效果，還可以在清洗刷31和噴淋頭2221之間施加一定的壓力。在清洗過(guò)程中，還可以不斷調(diào)整所述清洗刷31和噴淋頭2221之間的轉(zhuǎn)速、相對(duì)位置、 壓力等參數(shù)，以獲得更好的清洗效果。請(qǐng)參考圖5所示的本實(shí)用新型第二實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中示出了 MOCVD的部分結(jié)構(gòu)。與第一實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)采用相同的標(biāo)號(hào)，特此說(shuō)明。第二手套箱222內(nèi)具有加熱單元2223、石墨基座2222和噴淋頭2221，其中所述石墨基座2222用于放置基片，所述加熱單元2223用于對(duì)所述石墨基座2222進(jìn)行加熱，所述噴淋頭2221位于所述石墨基座2222放置有基片的一側(cè)的上方，所述噴淋頭2221的朝向所述基片和石墨基座2222 —側(cè)的表面為待清洗的表面。本實(shí)施例與前一實(shí)施例的區(qū)別在于，所述噴淋頭清洗裝置30位于第二手套箱222 內(nèi)，需要對(duì)第二手套箱2222的尺寸進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，以容納噴淋頭清洗裝置30。在清洗時(shí)，可以是所述噴淋頭2221移動(dòng)至該噴淋頭2221的待清洗表面與清洗刷31的刷毛面311相對(duì)的位置，也可以是清洗刷31移動(dòng)至其刷毛面與噴淋頭2221的待清洗表面相對(duì)的位置。當(dāng)然，所述噴淋頭清洗裝置30還可以分別安裝于其他的各個(gè)手套箱內(nèi)，或者所述噴淋頭清洗裝30也可以安裝于其中的一個(gè)手套箱內(nèi)，并且該噴淋頭清洗裝置30在各個(gè)手套箱之間移動(dòng)，對(duì)各個(gè)手套箱內(nèi)的噴淋頭進(jìn)行清洗。下面請(qǐng)參考圖6所示的本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。與第一實(shí)施例相同的結(jié)構(gòu)采用相同的標(biāo)號(hào)。所述噴淋頭清洗裝置包括清洗刷31，具有刷毛面311，該刷毛面311在清洗時(shí)與噴淋頭2221的待清洗的表面或者第二手套箱222的待清洗的表面相對(duì)，該刷毛面311上具有有刷毛(圖中未示出)；清洗刷機(jī)械手33，與所述噴淋頭31的刷毛面311相對(duì)一側(cè)表面相連接，所述清洗刷機(jī)械手33用于夾持和移動(dòng)清洗刷31，使得所述清洗刷31和/或刷毛能夠與噴淋頭的待清洗的表面或手套箱的待清洗的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭或手套箱的表面。本實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置30可以設(shè)置于手套箱內(nèi)或手套箱外，當(dāng)然也可以設(shè)置于傳輸腔室或裝載卸載腔室內(nèi)。本實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置與前兩個(gè)實(shí)施例的區(qū)別在于，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為半自動(dòng)工作方式，即在清洗過(guò)程中，需要相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行手動(dòng)操作噴淋頭清洗裝置，手動(dòng)操作的原理將在后續(xù)進(jìn)行說(shuō)明。該噴淋頭清洗裝置還包括動(dòng)力單元36、傳動(dòng)單元35 ；[0108]所述動(dòng)力單元36用于提供動(dòng)力，該動(dòng)力使得所述清洗刷31和/或刷毛能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)；所述傳動(dòng)單元35的一端與所述動(dòng)力單元36相連接，用于接收來(lái)自動(dòng)力單元36的動(dòng)力，另一端與所述清洗刷機(jī)械手33相連接，將該動(dòng)力傳動(dòng)至清洗刷機(jī)械手33。作為可選的實(shí)施例，所述噴淋頭清洗裝置30還包括驅(qū)動(dòng)軸單元38，用于操作人員通過(guò)該驅(qū)動(dòng)軸單元38調(diào)整清洗刷31的位置，這樣可以避免清洗刷的分量過(guò)重不便于移動(dòng)和改變其位置。。如圖6所示，所述驅(qū)動(dòng)軸單元38包括第一驅(qū)動(dòng)軸381，其一端與清洗刷機(jī)械手33相連接，所述連接可以為焊接或通過(guò)鉚釘?shù)你T接等，其另一端為自由端；第二驅(qū)動(dòng)軸382，所述第二驅(qū)動(dòng)軸382的中部與第一驅(qū)動(dòng)軸381的中部相連接，所述連接為鉚接， 該第二驅(qū)動(dòng)軸382和第一驅(qū)動(dòng)軸382分別用于驅(qū)動(dòng)所述清洗刷31運(yùn)動(dòng)。通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)軸單元38能夠?qū)崿F(xiàn)噴淋頭清洗裝置30的半自動(dòng)化工作，即相關(guān)技術(shù)人員可以利用該驅(qū)動(dòng)軸單元38手動(dòng)來(lái)改變清洗刷31的位置。當(dāng)然，操作人員也可以直接通過(guò)調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手33來(lái)移動(dòng)和改變清洗刷的位置。本實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置的半自動(dòng)工作原理如下在沉積工藝完成后，操作人員控制所述傳動(dòng)單元36和動(dòng)力單元35將所述清洗刷31和清洗刷機(jī)械手33移動(dòng)至與所述噴淋頭31的表面相對(duì)的位置，或操作人員控制所述噴淋頭移動(dòng)至噴淋頭的表面與所述清洗刷31相對(duì)的位置，利用所述清洗刷31對(duì)所述噴淋頭的表面進(jìn)行清洗；在清洗完成后操作人員控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷31分離，將所述清洗刷31和清洗刷機(jī)械手 33放置于手套箱內(nèi)、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中。作為一個(gè)實(shí)施例，所述傳動(dòng)單元35與所述清洗刷機(jī)械手33相連接的部分為剛性結(jié)構(gòu)(圖中標(biāo)示為351)，所述剛性結(jié)構(gòu)用于操作人員手持，所述傳動(dòng)單元35的與所述動(dòng)力單元36相連接的部分為柔性結(jié)構(gòu)(圖中標(biāo)示為352)，使得所述傳動(dòng)單元35能夠帶動(dòng)所述清洗刷31與所述噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。作為一個(gè)實(shí)施例，所述傳動(dòng)單元35內(nèi)還設(shè)置第一管道32、第二管道37，所述第一管道32的一端與清洗刷31上的孔相連接，另一端與第二管道37的一端相連接，所述第二管道37的另一端與真空泵34相連接；所述第一管道 32與第二管道37相連接的部分形成有過(guò)濾片331，該過(guò)濾片331用于過(guò)濾清洗過(guò)程中的被清洗刷31刷下的顆粒。所述真空泵34用于進(jìn)行抽真空，使得所述第一管道32、第二管道 37的壓力小于清洗時(shí)沉積腔室2221的壓力，從而保證清洗過(guò)程中的顆粒能夠通過(guò)清洗刷 31上的孔進(jìn)入第一管道32，并且被第一管道32和第二管道37之間的過(guò)濾片331過(guò)濾。本實(shí)用新型所述的第一管道32、第二管道37、真空泵34和過(guò)濾片331的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例相同，請(qǐng)參考第一實(shí)施例，在此不做贅述。與前兩個(gè)實(shí)施例相同，本實(shí)施例所述的噴淋頭清洗裝置還可以包括圖像采集單元和顯示單元，所述圖像采集單元和顯示單元的作用和結(jié)構(gòu)請(qǐng)參考前兩個(gè)實(shí)施例，在此不做贅述。請(qǐng)參考圖7，為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的MOCVD的結(jié)構(gòu)示意圖。所述MOCVD設(shè)備的布局為飛機(jī)狀。與圖2所示的第一實(shí)施例的MOCVD設(shè)備中相同的部件采用相同標(biāo)號(hào)。具體地，所述MOCVD設(shè)備包括裝載卸載腔室M、第一傳輸腔室211、第二傳輸腔室212、多個(gè)手套箱和測(cè)試緩沖腔室25。本實(shí)施例中，所述第一傳輸腔室211和第二傳輸腔室212的形狀為方形。作為一個(gè)實(shí)施例，所述第一傳輸腔室211的一個(gè)方向的兩側(cè)與第一手套箱2221和第二手套箱2222相連接；所述第一傳輸腔室211的另一個(gè)方向的一側(cè)與裝載卸載腔室M 相連接，另一側(cè)與所述測(cè)試緩沖腔室25的一個(gè)方向的一側(cè)相連接；所述測(cè)試緩沖腔室25的一個(gè)方向的另一側(cè)與第二傳輸腔室212的一個(gè)方向的一側(cè)相連接；所述第二傳輸腔室212 的另一個(gè)方向的兩側(cè)與第三傳輸腔室2223和第四傳輸腔室22M的相連接。來(lái)自外部潔凈室的基片通過(guò)裝載卸載腔室25進(jìn)入MOCVD設(shè)備，然后通過(guò)所述第一傳輸腔室211和第二傳輸腔室212在所述裝載卸載腔室M、各個(gè)手套箱和測(cè)試緩沖腔室25之間傳輸。所述測(cè)試緩沖腔室25至少可以設(shè)置原位測(cè)試模塊和冷卻模塊，在各個(gè)手套箱中工藝完畢的基片可以在測(cè)試緩沖腔室25中進(jìn)行冷卻，并且對(duì)基片上的外延材料層的特性參數(shù)進(jìn)行測(cè)試。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述的噴淋頭清洗裝置安裝于每個(gè)手套箱內(nèi)。當(dāng)然，所述噴淋頭清洗裝置也可以安裝于所述裝載卸載腔室對(duì)、第一傳輸腔室211、第二傳輸腔室212、測(cè)試緩沖腔室25中。圖7中所示的MOCVD設(shè)備具有4個(gè)手套箱、兩個(gè)傳輸腔室、1原位測(cè)試腔室，在其他的實(shí)施例中，根據(jù)實(shí)際需要，可以對(duì)手套箱、傳輸腔室和原位測(cè)試腔室的數(shù)目進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置。請(qǐng)結(jié)合圖8所示的本實(shí)用新型第四實(shí)施例的噴淋頭清洗裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。 所述噴淋頭清洗裝置包括清洗刷41，具有刷毛面(未示出)，該刷毛面在清洗時(shí)與噴淋頭40的待清洗的表面或者手套箱(未示出)的待清洗的表面相對(duì)，該刷毛面上具有刷毛(未示出)；清洗刷機(jī)械手，用于夾持和移動(dòng)清洗刷41，使得所述清洗刷41和/或刷毛能夠與噴淋頭40的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭40的表面；吸附裝置(未示出)，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物。具體地，作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷41的刷毛面的面積小于所述噴淋頭40的待清洗表面，當(dāng)然，所述清洗刷41的刷毛面的面積也可以等于所述噴淋頭40的待清洗表面。 本實(shí)例中，所述清洗刷41的形狀圓形，在其他的實(shí)施例中，所述清洗刷41的形狀也可以為方形、三角形、菱形或其他規(guī)則或不規(guī)則圖形。通常，清洗刷41的面積越大，清洗的速度越快，但是清洗需要的動(dòng)力越大，噴淋頭清洗裝置的成本也越高，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要進(jìn)行選擇。作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷41的刷毛的材質(zhì)可以為金屬，所述清洗刷41的刷毛面外側(cè)也可以設(shè)置彈性密封圈，并且所述噴淋頭清洗裝置中也可以設(shè)置圖像采集單元、圖像分析單元和反饋單元，具體請(qǐng)參考第一至第三實(shí)施例，在此不做贅述。請(qǐng)繼續(xù)參考圖8，作為一個(gè)實(shí)施例，所述清洗刷機(jī)械手43包括導(dǎo)軌支撐部件44，位于所述噴淋頭40的外部；可動(dòng)導(dǎo)軌43，一端與所述導(dǎo)軌支撐部件40通過(guò)固定件相連接，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43能夠相對(duì)所述導(dǎo)軌支撐部件40進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)，該可動(dòng)導(dǎo)軌43的圓周運(yùn)動(dòng)的軌跡至少覆蓋所述噴淋頭40的表面；滑塊42，設(shè)置于所述可動(dòng)導(dǎo)軌43上，所述滑塊42用于活動(dòng)連接所述可動(dòng)導(dǎo)軌43 和清洗刷41，使得所述清洗刷41能夠隨著所述滑塊42與所述可動(dòng)導(dǎo)軌43進(jìn)行徑向運(yùn)動(dòng)， 所述徑向運(yùn)動(dòng)的方向?yàn)檠厮鰣A周運(yùn)動(dòng)的半徑方向，所述徑向運(yùn)動(dòng)與所述圓周運(yùn)動(dòng)配合， 使得所述清洗刷41的運(yùn)動(dòng)軌跡覆蓋整個(gè)噴淋頭41的表面。[0127]作為一個(gè)實(shí)施例，所述導(dǎo)軌支撐部件44可以與動(dòng)力單元相連接，所述導(dǎo)軌支撐部件44將動(dòng)力傳輸給所述可動(dòng)導(dǎo)軌43，控制所述可動(dòng)導(dǎo)軌43圓周運(yùn)動(dòng)的速度、方向、軌跡。所述滑塊42的徑向運(yùn)動(dòng)可以通過(guò)軟軸、皮帶輪等多種方式實(shí)現(xiàn)。作為一個(gè)實(shí)施例，所述滑塊42的運(yùn)動(dòng)通過(guò)軟軸實(shí)現(xiàn)，該軟軸的一端與滑塊42相連接，另一端與動(dòng)力單元相連接，通過(guò)軟軸，動(dòng)力單元能夠控制所述滑塊42的運(yùn)動(dòng)的速度，通過(guò)控制所述滑塊的速度，可以控制清洗刷的速度。作為本實(shí)用新型的又一實(shí)施例，還可以在所述導(dǎo)軌支撐部件44 內(nèi)安裝皮帶輪，利用皮帶輪的轉(zhuǎn)動(dòng)所述滑塊42沿著所述可動(dòng)導(dǎo)軌43進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。所述可動(dòng)導(dǎo)軌43的長(zhǎng)度應(yīng)至少大于所述噴淋頭41的待清洗的表面的直徑。下面結(jié)合圖8對(duì)所述噴淋頭清洗裝置的工作原理進(jìn)行說(shuō)明。在進(jìn)行外延沉積工藝時(shí)，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43移動(dòng)至圖中A位置或C位置，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43的移動(dòng)可以在動(dòng)力源的驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行；圖中A位置或C位置與噴淋頭40的待清洗的表面具有一定的角度，該角度可以根據(jù)噴淋頭40的待清洗表面的面積、可動(dòng)導(dǎo)軌43的長(zhǎng)度進(jìn)行具體的設(shè)置，但是圖中A位置或C位置應(yīng)該滿足不影響外延沉積工藝、且進(jìn)行外延沉積工藝時(shí)不會(huì)對(duì)噴淋頭清洗裝置的各個(gè)結(jié)構(gòu)有影響，此時(shí)，清洗刷41位于遠(yuǎn)離所述噴淋頭40 和其待清洗表面的位置；在外延沉積工藝結(jié)束后，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43移動(dòng)至所述清洗刷41的刷毛面與所述噴淋頭40的待清洗表面相對(duì)，并且刷毛與所述噴淋頭40的待清洗表面形成接觸，以便當(dāng)噴清洗刷41旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述刷毛與所述噴淋頭40的待清洗表面能夠形成相對(duì)摩擦，當(dāng)然，為了保證清洗效果，還可以在所述噴淋頭40與清洗刷41之間施加一定的壓力(該壓力可以通過(guò)可動(dòng)導(dǎo)軌43施加)該壓力可以為固定壓力，也可以根據(jù)噴淋頭的潔凈程度或工藝要求或噴淋頭的使用狀況進(jìn)行靈活的設(shè)置，所述清洗刷41在所述滑塊42的帶動(dòng)下沿著可動(dòng)導(dǎo)軌 43進(jìn)行徑向運(yùn)動(dòng)，并且所述可動(dòng)導(dǎo)軌43在A位置與C位置之間進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)；如圖所示， 滑塊42在A位置、B位置、C位置位于所述可動(dòng)導(dǎo)軌43的不同位置，圖中僅為示意，在此不應(yīng)限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43在所述噴淋頭41的待清洗表面的圓周運(yùn)動(dòng)為半圓周運(yùn)動(dòng)，即該圓周運(yùn)動(dòng)的圓心設(shè)置于噴淋頭41以外，且該圓周運(yùn)動(dòng)的角度小于360度，在其他的實(shí)施例中，也可以將導(dǎo)軌支撐部件44、可動(dòng)導(dǎo)軌43移動(dòng)至所述噴淋頭 41的待清洗表面的對(duì)應(yīng)位置，比如所述導(dǎo)軌支撐部件44、可動(dòng)導(dǎo)軌43和噴淋頭41的待清洗表面的中心的上方，使得所述可動(dòng)導(dǎo)軌41沿所述噴淋頭的待清洗表面上進(jìn)行整圓周運(yùn)動(dòng)(即圓周運(yùn)動(dòng)的圓心設(shè)置于噴淋頭41的待清洗表面的中心的上方的位置，圓周運(yùn)動(dòng)的角度大于等于360度)，此時(shí)，所述可動(dòng)導(dǎo)軌43的長(zhǎng)度可以小于所述噴淋頭41的待清洗表面的直徑。本實(shí)施例所述噴淋頭清洗裝置位于所述手套箱內(nèi)，所述清洗刷機(jī)械手包括導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊，利用滑塊和可動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)，使得清洗刷與噴淋頭表面進(jìn)行清洗，所述導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊的體積小，從而使得整個(gè)噴淋頭清洗裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，也降低了噴淋頭清洗裝置的成本。綜上，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的噴淋頭清洗裝置利用清洗刷機(jī)械手夾持和移動(dòng)清洗刷，利用清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，清洗噴淋頭的表面，從而實(shí)現(xiàn)噴淋頭表面的清洗，由于本實(shí)用新型實(shí)施例利用清洗刷機(jī)械手夾持清洗刷，操作人員無(wú)需用手夾持噴淋頭，無(wú)需等待噴淋頭表面的溫度降低為安全溫度(即操作人員手不會(huì)被燙傷的溫度)，從而減少了清洗的時(shí)間，提供了噴淋頭用于沉積工藝的時(shí)間和沉積設(shè)備的利用率；并且由于本實(shí)用新型利用刷毛與噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面，從而與采用等離子體等化學(xué)方式對(duì)噴淋頭表面進(jìn)行清洗會(huì)造成噴淋頭的損傷相比，本實(shí)用新型實(shí)施例不會(huì)損傷噴淋頭，從而可以提高噴淋頭的使用壽命；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動(dòng)控制方式，無(wú)需操作人員對(duì)噴淋頭進(jìn)行操作，可以利用機(jī)械手控制單元控制清洗刷機(jī)械手與所述噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的軌跡和速度，可以在節(jié)約人力的同時(shí)達(dá)到更好的清洗效果清洗；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置還包括圖像采集單元、圖像分析單元和反饋單元，從而可以監(jiān)控噴淋頭的表面的圖像，從而根據(jù)所述圖像判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況，自動(dòng)地控制清洗刷機(jī)械手和清洗刷的運(yùn)動(dòng)，獲得更好的清洗效果；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置可以包括第一清洗刷和第二清洗刷，從而可以對(duì)噴淋頭進(jìn)行粗清洗和精清洗，粗清洗可以較快地將噴淋頭表面的大部分污染物去除， 縮短噴淋頭清洗的時(shí)間，而精清洗則可以將噴淋頭表面殘留的難以去除的污染物去除，保證噴淋頭清洗的潔凈度；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置還包括環(huán)繞所述清洗刷靠近所述噴淋頭的待清洗表面一側(cè)的彈性密封圈，在清洗時(shí)，所述彈性密封圈在所述清洗刷與所述噴淋頭的待清洗的表面形成相對(duì)封閉的環(huán)境，從而防止清洗過(guò)程中的顆粒沾污手套箱的其他部件；進(jìn)一步優(yōu)化地，所述噴淋頭清洗裝置位于所述手套箱內(nèi)，所述清洗刷機(jī)械手包括 導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊，利用滑塊和可動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)，使得清洗刷與噴淋頭表面進(jìn)行清洗，所述導(dǎo)軌支撐部件、可動(dòng)導(dǎo)軌和滑塊的體積小，從而使得整個(gè)噴淋頭清洗裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，也降低了噴淋頭清洗裝置的成本。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例披露如上，但本實(shí)用新型并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種噴淋頭清洗裝置，用于對(duì)噴淋頭的表面進(jìn)行清洗，其特征在于，包括 清洗刷，具有刷毛；清洗刷機(jī)械手，用于夾持和移動(dòng)清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面； 吸附裝置，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物。
2.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為全自動(dòng)控制方式，還包括機(jī)械手控制單元，用于控制所述清洗刷機(jī)械手，調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手與所述噴淋頭的表面的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的軌跡和速度。
3.如權(quán)利要求2所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述機(jī)械手控制單元包括 動(dòng)力單元，用于提供動(dòng)力，該動(dòng)力使得所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷能夠與所述噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)；傳動(dòng)單元，一段與所述動(dòng)力單元相連接，用于接收來(lái)自動(dòng)力單元的動(dòng)力，另一端與所述清洗刷機(jī)械手相連接，將動(dòng)力傳動(dòng)至所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷；子控制單元，用于控制所述動(dòng)力單元、傳動(dòng)單元，通過(guò)所述動(dòng)力單元、傳動(dòng)單元控制所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷的運(yùn)動(dòng)；所述噴淋頭清洗裝置用于沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備包括手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內(nèi)，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手位于所述手套箱內(nèi)、傳輸腔室內(nèi)、裝載卸載腔室內(nèi)或手套箱外；在沉積工藝完成后，所述子控制單元控制所述傳動(dòng)單元和動(dòng)力單元將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手移動(dòng)至與所述噴淋頭的表面相對(duì)的位置，或所述子控制單元控制所述噴淋頭移動(dòng)至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對(duì)的位置，利用所述清洗刷對(duì)所述噴淋頭的表面進(jìn)行清洗；在噴淋頭的清洗完成后，所述子控制單元還可用于控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手放置于手套箱內(nèi)、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中。
4.如權(quán)利要求3所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括 圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；圖像分析單元，用于對(duì)所述圖像采集單元采集到的圖像進(jìn)行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況；反饋單元，用于根據(jù)圖像分析單元的分析結(jié)果，獲得控制信號(hào)，所述控制信號(hào)作為所述子控制單元的調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手和清洗刷的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的依據(jù)。
5.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述噴淋頭清洗裝置的工作方式為半自動(dòng)控制方式，還包括動(dòng)力單元、傳動(dòng)單元；所述動(dòng)力單元用于提供動(dòng)力，該動(dòng)力使得所述清洗刷和/或刷毛能夠進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述傳動(dòng)單元的一端與所述動(dòng)力單元相連接，用于接收來(lái)自動(dòng)力單元的動(dòng)力，另一端與所述清洗刷機(jī)械手相連接，將該動(dòng)力傳動(dòng)至所述清洗刷機(jī)械手和/或清洗刷；所述沉積設(shè)備包括手套箱、傳輸腔室和裝載卸載腔室，所述噴淋頭位于所述手套箱內(nèi)，所述手套箱與所述傳輸腔室和/或裝載卸載腔室相連通；所述清洗刷清洗裝置位于所述手套箱內(nèi)、傳輸腔室內(nèi)、裝載卸載腔室內(nèi)或手套箱外；在沉積工藝完成后，操作人員控制所述傳動(dòng)單元和動(dòng)力單元將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手移動(dòng)至與所述噴淋頭的表面相對(duì)的位置，或操作人員控制所述噴淋頭移動(dòng)至噴淋頭的表面與所述清洗刷相對(duì)的位置，利用所述清洗刷對(duì)所述噴淋頭的表面進(jìn)行清洗；在清洗完成后操作人員控制所述噴淋頭的表面與所述清洗刷分離，將所述清洗刷和清洗刷機(jī)械手放置于手套箱內(nèi)、手套箱外、裝載卸載腔室或傳輸腔室中。
6.如權(quán)利要求5所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)單元與所述清洗刷機(jī)械手相連接的部分為剛性結(jié)構(gòu)，所述剛性結(jié)構(gòu)用于操作人員手持，所述傳動(dòng)單元的與所述動(dòng)力單元相連接的部分為柔性結(jié)構(gòu)，使得所述傳動(dòng)單元能夠帶動(dòng)所述清洗刷與所述噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；顯示單元，用于將圖像采集單元采集的圖像顯示，操作人員根據(jù)顯示單元的圖像，調(diào)整所述清洗刷機(jī)械手和清洗刷的相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
8.如權(quán)利要求3或5中任一權(quán)利要求所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述噴淋頭清洗裝置位于所述沉積設(shè)備的手套箱內(nèi)，所述清洗刷機(jī)械手包括導(dǎo)軌支撐部件，位于所述噴淋頭外部；可動(dòng)導(dǎo)軌，一端與所述導(dǎo)軌支撐部件通過(guò)固定件相連接，所述可動(dòng)導(dǎo)軌能夠相對(duì)所述導(dǎo)軌支撐部件進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)，該可動(dòng)導(dǎo)軌的圓周運(yùn)動(dòng)的軌跡至少覆蓋所述噴淋頭的表面；滑塊，設(shè)置于所述可動(dòng)導(dǎo)軌上，所述滑塊用于活動(dòng)連接所述可動(dòng)導(dǎo)軌和清洗刷，使得所述清洗刷能夠隨著所述滑塊與所述可動(dòng)導(dǎo)軌進(jìn)行徑向運(yùn)動(dòng)，所述徑向運(yùn)動(dòng)的方向?yàn)檠厮鰣A周運(yùn)動(dòng)的半徑方向，所述徑向運(yùn)動(dòng)與所述圓周運(yùn)動(dòng)配合，使得所述清洗刷的運(yùn)動(dòng)軌跡覆蓋整個(gè)噴淋頭的表面。
9.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌支撐部件與動(dòng)力單元相連接，所述導(dǎo)軌支撐部件將動(dòng)力傳輸給所述可動(dòng)導(dǎo)軌，控制所述可動(dòng)導(dǎo)軌圓周運(yùn)動(dòng)的速度、方向、軌跡。
10.如權(quán)利要求8所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括圖像采集單元，用于采集噴淋頭的表面的圖像；圖像分析單元，用于對(duì)所述圖像采集單元采集到的圖像進(jìn)行分析，判斷噴淋頭表面的潔凈度的情況；反饋單元，用于根據(jù)圖像分析單元的分析結(jié)果，獲得控制信號(hào)，所述控制信號(hào)作為所述動(dòng)力源的輸入信號(hào)。
11.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述清洗刷和刷毛的材質(zhì)相同或不同。
12.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述清洗刷包括第一清洗刷和第二清洗刷，所述第一清洗刷的刷毛比第二清洗刷的刷毛粗，所述第一清洗刷用于進(jìn)行噴淋頭的粗清洗，所述第二清洗刷用于噴淋頭的精清洗。
13.如權(quán)利要求1所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，還包括彈性密封圈，環(huán)繞所述清洗刷靠近所述噴淋頭的待清洗表面一側(cè)，所述彈性密封圈用于清洗時(shí)，在所述清洗刷與所述噴淋頭的待清洗的表面形成相對(duì)封閉的環(huán)境，所述吸附裝置包括吸附管道和真空泵， 所述吸附管道的一端與所述清洗刷的與所述噴淋頭待清洗表面相對(duì)一側(cè)的表面相連接，另一端與所述真空泵相連接，所述真空泵用于使得所述吸附管道的一端壓力小于另一端的壓力，在清洗過(guò)程中的污染物由于吸附管道兩端的壓力差隨著所述吸附管道被抽離所述清洗刷與噴淋頭之間。
14.如權(quán)利要求13所述的噴淋頭清洗裝置，其特征在于，所述彈性密封圈的材質(zhì)為橡膠、金屬、陶瓷、塑料中的一種或其中的組合。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種噴淋頭清洗裝置，用于對(duì)噴淋頭的表面進(jìn)行清洗，包括清洗刷，具有刷毛；清洗刷機(jī)械手，用于夾持和移動(dòng)清洗刷，使得所述清洗刷和/或刷毛能夠與噴淋頭的表面進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用該相對(duì)運(yùn)動(dòng)清洗噴淋頭的表面；吸附裝置，用于吸附清洗過(guò)程中的污染物。本實(shí)用新型實(shí)施例解決了噴淋頭的表面無(wú)法清洗的問(wèn)題，避免噴淋頭表面的污染物對(duì)下一次沉積工藝的影響。
文檔編號(hào)C23C16/455GK202224377SQ201120383309
公開(kāi)日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月10日
發(fā)明者葉芷飛, 梁秉文 申請(qǐng)人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司