專利名稱：平板顯示器的大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)工藝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面高純鉬靶材的生產(chǎn)技術(shù)，尤其涉及一種作為大型平板顯示器電極或配線材料的大型高純平面鉬靶材的生產(chǎn)工藝方法，主要涉及厚度20mm、長度 L ^ 1700mm的大型高純鉬靶材的生產(chǎn)工藝方法。
背景技術(shù)：
鉬是一種銀白色金屬，熔點^17°C，沸點4612°C，常溫下耐腐蝕性和穩(wěn)定性較好， 具有有優(yōu)良的高溫強度、良好的導(dǎo)電性和熱膨脹性能，在宇航工業(yè)、電子工業(yè)、玻璃制造業(yè)和太陽能光伏等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，薄膜科學(xué)應(yīng)用日益廣泛，尤其是用于高新技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)濺射法加工太陽能光伏的薄膜涂層和平面顯示行業(yè)的電極薄膜。濺射法是加工太陽能光伏的薄膜涂層和平面顯示行業(yè)的電極薄膜主要的生產(chǎn)加工技術(shù)，而濺射沉積薄膜的原材料即為靶材。即可以簡單理解為，靶材為陰極濺射系統(tǒng)中被濺射的材料。隨著人們生活水平的提高和經(jīng)濟的發(fā)展，越來越多人們對平板顯示器的要求越來越高，主要表現(xiàn)在平板顯示器的大型化方面和質(zhì)量方面。而平板顯示器的大型化則要求濺射薄膜的大型化，從而要求平面靶材的大型化，即對靶材的長度提出了越來越高的要求。為滿足長度的要求，傳統(tǒng)的通過數(shù)段短靶材焊接而成的工藝，焊縫具有更多的細微結(jié)構(gòu)及氣孔，引起蝕刻的不均勻，并導(dǎo)致涂層厚度不均勻的后果。而且鉬靶材在焊接區(qū)域及其脆弱， 具有比較大斷裂風(fēng)險。高質(zhì)量的平板顯示，則要求濺射薄膜有比較高的密度均勻性、均勻的晶體組織、比較低的電阻率，因而就需要高質(zhì)量的平面靶材來保證，而高質(zhì)量的靶材則需要先進的生產(chǎn)工藝來保證。與其它材料的靶材相比，鉬靶材通過濺射系統(tǒng)制成的薄膜在密度均勻性、腐蝕形狀、顆粒度、電阻率上均占有明顯優(yōu)勢。本發(fā)明提供了一種平板顯示器的大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)工藝方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提出一種平板顯示器的大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)工藝方法，提高大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)質(zhì)量，保證大型高純鉬靶材的尺寸精度、表面質(zhì)量、密度、顆粒度及各種性能要求。產(chǎn)品的規(guī)格要求長度彡1700mm，寬度為200mm左右，厚度< 20mm。其技術(shù)要求如下
1)純度要求，Mo的含量彡99.95% ；
2)相對密度(實際密度/理論密度)彡99%；燒結(jié)后密度10. 07—10. 12 g/cm3 理論密度10. 2g/cm3
3)晶粒結(jié)構(gòu)均勻；
4)表面磨光，平面度小于0.05，表面粗糙度為RaO. 2 ；5)表面不應(yīng)該有裂紋、起皮、折疊、壓痕、壓坑、金屬或非金
屬壓入物等缺陷；
6)靶材內(nèi)部裂紋的長度不大于0.04mm，沒有氣泡及大結(jié)晶。 根據(jù)平板顯示器的大型高純鉬平面靶材的本身的特點及技術(shù)要求，確定其加工工藝為
1)鉬粉分析牌號FM0-1，采用ICP原子吸收光譜法分析鉬粉的純度，Mo的含量彡99. 95%，以控制雜質(zhì)的含量
Fe<0.005；Sn<0. 0005；Ni<0. 003；Sb<0. 010；Si<0. 002；Cd<0. 0005 ；
ΑΚ0. 0015;C<0. 005;Ca<0. 0015;N<0. 015;Mg<0. 002;0<0· 2;
Cu<0. 001;ff<0. 05;Pb<0. 0005;Bi<0. 0005 ；
2)選粉使用200目的篩子，對鉬粉進行篩選；
3)配粉每批鉬粉中取總重量2.5%的鉬粉，在125MPa的壓力下先行壓制，然后將壓制后的鉬粉破碎，與沒有進行壓制的鉬粉進行混合，靜置M小時；其目的在于得到不同粒度組合的粉末，使其具有較大的松裝密度，裝模后容易壓實；其具體的工序如下
a)每百公斤鉬粉中取2.5公斤鉬粉，采用冷等靜壓設(shè)備在125MPa的壓力下先行壓制；
b)用破碎機將上述壓制后的鉬坯料進行破碎；
c)將上述破碎后的鉬坯料顆粒過180目的篩子；
d)對過180目的篩子后的鉬粉與沒有進行過壓制的鉬粉在混料機上進行混合；
e)混合后靜置M小時；
壓制前的松裝粉末顆粒間的接觸面盡管比較小，但總還是接觸的，所以有一定的內(nèi)聚力(該力與顆粒之間的距離成反比，即顆粒間的機械咬合力)，因而有一定的強度。而松裝粉末的強度可以用自然傾角α來表示，自然傾角α越大，粉末的強度越高。由于鉬粉的顆粒較細，具有非常大的表面積，因而內(nèi)聚力比較大，這明顯地表現(xiàn)在自然傾角α大和松裝密度小上面。粉末顆粒的內(nèi)聚力和咬合力阻礙它們壓實，因為克服這些力需要一定的外力， 所以松裝密度小的鉬粉壓實性能不好。在鉬粉的配粉工序中，先取總重量2. 5%的鉬粉，在 125MPa的壓力下，先行壓制，后破碎，然后與鉬粉混合M小時。就可以得到不同粒度的組合的鉬粉，因此具有較大的松裝密度，更容易壓實，可以提高壓制后板坯內(nèi)部顆粒度和密度的均勻性、強度和抗變形能力；
4)裝模將上述得到的混合后的鉬粉，填充在橡膠模袋中；
5)壓制設(shè)備冷等靜壓力機；具體工藝過程如下
a)將夾緊的橡膠模袋，放入等靜壓機的高壓工作容器內(nèi)；
b)開動壓力泵把液體介質(zhì)壓入高壓工作容器直至充滿并從放氣孔中冒出為止；
c)隨即開動增壓泵使壓力以5MPa/min的速度升至200ΜΡ ，然后保壓1_2分鐘，最后卸壓過程速度為8MPa/min ；
d)壓力去除后，將橡膠套從高壓工作容器中取出，打開橡膠套，即可將壓制成型的鉬板坯取出，此時壓制胚料密度可達4. 2 g/cm3,以便于中頻設(shè)備的燒結(jié)；
6)燒結(jié)；設(shè)備為感應(yīng)式中頻燒結(jié)爐；具體工藝過程如下
a)室溫——>1200°C，用時4h；
b)1200°C保溫 Ih;12000C——>1300°C，用時 Ih
d)13000C——>1400°C，用時 2h
e)1400°C——>1650°C，用時 2h
f)1650°C保溫 lh;
g)1650°C——>1750°C，用時 Ih
h)1750°C——>1850°C，用時 Ih
i)1850°C——>1960°C，用時 Ih j) 1960°C保溫 7h; k)停爐； m)冷卻9h ； η)出爐；
7)軋制設(shè)備熱軋機; 具體的軋制工藝如下
a)初火1600°C，第一道
第二道:53cm->47cm
第三道:47cm->44cm
b)二火1550°C，第一道
第二道:40cm->38cm
第三道:38cm->36cm
c)三火1550°C，第一道
第二道:32cm->29cm
第三道:29cm->27cm
d)四火1550°C，第一道
第二道:23cm->20cm
由于鉬具有高的熔點，高的變形能力以及粉末冶金板坯多孔的等軸晶粒結(jié)構(gòu)，易導(dǎo)
致低溫脆斷，因此其軋制的開坯必須加熱到高溫下進行；鉬板在低于1100°C時，塑性無明顯變化，當溫度超過1300°C時，塑性才明顯提高，溫度在1600°C時板材的伸長率遠大于在 1400°C時的伸長率，而在1600°C的變形抗力遠小于為1400°C時的變形抗力；而將目前的開坯溫度由1400°C升至1600°C，可提高板坯的塑性、降低變形抗力、改善軋制鉬板坯的性能。目前鉬板坯熱軋的初火溫度(開坯溫度)偏低為1400°C、初次變形率偏小為28%，軋制壓力不足以使變形滲透到靶材中心，使得靶材表層與中心部位產(chǎn)生不均勻的變形，常造成靶材端部出現(xiàn)開裂、分層等缺陷。而且軋制力不足會使得鉬坯內(nèi)部更多的鉬原子間達不到金屬間引力的范圍，從而降低晶粒間的結(jié)合強度。因此提高初軋的溫度，從而可以提高初火次的變形率，抑制靶材端部出現(xiàn)的開裂、分層等缺陷，以及提高晶粒間的結(jié)合強度，進而能夠提高靶材的抗變形能力。把軋制的初火溫度提高到1600°C，初次變形率可提高到40%， (初次變形量是指，在1600°C經(jīng)三道軋制，板坯厚度由60cm減至44cm，初次變形量為16cm。 初次變形率=初火的變形量/總的變形量=16/40=40%)。8)退火用于消除內(nèi)應(yīng)力、為以后的機械加工作準備；具體的退火工藝為將軋制后并降至常溫的板坯加熱到1100°C，保溫1小時，然后緩慢冷卻至室溫；
:60cm->53cm，
:44cm->40cm
:36cm->32cm
:27cm->23cm9)超聲無損探傷檢查主要檢查內(nèi)部裂紋缺陷；
10)銑寬度銑床上將寬度加工至成品要求的尺寸；
11)線切割端面及倒角數(shù)控線切割機將長度方向及倒角加工至成品要求的尺寸；
12)磨床加工將靶材表面磨平至要求尺寸。本發(fā)明工藝方法加工的大型高純鉬平面靶材，由于在等靜壓前采用配粉工序、選用了合理的燒結(jié)參數(shù)、將初火溫度由1400°C改為1600°C優(yōu)化了軋制過程的初軋參數(shù)等，通過多次試驗加工，具有如下有益效果
1)鉬靶材的長度可達1700mm以上。2)純度要求，Mo的含量彡99. 95% ；
3)相對密度>99% ；
4)晶粒結(jié)構(gòu)均勻；
5)表面磨光，其平面度小于0.05 ；表面粗糙度為RaO. 2 ；
6)表面沒有裂紋、起皮、折疊、壓痕、壓坑、金屬或非金屬壓入物等缺陷；
7)靶材內(nèi)部裂紋的長度不大于0.04mm、沒有氣泡及大結(jié)晶。8)濺射鉬靶材內(nèi)部的密度均勻性，可使靶材在客戶使用過程中的產(chǎn)品質(zhì)量和可
靠性提高。


圖1為大型高純鉬平面靶材夾具裝配圖。圖2為圖1的B-B剖面圖。圖3為圖1的A-A剖面圖。圖4為大型高純鉬平面靶材夾具立體圖。圖中1、鉬粉，2、橡膠套，3、頂蓋，4、短壓板，5、長壓板，6、鎖緊螺母，7、螺絲，8、
夾具體。
具體實施例方式給出本發(fā)明實施例，對本發(fā)明加以說明，但不構(gòu)成對本發(fā)明的任何限制。今以成品規(guī)格長X寬X高=1700mmX200mmX20mm為例，根據(jù)大型高純鉬平面靶材的特點和技術(shù)要求，確定其加工工藝為
1.鉬粉分析牌號FMo-l，采用ICP原子吸收光譜法分析鉬粉的純度，Mo的含量彡99. 5%，控制雜質(zhì)的含量
Fe<0.005；Sn<0. 0005；Ni<0. 003；Sb<0. 010；Si<0. 002；Cd<0. 0005； ΑΚ0. 0015;C<0. 005;Ca<0. 0015;N<0. 015;Mg<0. 002;0<0· 2; Cu<0. 001;ff<0. 05;Pb<0. 0005;Bi<0. 0005
2.選粉使用200目的篩子，對鉬粉進行篩選；
3.配粉其目的在于得到不同粒度組合的粉末，使其具有較大的松裝密度，裝模后容易壓實，以提高壓制后板坯密度的均勻性、強度和抗變形能力；
每批鉬粉中取總重量2. 5%的鉬粉，在125MI^的壓力下先行壓制，然后將壓制后的鉬粉破碎，與沒有進行壓制的鉬粉進行混合，靜置24小時；其具體的工序如下
a)每百公斤鉬粉中取2.5公斤鉬粉，采用冷等靜壓設(shè)備CIP200在125MPa的壓力下先行壓制；
b)用破碎機將上述壓制后的鉬坯料進行破碎；
c)將上述破碎后的鉬坯料顆粒過180目的篩子；
d)對過180目的篩子后的鉬粉與沒有進行過壓制的鉬粉在混料機上進行混合；
e)混合后靜置M小時；
4.裝模將上述得到的混合后的鉬粉，填充在橡膠套中，為壓制工序作準備； a)計算根據(jù)成品的尺寸長度為1700mm，寬度為200mm，厚度為20mm，和成品理論密度為10.2g/cm3計算出成品的質(zhì)量約為70kg?？紤]到機械加工過程中的的損耗，裝粉的實際重量為77公斤。b)裝粉將鉬粉裝入橡膠套中，蓋上頂蓋；
c)振動混粉將橡膠套放在電磁振動臺上，通過振動臺的振動使鉬粉末搖動使鉬粉末分布均勻；
d)夾緊防止在壓制工序中，高壓力的液壓油的作用下，橡膠套與頂蓋分離，用夾具體夾緊橡膠套。夾具的夾緊過程如下如圖1、圖2、圖3所示，并參照圖4，將夾具體連同鎖緊螺母 6套在頂蓋3上，然后將長壓板5、短壓板4貼緊在頂蓋3的前后左右方向上，此時長壓板5、 短壓板4位于鎖緊螺母6頭部與橡膠套2之間；接下來通過鎖緊螺母6和夾具體8的通孔內(nèi)螺絲7相連接，擰緊前面、右面2個方向上一共5個頂壓螺絲7，從而通過鎖緊螺母6壓緊長壓板5、短壓板4，使長壓板5、短壓板4緊緊壓在橡膠套2和頂蓋3上，從而夾緊了橡膠套 2 口部，防止在進行冷等靜壓壓制過程中從橡膠套2 口部滲入液壓油，起到密封作用。5.壓制設(shè)備采用德陽迪泰公司CPI200冷等靜壓力機，壓力為200MPa。壓制后板坯表現(xiàn)為實體材料類似的性質(zhì)，如果進一步的提高壓力只能使板坯拉裂或分層；因此應(yīng)嚴格控制其升壓和卸壓速度。本實例中，采用高壓泵使壓力以5MPa/min的速度升至200ΜΡει，然后保壓1-2分鐘，最后卸壓過程速度為8MPa/min。具體工藝工程如下
a)將夾緊好的橡膠套，放入等靜壓機的高壓工作容器內(nèi)；
b)開動壓力泵把液體介質(zhì)壓入高壓工作容器直至充滿并從放氣孔中冒出為止；
c)隨即開動增壓泵使壓力以5MPa/min的速度升至200ΜΡ ，然后保壓1_2分鐘，最后卸壓過程速度為8MPa/min ；
d)壓力去除后，將橡膠套從高壓工作容器中取出，打開橡膠套，即可將壓制成型的鉬板坯取出，此時壓制胚料可達相對密度60%飛5%，以便于中頻設(shè)備的燒結(jié)。6.壓制后板坯檢驗主要檢驗結(jié)果如下 a)外觀顏色板坯的顏色為淡灰色，符合要求。b)表面缺陷表面光滑，沒有發(fā)現(xiàn)表面粘著其它機械夾雜物，沒有發(fā)現(xiàn)臟化、分層、 裂紋、掉邊、掉角等缺陷；
c)重量直接將壓制后的板坯稱重后與壓制前粉末的實際重量，進行對比。(計算出成品的質(zhì)量約為70kg，考慮到加工過程中的的損耗，裝粉的實際重量為7Ag，多于計算Ag， 壓制及燒結(jié)過程中會有士0. 4kg的損耗，剩余的損耗是產(chǎn)生在熱軋制和機械加工中)。
7.燒結(jié)；設(shè)備為河南省洛陽市華益電爐研究所生產(chǎn)的感應(yīng)式中頻燒結(jié)爐；具體的工藝過程為
a)室溫——>1200°C，用時4h；
b)1200°C保溫 Ih;
c)12000C——>1300°C，用時 Ih ；
d)13000C——>1400°C，用時 2h ；
e)14000C——>1650°C，用時 2h ；
f)1650°C保溫 Ih;
g)16500C——>1750°C，用時 Ih ；
h)17500C——>1850°C，用時 Ih ；
i)18500C——>1960°C，用時 Ih ； j) 1960°C保溫 7h;
k)停爐； m)冷卻9h ； η)出爐;
在整個燒結(jié)過程中，當爐內(nèi)產(chǎn)生溫區(qū)后，操作人員在每15分鐘進行一次溫度檢測，使用光學(xué)高溫計，上海自動化儀表三廠生產(chǎn)WGG2-201測量，以控制燒結(jié)胚料升溫曲線控制在合理的區(qū)間。8.燒結(jié)后板坯檢驗。其檢驗結(jié)果為
a)板坯的表面略有光澤，沒有裂紋、氣孔等缺陷；
b)采用排水測重法，檢測鉬板枉整體密度狀況，是否達到后期軋制及機械加工要求。c)通過顯微鏡觀察金相磨片來檢驗板坯的晶體組織，檢驗結(jié)果晶體組織均勻、沒有過大或過小的晶粒，參考標準國家鎢鉬金屬金相檢驗標準GB/T4197-84，晶粒之間沒有空洞。具體的步驟如下
①取樣從靶材前端預(yù)留部分，取邊長大約為IOmm的立方體試件；
②粗磨由于試件表面的凹凸不平，用砂輪將試件的表面初步磨平；
③細磨在粒度不同的砂紙上按由粗到細的順序進行；
④拋光將細磨之后的試件放在拋光機上進行拋光；
⑤侵蝕將試件的拋光面浸入侵蝕劑中，由于磨面原子被溶于侵蝕劑中，在溶解中，晶粒與晶粒之間，晶粒和晶界之間的溶解速度不同，顯微組織就顯現(xiàn)出來；
⑥將制備好的金相磨片試件放在顯微鏡下進行觀察其晶體組織均勻、沒有過大或過小的晶粒、晶粒之間沒有空洞。d)通過超聲無損探傷設(shè)備檢測，沒有發(fā)現(xiàn)內(nèi)部有明顯的裂紋(裂紋長度小于 0. 4mm)ο9.軋制。設(shè)備采用德國KRUPP公司生產(chǎn)的750型二輥軋機和上海冶金設(shè)備廠生產(chǎn)的450型二輥軋機。軋制前板坯的尺寸為長度為755mm，寬度為200mm，厚度為60mm，軋制后的板坯的尺寸為長度為1710mm，寬度為200. 5mm,厚度為23mm。
a)初火1600°C，第一道60cm->53cm,
第二道:53cm->47cm
第三道:47cm->44cm
b)二火1550°C，第一道:44cm->40cm
第二道:40cm->38cm
第三道:38cm->36cm
c)三火1550°C，第一道:36cm->32cm
第二道:32cm->29cm
第三道:29cm->27cm
d)四火1550°C，第一道:27cm->25cm
第二道:25cm->23cm
10.軋制后板坯的檢驗。檢驗結(jié)果如下
a)外觀外觀平整，表面沒有發(fā)現(xiàn)裂紋、起皮、折疊、壓痕、壓坑等缺陷。b)尺寸測得長度為1701mm，寬度為200. 5mm,厚度為23mm。c)內(nèi)部缺陷采用歐寧無損探傷設(shè)備，檢測軋制后的板坯內(nèi)部裂紋情況，沒有發(fā)現(xiàn)內(nèi)部裂紋。11.退火。以改善機械加工性能、消除內(nèi)應(yīng)力。將軋制后的板坯溫度降至常溫，加熱到1100°C，保溫1小時，然后緩慢冷卻至室溫；
12.銑寬度。設(shè)備龍門銑床刀具采用YG類硬質(zhì)合金刀具，將軋制板坯的寬度從 200. 5mm 銑至 200mm。13.線切割端面及倒角。采用數(shù)控線切割機將靶材長度方向從1701mm加工至 1700mm，并在兩端面加工出R6的圓弧部分。14.棱邊倒圓腳加工。為了產(chǎn)品的外觀及搬運的安全性，在靶材上下兩面各棱角部分，加工出Rl. 5的倒角。15.磨床加工。在大型平面磨床上粗磨，先將靶材表面厚度方向上從20. 5mm磨至 20. 1mm，然后精磨至20mm，通過精磨，表面粗糙度可達RaO. 2，平面度可達0. 04mm。16.成品檢驗。以檢驗產(chǎn)品是否符合相關(guān)的性能、尺寸及表面質(zhì)量等方面的的要求。主要包括
a)尺寸檢驗檢驗成品長為1700mm，寬度為200mm厚度為20mm。b)純度測量ICP分析譜儀，抽樣檢查鉬的含量為99. 97% ；
c)密度測量用排水測重法進行。測量出本實例的平均密度為10. lg/cm3，相對密度= 平均密度/理論密度=99%。e)平面度測得平面度為0. 04_。
權(quán)利要求
1. 一種顯示器的大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)工藝方法，其特征在于所述的生產(chǎn)工藝方法為1)鉬粉分析牌號=FMo-I，采用ICP原子吸收光譜法分析鉬粉的純度，Mo的含量彡99. 5%，控制雜質(zhì)的含量Fe<0.005；Sn<0. 0005；Ni<0. 003；Sb<0. 010；Si<0. 002；Cd<0. 0005； ΑΚ0. 0015;C<0. 005;Ca<0. 0015;N<0. 015;Mg<0. 002;0<0· 2; Cu<0. 001;ff<0. 05;Pb<0. 0005;Bi<0. 0005 ；2)選粉使用200目的篩子，對鉬粉進行篩選；3)配粉每批鉬粉中取總重量2.5%的鉬粉，在125MPa的壓力下先行壓制，然后將壓制后的鉬粉破碎，與沒有進行壓制的鉬粉進行混合，靜置M小時；其目的在于得到不同粒度組合的粉末，使其具有較大的松裝密度，裝模后容易壓實；其具體的工序如下a)每百公斤鉬粉中取2.5公斤鉬粉，采用冷等靜壓設(shè)備在125MPa的壓力下先行壓制；b)用破碎機將上述壓制后的鉬坯料進行破碎；c)將上述破碎后的鉬坯料顆粒過180目的篩子；d)對過180目的篩子后的鉬粉與沒有進行過壓制的鉬粉在混料機上進行混合；e)混合后靜置M小時；4)裝模；將上述得到的混合后的鉬粉，填充在橡膠套中；5)壓制設(shè)備冷等靜壓力機；具體工藝過程如下a)將夾緊好的橡膠套，放入等靜壓機的高壓工作容器內(nèi)；b)開動壓力泵把液體介質(zhì)壓入高壓工作容器直至充滿并從放氣孔中冒出為止；c)隨即開動增壓泵使壓力以5MPa/min的速度升至200ΜΡ ，然后保壓1_2分鐘，最后卸壓過程速度為8MPa/min ；d)壓力去除后，將橡膠套從高壓工作容器中取出，打開橡膠套，即可將壓制成型的鉬板坯取出，此時壓制胚料可達相對密度60%飛5%，以便于中頻設(shè)備的燒結(jié)；6)燒結(jié)；設(shè)備為感應(yīng)式中頻燒結(jié)爐；具體工藝過程如下a)常溫——>1200°C，用時4h；b)1200°C保溫 Ih;c)12000C——>1300°C，用時 Ih ；d)13000C——>1400°C，用時 2h ；e)14000C——>1650°C，用時 2h ；f)1650°C保溫 Ih;g)16500C——>1750°C，用時 Ih ；h)17500C——>1850°C，用時 Ih ；i)18500C——>1960°C，用時 Ih ； j) 1960°C保溫 7h;k)停爐； m)冷卻9h ； η)出爐；7)軋制設(shè)備熱軋機;具體的軋制工藝如下a)初火1600°C，第一道:60cm->53cm,第二道:53cm->47cm第三道:47cm->44cmb)二火1550°C，第一道:44cm->40cm第二道:40cm->38cm第三道:38cm->36cmc)三火1550°C，第一道:36cm->32cm第二道:32cm->29cm第三道:29cm->27cmd)四火1550°C，第一道:27cm->23cm第二道:23cm->20cm8)退火用于消除內(nèi)應(yīng)力、為以后的機械加工作準備；具體的退火工藝為將軋制后并降至常溫的板坯加熱到1100°C，保溫1小時，然后緩慢冷卻至室溫；9)超聲無損探傷檢查主要檢查內(nèi)部裂紋缺陷；10)銑床上將寬度加工至成品要求的尺寸；11)數(shù)控線切割機將長度方向及倒角加工至成品要求的尺寸；12)將靶材表面磨床磨平至要求尺寸。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平面高純鉬靶材的生產(chǎn)技術(shù)，提出一種顯示器的大型高純鉬平面靶材的生產(chǎn)工藝方法；包括鉬粉分析，選粉，配粉裝模；壓制；燒結(jié)；軋制；退火；銑寬度；線切割端面及倒角；磨床加工。本發(fā)明生產(chǎn)工藝方法所加工的平面高純鉬靶材具有如下有益效果鉬靶材的長度可達2700mm以上；Mo的含量≥99.95%；相對密度≥99%；晶粒結(jié)構(gòu)均勻；其平面度小于0.05；表面粗糙度為Ra0.2；表面沒有裂紋、起皮、折疊、壓痕、壓坑、金屬或非金屬壓入物等缺陷；靶材內(nèi)部裂紋的長度不大于0.04mm，沒有氣泡及大結(jié)晶。
文檔編號C23C14/14GK102392222SQ20111033793
公開日2012年3月28日 申請日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月1日
發(fā)明者王健, 趙士剛, 趙文普 申請人:洛陽高新四豐電子材料有限公司