專利名稱：電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種電阻蒸發(fā)鍍膜機。
背景技術：
在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導體、絕緣體等單質或化合物膜。通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。蒸發(fā)物質如金屬、化合物等置于坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質蒸發(fā)。蒸發(fā)物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數百埃至數微米。膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時間(或決定于裝料量)，并與源和基片的距離有關。對于大面積鍍膜，常采用旋轉基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。從蒸發(fā)源到基片的距離應小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學作用。蒸氣分子平均動能約為0. 1 0. 2 電子伏。蒸發(fā)源有三種類型。①電阻加熱源用難熔金屬如鎢、鉭制成舟箔或絲狀，通以電流，加熱在它上方的或置于坩堝中的蒸發(fā)物質，電阻加熱源主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、 Cr、Au、M等材料。②高頻感應加熱源用高頻感應電流加熱坩堝和蒸發(fā)物質。③電子束加熱源適用于蒸發(fā)溫度較高的材料，即用電子束轟擊材料使其蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質和不易熱分解的化合物膜，為沉積高純單晶膜層電阻蒸發(fā)鍍膜機用鎢舟鍍銀時需要很強的功率才會使銀從固體狀態(tài)轉為蒸發(fā)狀態(tài)，但是現有的鎢舟容器相對比較淺，四壁低矮，這樣在裝有銀料的鎢舟在加熱過程中就很容易使銀濺跳出鎢舟外，這樣不僅浪費寶貴的銀料及影響有效工件，由于銀料跳出后的缺少而使工件變黑變黃和其他無效狀態(tài)；鎢舟不能加大功率，導致銀料在鎢舟內加熱時間過長使有效工件完全烤焦而不能使用。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，可以有效地解決現有裝有銀料的鎢舟在加熱過程中就很容易使銀賤跳出鎢舟外，浪費銀料及影響有效工件；以及導致銀料在鎢舟內加熱時間過長使有效工件完全烤焦而不能使用的問題。為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用如下技術方案電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，包括工件架底座，工件架底座上設有蒸發(fā)電極桿支架，蒸發(fā)電極桿支架之間連接有蒸發(fā)電極桿，蒸發(fā)電極桿上設有蒸發(fā)夾具，蒸發(fā)夾具之間設有鎢舟，其特征在于鎢舟上繞有鉬絲。進一步，蒸發(fā)電極桿支架上轉動連接有上擋板。優(yōu)選的，蒸發(fā)電極桿支架上連接有擋板主桿，擋板主桿在蒸發(fā)電極桿支架上進行自轉，擋板主桿上固定連接有擋板支肋骨，擋板支肋骨固定連接上擋板，上擋板通過擋板支肋骨和擋板主桿轉動連接在蒸發(fā)電極桿支架上。
優(yōu)選的，擋板主桿上分別設有上支撐桿和下支撐桿，蒸發(fā)電極桿支架端部分別設有與上支撐桿和下支撐桿對應的上限位桿和下限位桿，當擋板主桿轉動至上支撐桿抵住上限位桿時，上擋板蓋于蒸發(fā)電極桿支架上方；當擋板主桿轉動至下支撐桿抵住下限位桿時， 上擋板脫離對蒸發(fā)電極桿支架的遮蓋。優(yōu)選的，蒸發(fā)電極桿支架上固定連接有下?lián)醢澹聯(lián)醢彘_口朝向上擋板。本發(fā)明由于采用了上述技術方案，具有以下有益效果增加的鉬絲可以有效避免銀料濺跳出鎢舟外，節(jié)省原材料，同時保證工件的鍍膜質量；同時由于增加了鉬絲，可以控制在最短的時間使銀料蒸發(fā)完，縮短了蒸發(fā)時間，延長了鎢舟的使用壽命，因此也節(jié)省可觀的鎢舟成本。本發(fā)明結構簡單、制造簡便、成本低，實用性強。


下面結合附圖對本發(fā)明作進一步說明圖1為本發(fā)明電阻蒸發(fā)鍍膜機(未畫出上擋板和下?lián)醢?的結構示意圖；圖2為圖1中的K向結構示意圖；圖3為本發(fā)明鎢舟結構的示意圖。
具體實施例方式如圖1至圖3所示，為本發(fā)明電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，包括工件架底座1， 工件架底座1上前后設有兩個工件架輪骨2，工件架輪骨2之間設有若干工件架掛件支架 3，各工件架掛件支架3之間相互平行，保證兩個工件架輪骨2的連接以及整體工件架的強度。工件架底座1上設有蒸發(fā)電極桿支架4，蒸發(fā)電極桿支架4間連接有蒸發(fā)電極桿5，蒸發(fā)電極桿5上設有蒸發(fā)夾具51，蒸發(fā)夾具51之間設有鎢舟8，鎢舟8上繞有鉬絲9。蒸發(fā)電極桿支架4上轉動連接有上擋板6，蒸發(fā)電極桿支架4上固定連接有下?lián)醢?，下?lián)醢?開口朝向上擋板6。蒸發(fā)電極桿支架4上連接有擋板主桿61，擋板主桿61在蒸發(fā)電極桿支架 4上進行自轉，擋板主桿61可以通過連接在鍍膜機外部直接進行操作，擋板主桿61上固定連接有擋板支肋骨62，擋板支肋骨62固定連接上擋板6，上擋板6通過擋板支肋骨62和擋板主桿61轉動連接在蒸發(fā)電極桿支架4上。擋板主桿61上分別設有上支撐桿63和下支撐桿64，蒸發(fā)電極桿支架4端部分別設有與上支撐桿63和下支撐桿64對應的上限位桿65 和下限位桿66，當擋板主桿61轉動至上支撐桿63抵住上限位桿65時，上擋板6蓋于蒸發(fā)電極桿支架4上方；當擋板主桿61轉動至下支撐桿64抵住下限位桿66時，上擋板6脫離對蒸發(fā)電極桿支架4的遮蓋。以上僅為本發(fā)明的具體實施例，但本發(fā)明的技術特征并不局限于此，任何以本發(fā)明為基礎，為實現基本相同的技術效果，所作出地簡單變化、等同替換或者修飾等，皆涵蓋于本發(fā)明的保護范圍之中。
權利要求
1.電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，包括工件架底座(1)，所述工件架底座(1)上設有蒸發(fā)電極桿支架(4)，所述蒸發(fā)電極桿支架(4)之間連接有蒸發(fā)電極桿(5)，所述蒸發(fā)電極桿(5)上設有蒸發(fā)夾具(51)，所述蒸發(fā)夾具(51)之間設有鎢舟(8)，其特征在于所述鎢舟 (8)上繞有鉬絲(9)。
2.根據權利要求1所述的電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上轉動連接有上擋板(6)。
3.根據權利要求2所述的電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上連接有擋板主桿(61)，所述擋板主桿(61)在蒸發(fā)電極桿支架(4)上進行自轉，所述擋板主桿(61)上固定連接有擋板支肋骨(62)，所述擋板支肋骨(62)固定連接所述上擋板(6)，所述上擋板(6)通過擋板支肋骨(62)和擋板主桿(61)轉動連接在蒸發(fā)電極桿支架⑷上。
4.根據權利要求3所述的電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，其特征在于所述擋板主桿(61)上分別設有上支撐桿(63)和下支撐桿(64)，所述蒸發(fā)電極桿支架(4)端部分別設有與上支撐桿(63)和下支撐桿(64)對應的上限位桿(65)和下限位桿(66)，當所述擋板主桿(61)轉動至上支撐桿(63)抵住上限位桿(65)時，所述上擋板(6)蓋于蒸發(fā)電極桿支架(4)上方；當所述擋板主桿(61)轉動至下支撐桿(64)抵住下限位桿(66)時，所述上擋板(6)脫離對蒸發(fā)電極桿支架(4)的遮蓋。
5.根據權利要求2或3或4所述的電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，其特征在于所述蒸發(fā)電極桿支架(4)上固定連接有下?lián)醢?7)，所述下?lián)醢?7)開口朝向上擋板(6)。
全文摘要
本發(fā)明公開了電阻蒸發(fā)鍍膜機的鎢舟改進結構，包括工件架底座，工件架底座上設有蒸發(fā)電極桿支架，蒸發(fā)電極桿支架之間連接有蒸發(fā)電極桿，蒸發(fā)電極桿上設有蒸發(fā)夾具，蒸發(fā)夾具之間設有鎢舟，鎢舟上繞有鉬絲，蒸發(fā)電極桿支架上轉動連接有上擋板，蒸發(fā)電極桿支架上固定連接有下?lián)醢?，下?lián)醢彘_口朝向上擋板。本發(fā)明增加的鉬絲可以有效避免銀料濺跳出鎢舟外，節(jié)省原材料，同時保證工件的鍍膜質量；同時由于增加了鉬絲，可以控制在最短的時間使銀料蒸發(fā)完，縮短了蒸發(fā)時間，延長了鎢舟的使用壽命，因此也節(jié)省可觀的鎢舟成本。本發(fā)明結構簡單、制造簡便、成本低，實用性強。
文檔編號C23C14/26GK102199749SQ20111015999
公開日2011年9月28日 申請日期2011年6月14日 優(yōu)先權日2011年6月14日
發(fā)明者張婷, 胡永強 申請人:胡永強