專利名稱：真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于電子設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及真空鍍膜機(jī)油擴(kuò)散泵的冷卻系統(tǒng)，可用于高等學(xué)校實(shí)驗(yàn)室的真空鍍膜實(shí)驗(yàn)。
背景技術(shù)：
在使用真空鍍膜設(shè)備制備薄膜材料時(shí)，由于必須達(dá)到一定的真空度時(shí)才可進(jìn)行鍍 膜過程，普遍采用油擴(kuò)散泵來實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的真空條件。冷卻系統(tǒng)是保證油擴(kuò)散泵正常工 作的重要條件，在真空鍍膜裝置上也是一個(gè)極為重要的系統(tǒng)。用于實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜的冷卻系統(tǒng)通常采用兩種方式一種是真空鍍膜設(shè)備直接與 自來水管連接，水管中的水通過自壓進(jìn)入真空鍍膜設(shè)備冷卻系統(tǒng)，經(jīng)過鍍膜設(shè)備冷卻用后 的水通入實(shí)驗(yàn)室排水管道；另一種是采用有制冷功能的制冷機(jī)冷卻設(shè)備，冷卻裝置需有定 量的去離子水。冷卻設(shè)備具有制冷功能，可以對(duì)水進(jìn)行強(qiáng)制降溫處理，可以保證使用的水處 于某一設(shè)定的溫度。使用時(shí)冷卻設(shè)備中一定溫度的水進(jìn)入真空鍍膜設(shè)備的需要散熱降溫 部分，完成降溫任務(wù)后進(jìn)入冷卻設(shè)備，制冷機(jī)對(duì)返回的水進(jìn)行強(qiáng)制降溫。前一種方式無外設(shè) 冷卻設(shè)備，使用方便，但水的浪費(fèi)極大；后一種方式水的用量少，反復(fù)循環(huán)使用，沒有水的浪 費(fèi)，但有外設(shè)制冷裝置，制冷機(jī)由室內(nèi)設(shè)備與室外機(jī)組成，制冷設(shè)備復(fù)雜，同時(shí)專用的制冷 機(jī)由于要使用大量的氟利昂作為冷卻劑，會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述已有技術(shù)的不足，提供一種真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的循環(huán) 冷卻水系統(tǒng)，以節(jié)約用水，簡(jiǎn)化制冷的設(shè)備的復(fù)雜度，減少環(huán)境污染。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的目的技術(shù)方案是將水箱中的水，通過水泵泵入真空冷卻系統(tǒng)，再由 另一水泵抽回水箱內(nèi)，實(shí)現(xiàn)水的循環(huán)利用并起到對(duì)真空設(shè)備散熱降溫的目的。整個(gè)系統(tǒng)包 括循環(huán)水存儲(chǔ)容器、水流回路管道、水泵、設(shè)備以及控制水閥，其中循環(huán)水存儲(chǔ)容器采用兩 個(gè)水箱，該一號(hào)水箱底端出水管道a依次經(jīng)過第一水閥、第一水泵M1和第二水閥，連接到 真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水口，形成真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水管路，一號(hào)水箱底端出水管道 b連接到二號(hào)水箱底端出水管道c，形成排水管路，一號(hào)水箱的進(jìn)水管道f依次經(jīng)過第四水 閥和第二水泵M2，連接到二號(hào)水箱的底端出水管道d，形成從二號(hào)水箱到一號(hào)水箱的水流通 路；該二號(hào)水箱的頂部入水管道e經(jīng)過第三水閥連接到設(shè)備的出水口，形成從真空鍍膜機(jī) 到二號(hào)水箱的水流通路。所述的第一水泵M1與第二水閥的管道之間連接有三通接口，該三通接口的直角端 經(jīng)第六水閥接到自來水接口，用于應(yīng)急進(jìn)水。所述的一號(hào)水箱出水管道b與二號(hào)水箱出水管c的管道之間連接有三通接口，該 三通接口的直角端經(jīng)第五水閥接到下水管道，用于應(yīng)急出水。本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)1)本發(fā)明由于將一號(hào)水箱底端出水管道a依次經(jīng)過第一水閥、第一水泵M1和第二 水閥，連接到真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水口，通過第一水泵M1為冷卻水提供驅(qū)動(dòng)力，因而冷卻水就可以從一號(hào)水箱中進(jìn)入真空鍍膜設(shè)備，流經(jīng)鍍膜設(shè)備的內(nèi)置冷卻管道，對(duì)鍍膜設(shè)備需 要降溫的部位進(jìn)行去熱降溫；2)本發(fā)明由于二號(hào)水箱的頂部入水管道e經(jīng)過第三水閥連接到真空鍍膜設(shè)備的 出水口，故冷卻水就可以從真空鍍膜設(shè)備的內(nèi)置冷卻管道通過二號(hào)水箱再流回到一號(hào)水箱 中，形成循環(huán)通路，避免了水的浪費(fèi)；3)本發(fā)明由于為了應(yīng)對(duì)突發(fā)停電問題，在第一水泵M1與第二水閥的管道之間通過 三通接口來連接自來水管道，用于應(yīng)急進(jìn)水，保證了突發(fā)斷電情況下鍍膜設(shè)備去熱不間斷；4)本發(fā)明由于在一號(hào)水箱出水管道b與二號(hào)水箱出水管c的管道之間通過三通接 口接到下水管道，可以方便地將冷卻循環(huán)系統(tǒng)中多余的水即時(shí)排出。


圖1是本發(fā)明的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，其中數(shù)字1、2、3、4、5和6表示六個(gè) 水閥，7和8為兩個(gè)三通接頭，9為真空鍍膜設(shè)備，MpM2表示兩個(gè)水泵，a、b、c、d、e、f表示 一號(hào)和二號(hào)水箱的進(jìn)出水口，箭頭代表正常工作時(shí)冷卻水的流動(dòng)方向。
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1，本發(fā)明的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)主要由兩個(gè)儲(chǔ)水水箱，六個(gè)水閥，兩個(gè)水泵，以 及真空鍍膜設(shè)備組成，各組成部分通過管道按以下方式進(jìn)行連接，首先用管道將第一水箱 底端出水口 a和第一水閥1連接起來，再將第一水閥1和第一水泵M1、第一水泵M1和真空 鍍膜設(shè)備的冷卻水進(jìn)水口相連接，形成真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水管路；從真空鍍膜設(shè)備的 冷卻水出水口接管道，并通過第三水閥3接到二號(hào)水箱的頂端入水口 e，形成從真空鍍膜機(jī) 到二號(hào)水箱的水流通路；從二號(hào)水箱的底端出水口 d依次通過第二水泵M2和第四水閥4接 到一號(hào)水箱的頂端入水口 f，形成從二號(hào)水箱到一號(hào)水箱的水流通路；連接一號(hào)和二號(hào)水 箱的底端出水口 b和c，在該段管道之間接一個(gè)三通接口 7，并通過第五水閥5連接到下水 管道，形成排水管路；在第一水泵M1和第二水閥2的管道之間用一個(gè)三通接口 8通過第六 水閥6連接到自來水接口，形成應(yīng)急進(jìn)水管路。本發(fā)明的冷卻水循環(huán)系統(tǒng)工作原理如下本發(fā)明為一種循環(huán)水冷系統(tǒng)，在鍍膜設(shè)備開啟之前，先在兩個(gè)水箱中注入適量的 冷卻用水，依次打開第一水閥1、第二水閥2、第三水閥3和第四水閥4，而第五水閥5和第六 水閥6處于關(guān)閉狀態(tài)，開啟第一水泵M1和第二水泵M2,此時(shí)形成從一號(hào)水箱、水泵、鍍膜設(shè) 備、二號(hào)水箱、水泵到一號(hào)水箱的冷卻水循環(huán)回路，通過調(diào)節(jié)一號(hào)閥門得到滿足真空鍍膜設(shè) 備散熱的合適流速，二號(hào)水箱中的水由第二水泵M2抽回一號(hào)水箱，調(diào)節(jié)第四水閥4使一號(hào) 水箱的進(jìn)出水量達(dá)到平衡；然后再開啟真空鍍膜設(shè)備，真空鍍膜設(shè)備屬于需要冷卻而散熱 量又不大的設(shè)備，冷卻水可以在管道以及水箱的循環(huán)流動(dòng)過程中自然冷卻，而對(duì)散熱量大 的設(shè)備，可以通過外加循環(huán)水冷卻裝置來強(qiáng)制冷卻。如突遇停電，此時(shí)循環(huán)水泵不能工作，則關(guān)閉第一水閥1，并打開第五水閥5和第六水閥6，此時(shí)使用的自來水可以從第六水閥6進(jìn)入系統(tǒng)，流經(jīng)第二水閥2、真空鍍膜設(shè)備、 第三水閥3最后從第五水閥5排出，這樣就保證了鍍膜設(shè)備在停電情況下的臨時(shí)去熱，保障 了設(shè)備的安全。
權(quán)利要求
一種真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，包括循環(huán)水存儲(chǔ)容器、水流回路管道、水泵、真空鍍膜設(shè)備以及控制水閥，其特征在于循環(huán)水存儲(chǔ)容器采用兩個(gè)水箱，該一號(hào)水箱底端出水管道a依次經(jīng)過第一水閥(1)、第一水泵M1和第二水閥(2)，連接到真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水口，形成真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水管路，一號(hào)水箱底端出水管道b連接到二號(hào)水箱底端出水管道c，形成排水管路，一號(hào)水箱的進(jìn)水管道f依次經(jīng)過第四水閥(4)和第二水泵M2，連接到二號(hào)水箱的底端出水管道d，形成從二號(hào)水箱到一號(hào)水箱的水流通路；該二號(hào)水箱的頂部入水管道e經(jīng)過第三水閥(3)連接到設(shè)備的出水口，形成從真空鍍膜機(jī)到二號(hào)水箱的水流通路。
2.根據(jù)權(quán)利要求與所述的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，其特征在于在第一水泵軋與第二水閥(2) 的管道之間連接有三通接口(8)，該三通接口(8)的直角端經(jīng)第六水閥(6)接到自來水接 口，用于應(yīng)急進(jìn)水。
3.根據(jù)權(quán)利要求與所述的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，其特征在于一號(hào)水箱出水管道b與二號(hào)水 箱出水管c的管道之間連接有三通接口(7)，該三通接口(7)的直角端經(jīng)第五水閥(5)接到 下水管道，用于應(yīng)急出水。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵的冷卻系統(tǒng)。它包括兩個(gè)水箱、水泵、真空鍍膜設(shè)備及控制水閥，該一號(hào)水箱底端出水管道a依次經(jīng)過第一水閥(1)、第一水泵M1和第二水閥(2)，接到真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水口，形成真空鍍膜機(jī)的冷卻水進(jìn)水管路，一號(hào)水箱底端出水管道b接到二號(hào)水箱底端出水管道c，形成排水管路，一號(hào)水箱的進(jìn)水管道f依次經(jīng)過第四水閥(4)和第二水泵M2，接到二號(hào)水箱的底端出水管道d，形成從二號(hào)水箱到一號(hào)水箱的水流通路；該二號(hào)水箱的頂部入水管道e經(jīng)過第三水閥(3)接到設(shè)備的出水口，形成從真空鍍膜機(jī)到二號(hào)水箱的水流通路，實(shí)現(xiàn)水的循環(huán)。本發(fā)明避免了水浪費(fèi)和環(huán)境污染，可用于高等學(xué)校實(shí)驗(yàn)室的真空鍍膜實(shí)驗(yàn)。
文檔編號(hào)C23C14/22GK101831609SQ201010173328
公開日2010年9月15日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者張顯, 曹全喜, 陳啟超 申請(qǐng)人:西安電子科技大學(xué)