專利名稱：一種適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
化學氣相沉積是一種被廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)新型材料(如C/C、C/SiC、SiC/SiC等復(fù)合材料)的工藝方法。隨著社會的發(fā)展、技術(shù)的進步，航天、航空、交通等諸多領(lǐng)域?qū)瘜W氣相沉積材料有了更高的要求，材料或制品的尺寸在向大型化發(fā)展。沉積均勻性是化學氣相沉積的一個十分重要的質(zhì)量指標，但是由于目前沒有適用于大型化學氣相沉積爐的沉積氣路系統(tǒng)，要保證大型(特別是高度尺寸很大)材料或制品化學氣相沉積均勻性卻十分困難，這就阻礙了大型化學氣相沉積爐的開發(fā)，制約了大型(特別是高度尺寸很大)材料或制品的化學氣相沉積。而在沉積氣路系統(tǒng)中，排氣管系統(tǒng)又是十分關(guān)鍵的器件，目前的排氣管系統(tǒng)都不能適用于大型化學氣相沉積爐的沉積氣路系統(tǒng)。

實用新型內(nèi)容本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學氣相沉積均勻性的適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)。為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)，喇叭狀進氣口連接有接氣管。喇叭狀進氣口和接氣管均由石墨材料制成。采用上述技術(shù)方案的適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)，與一般化學氣相沉積爐的排氣管比較，本實用新型具有以下優(yōu)點1、排氣管采用喇叭狀進氣口，收氣面積大，有利于尾氣的排放和氣流場的穩(wěn)定。2、排氣管系統(tǒng)的進氣口由大變小，有利于防止氣體在管內(nèi)沉積堵塞。綜上所述，本實用新型是一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學氣相沉積均勻性且結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、制造方便、成本低廉的適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)。

圖1是本實用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步說明。參見圖1，喇叭狀出氣口 1連接有接氣管2，喇叭狀出氣口 1和接氣管2均由石墨材料制成。參見圖1，圖中所示排氣管系統(tǒng)的接氣管2置于沉積爐的沉積室、發(fā)熱體和隔熱爐膽的外面，即置于冷區(qū)，喇叭狀進氣口 1則置于沉積室內(nèi)。沉積后的尾氣由排氣管系統(tǒng)的喇叭狀出氣口 1收集，再由接氣管2排出。由于進氣管系統(tǒng)自喇叭狀出氣口 1至接氣管2其內(nèi)孔尺寸由大變小，且進氣端布置于冷區(qū)，有效地防止了氣體在孔內(nèi)沉積造成堵塞。
權(quán)利要求1. 一種適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)，其特征是喇叭狀進氣口(1)連接有接氣管⑵。
專利摘要本實用新型為一種適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)，喇叭狀進氣口(1)連接有接氣管(2)。本實用新型是一種能保證大型特別是高度尺寸很大的材料或制品化學氣相沉積均勻性且結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠、制造方便、成本低廉的適用于大型化學氣相沉積爐的排氣管系統(tǒng)。
文檔編號C23C16/455GK202030822SQ201020687710
公開日2011年11月9日 申請日期2010年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者戴煜, 羊建高, 譚興龍 申請人:戴煜, 羊建高, 譚興龍