一種用于激光器無(wú)遮擋鍍膜的鍍膜架裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種鍍膜架，其包括：主體，中間薄兩端厚，其中一端的端面中間開有兩個(gè)螺紋孔，另一端表面的上表面開有兩個(gè)通孔，中間為一具有開口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金屬片相對(duì)延伸到矩形方口中間；裝配附件，其大小與主體相同，中間厚兩端薄，第一端上表面開有兩個(gè)螺紋孔，位置與所述主體的通孔相對(duì)應(yīng)，同螺紋與所述主體固定；所述裝配附件中間為兩個(gè)高、低凸臺(tái)，所述兩個(gè)高、低凸臺(tái)的高度差不小于主體下表面金屬片的厚度，高凸臺(tái)中間開有一細(xì)溝；滑片，在所述主體的矩形框架方口間移動(dòng)，且由所述兩個(gè)金屬片上下夾持。本發(fā)明對(duì)鍍膜樣品完全沒有遮擋，大大提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。
【專利說(shuō)明】一種用于激光器無(wú)遮擋鍍膜的鍍膜架裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是一種半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜用的鍍膜架。
【背景技術(shù)】
[0002]邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器前后兩端的解理面可以形成諧振腔，但是因?yàn)閮啥私饫砻娴姆瓷渎氏嗤瑑啥硕加屑す廨敵?，但通常情況下，只有一端的輸出光能被利用，不僅浪費(fèi)了激光能量，而且會(huì)產(chǎn)生很多的廢熱和安全隱患。要實(shí)現(xiàn)單邊高功率輸出必須使用腔面鍍膜技術(shù)改變激光器前后腔面的反射率。邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器bar條的腔面很薄很長(zhǎng)，厚度只有100多微米，長(zhǎng)度通常為10_，為了提高鍍膜效率和可靠性，需要將激光器bar條彼此之間緊密接觸地放入鍍膜架中。而在排列激光器bar條的過(guò)程中不能損傷激光器腔面，而且要求所有的激光器條的腔面要在同一水平面上，以防止鍍膜時(shí)各個(gè)激光器條之間的相互遮擋。由于半導(dǎo)體的易斷裂特性，對(duì)鍍膜架裝置和裝鍍膜架技術(shù)的要求很高，常見的鍍膜架裝置通常采用分層結(jié)構(gòu)，中間一層框架的開口比上下兩層框架的開口要大，使得寬度小于等于中間一層框架開口寬度的激光器條可以在鍍膜架中滑動(dòng)，而下面一層框架供裝鍍膜架時(shí)找齊激光器條的腔面的水平。但其弊端是激光器條的兩端均被上下兩個(gè)框架遮住，鍍膜時(shí)激光器條的兩端完全沒有膜料鍍上，而且由于上下兩個(gè)框架在激光器條暴露出的鍍膜區(qū)域的兩側(cè)也有鍍膜陰影，會(huì)造成激光器腔面兩側(cè)的光學(xué)膜厚度不一致，這就意味著激光器腔面兩端的光學(xué)膜反射率與腔面中間不一致，只能將這些部分去除，這樣就減少了激光器的可利用面積，提高了激光器的成本。
[0003]在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的過(guò)程中，發(fā)明人意識(shí)到現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，發(fā)明了一種無(wú)遮擋鍍膜架，可以充分利用激光器芯片的面積，可以提高激光器bar條的數(shù)量，降低器件成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]現(xiàn)有的腔面鍍膜架對(duì)激光器腔面兩端有遮擋，使得激光器腔面兩端與中間光學(xué)膜厚度不一致，兩端部分只能扔掉，所以裝入鍍膜架的激光器bar條比實(shí)際需要的要長(zhǎng)很多，導(dǎo)致制作激光器用芯片的利用率降低，器件成本增高。針對(duì)上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種無(wú)遮擋的鍍膜架及其裝配附件，由于本發(fā)明的鍍膜架對(duì)激光器bar條的腔面無(wú)任何遮擋，且所有激光器bar條的腔面處在同一水平面，避免了激光器bar條兩端與中間光學(xué)膜厚度不一致現(xiàn)象的發(fā)生，同時(shí)也避免了不同激光器bar條之間的相互遮擋?？梢愿鶕?jù)需要來(lái)截取鍍膜用激光器bar條的長(zhǎng)度，提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]本發(fā)明提出了一種鍍膜架，其包括:
[0008]主體，中間薄兩端厚，其中一端的端面中間開有兩個(gè)螺紋孔，另一端表面的上表面開有兩個(gè)通孔，中間為一具有開口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金屬片相對(duì)延伸到矩形方口中間；[0009]裝配附件，其大小與主體相同，中間厚兩端薄，第一端上表面開有兩個(gè)螺紋孔，位置與所述主體的通孔相對(duì)應(yīng)，同螺紋與所述主體固定；所述裝配附件中間為兩個(gè)高、低凸臺(tái)，所述兩個(gè)高、低凸臺(tái)的高度差不小于主體下表面金屬片的厚度，高凸臺(tái)中間開有一細(xì)溝；
[0010]滑片，在所述主體的矩形框架方口間移動(dòng)，且由所述兩個(gè)金屬片上下夾持。
[0011](三)有益效果
[0012]本發(fā)明的鍍膜架存在以下幾個(gè)方面的有益效果:1、由于本發(fā)明的鍍膜架對(duì)激光器腔面不存在任何遮擋，提高芯片的利用率；2、本發(fā)明的鍍膜架可對(duì)任何小于鍍膜架矩形方口寬度的激光器進(jìn)行無(wú)遮擋鍍膜；3、本發(fā)明的鍍膜架可用于不同腔長(zhǎng)的激光器腔面鍍膜，提高了工藝的通用性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明中鍍膜架的分解立體示意圖；
[0014]圖2是本發(fā)明中鍍膜架組裝后的立體示意圖；
[0015]圖3是本發(fā)明中裝有bar條的鍍膜架使用示意圖；
[0016]圖4是利用本發(fā)明鍍膜架對(duì)bar條鍍膜后的效果示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
[0018]圖1示出了本發(fā)明提出的一種無(wú)遮擋的鍍膜架結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，其包括:
[0019]鍍膜架主體10，其為中間薄兩端厚的結(jié)構(gòu)，其中間為一矩形框架，所述矩形框架中間有一矩形方口 17，主體10的一端為頂端中間有兩個(gè)螺紋孔16的厚臺(tái)11，主體10的另一端為頂面中間有兩個(gè)通孔15的厚臺(tái)12，主體10中間的矩形框架的上表面和下表面各有一延伸到矩形方口的上、下金屬片13和14。其中，所述厚臺(tái)11和厚臺(tái)12通過(guò)斜面過(guò)渡到中間的矩形框架，且所述上、下金屬片13、14延伸到所述方口的中間。
[0020]鍍膜架裝配配件20，其大小與所述主體相同，為中間薄兩端厚結(jié)構(gòu)；在裝配配件20的一端為開有兩個(gè)螺紋孔25的凹臺(tái)22，在裝配配件20的另一端為凹臺(tái)21，在裝配配件20的中間為兩個(gè)高、低凸臺(tái)23和24，其中，所述高凸臺(tái)23的中間有一細(xì)槽26，推動(dòng)bar條在矩形方口 17內(nèi)平移的鑷子端部在細(xì)槽26內(nèi)滑動(dòng)；且所述高、低凸臺(tái)23和24兩端面為一斜面，與所述主體10的兩厚臺(tái)11、12的斜面相匹配，所述兩個(gè)螺紋孔25的位置與所述主體10上兩通孔15的位置相對(duì)應(yīng)；。所述主體10通過(guò)螺釘創(chuàng)所述兩個(gè)通孔15旋緊在所述裝配配件20的兩個(gè)螺紋孔25中。
[0021]另外，本發(fā)明鍍膜架及其裝配配件中還包含一滑塊30，兩螺釘40和兩螺釘50。
[0022]鍍膜架主體10及其裝配配件20的組裝圖如圖2所示，螺釘50穿過(guò)主體10上的通孔15擰在鍍膜架裝配配件20的螺紋孔25上，從而將鍍膜架主體10和裝配配件20固定在一起，鍍膜架主體10矩形框架的下表面與鍍膜架裝配配件20高凸臺(tái)23的上表面重合，；鍍膜架主體10的下金屬片14的下表面與鍍膜架裝配配件20的低凸臺(tái)24的上表面重合；滑塊30夾在金屬片13和14中間，可以在矩形框的方口 17內(nèi)自由的滑動(dòng)；螺釘40擰在螺紋孔16上；
[0023]鍍膜架主體及其裝配配件裝bar條的示意圖如圖3所示，bar條裝在鍍膜架矩形框架的方口 17中遠(yuǎn)離螺紋孔16的一端，滑塊30頂緊bar條，螺釘40頂緊滑塊30。
[0024]Bar條裝好以后從裝配配件20上取下來(lái)，放入鍍膜機(jī)內(nèi)鍍膜，因?yàn)楸景l(fā)明的鍍膜架無(wú)遮擋，所以激光器腔面可以均勻的鍍膜，其效果如圖4所示，其中每個(gè)矩形條代表一個(gè)激光器bar條。
[0025]此外，在本發(fā)明另一實(shí)施例中，所述主體10和裝配配件20為圓形，所述矩形框架為兩邊為半圓形的框架。
[0026]綜上所述，本發(fā)明是一種主要用于半導(dǎo)體激光器腔面鍍膜的鍍膜架及其裝配配件，可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器腔面無(wú)遮擋的鍍膜。該技術(shù)可提高芯片的利用率，降低半導(dǎo)體激光器bar條的成本。
[0027]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種鍍膜架，其包括: 主體，中間薄兩端厚，其中一端的端面中間開有兩個(gè)螺紋孔，另一端表面的上表面開有兩個(gè)通孔，中間為一具有開口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金屬片相對(duì)延伸到矩形方口中間； 裝配附件，其大小與主體相同，中間厚兩端薄，第一端上表面開有兩個(gè)螺紋孔，位置與所述主體的通孔相對(duì)應(yīng)，同螺紋與所述主體固定；所述裝配附件中間為兩個(gè)高、低凸臺(tái)，所述兩個(gè)高、低凸臺(tái)的高度差不小于主體下表面金屬片的厚度，高凸臺(tái)中間開有一細(xì)溝；滑片，在所述主體的矩形框架方口間移動(dòng)，且由所述兩個(gè)金屬片上下夾持。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體兩端通過(guò)斜面過(guò)渡到中間的矩形框架。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體的矩形框架上的上下兩片金屬片各自延伸到鍍所述框架方口的中間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體通過(guò)螺釘穿過(guò)所述兩個(gè)通孔旋緊在裝配附件相應(yīng)位置的螺紋孔中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體裝配在裝配附件上后，所述主體矩形框架的下表面與所述裝配附件的高凸臺(tái)上表面相重合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述裝配附件的高凸臺(tái)與低凸臺(tái)的邊緣為斜面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體裝配在所述裝配附件上后，所述裝配附件中低凸臺(tái)的上表面低于所述主體矩形框架下表面金屬片的下表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜架，其特征在于，所述主體和所述裝配附件為矩形或圓形。
【文檔編號(hào)】H01S5/028GK104037617SQ201410270114
【公開日】2014年9月10日 申請(qǐng)日期:2014年6月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月17日
【發(fā)明者】趙懿昊, 王翠鸞, 劉素平, 馬驍宇 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所