專利名稱：自動冷卻式供電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種供電裝置，尤其涉及一種自帶冷卻功能的自動冷卻式供電裝置。
背景技術(shù)：
隨著有機(jī)半導(dǎo)體技術(shù)的深入研究，有機(jī)器件的應(yīng)用越來越廣泛，如有機(jī)電致發(fā)光 器件(OLED)。OLED的制備離不開有機(jī)薄膜的生成，現(xiàn)有技術(shù)中最成熟的技術(shù)是通過蒸鍍技 術(shù)來完成有機(jī)薄膜的制備。在使用真空蒸鍍制備薄膜時，三類加熱源如電阻加熱源、電子束加熱源和感應(yīng)加 熱源通常被用于加熱和蒸發(fā)材料。感應(yīng)加熱源主要用于大規(guī)模涂覆儀器，因?yàn)橛捎诟哳l率 的使用，它傾向于使用復(fù)雜的外圍設(shè)備。由于電子束加熱源能蒸發(fā)幾乎所有種類的材料，因 此它被廣泛用于大型設(shè)備，也用于實(shí)驗(yàn)薄膜的制造。但是，電子束加熱源的缺點(diǎn)是價格昂 貴。由于電阻加熱源安裝簡單和價格低廉的特征，因此被用于各種領(lǐng)域。通常OLED的蒸鍍方式是采用電阻式加熱蒸發(fā)源(電極通電至蒸發(fā)源供熱)，所 選擇的蒸發(fā)源材料為耐特高溫的材料，比如半導(dǎo)體材料和金屬，具體的可以選擇金屬如鎢、 鉭、鉬等，此外還可以是氯化硼等。蒸發(fā)源的使用方法如下將蒸發(fā)源的兩端連接供電裝置， 外加較大的電流使其由于電阻效應(yīng)而發(fā)熱，使放入其中的待蒸鍍材料如金屬材料、半導(dǎo)體 材料等熔融、蒸發(fā)，得到蒸鍍膜。然而，當(dāng)電流通過供電裝置時，電流也會作功而消耗電能，會由于電流的熱效應(yīng)而 產(chǎn)生熱量。所以當(dāng)供電裝置通過較大的電流時，供電裝置也會產(chǎn)生較大的熱量和溫度。若 供電裝置得不到及時的冷卻降溫則其會產(chǎn)生較大的電阻，不利于較大電流的傳輸。此外，供 電裝置和蒸發(fā)源還會把熱量傳遞到真空腔體內(nèi)、真空腔體壁上等，蒸發(fā)源的熱量會導(dǎo)致待 鍍基板表面溫度過高，不利于OLED膜層的制備，而較高溫度的真空腔體壁也會產(chǎn)生較大的 安全隱患，例如容易灼傷操作者。因此，急需一種自帶冷卻功能的供電裝置以提供較好的供電性能和安全性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種自動冷卻式供電裝置，該自動冷卻式供電裝置自帶冷 卻功能從而提供較好的供電性能和安全性能。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種自動冷卻式供電裝置，適用于 固定真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)源并對所述蒸發(fā)源供電，所述自動冷卻式供電裝置包括供電單元、 密封單元及冷卻單元，所述供電單元包括兩呈中空結(jié)構(gòu)的電極棒，所述中空結(jié)構(gòu)形成進(jìn)水 槽，所述電極棒包括位于所述真空腔體內(nèi)的內(nèi)端和位于所述真空腔體外的外端，所述外端 與電極線相連接，其中一所述電極棒的內(nèi)端與所述蒸發(fā)源的一端相連，而另一所述電極棒 的內(nèi)端與所述蒸發(fā)源的另一端相連，所述密封單元包括法蘭和卡置于所述法蘭上的絕緣 件，所述電極棒穿過所述絕緣件絕緣地固定于所述法蘭上，所述法蘭安裝于所述真空腔體 上與所述真空腔體一起構(gòu)成封閉的空間，所述冷卻單元包括出水管、進(jìn)水接頭和出水接頭，所述出水管懸置于所述進(jìn)水槽內(nèi)，所述進(jìn)水接頭與所述進(jìn)水槽相連通，所述出水接頭與所述出水管相連通，所述進(jìn)水接頭、進(jìn)水槽、出水管及出水接頭構(gòu)成冷卻通路。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明自動冷卻式供電裝置自帶冷卻單元，通過該冷卻單 元可對固定蒸發(fā)源的自動冷卻式供電裝置進(jìn)行自動冷卻，經(jīng)過冷卻降溫的自動冷卻式供電 裝置可以提供蒸發(fā)源所需要的低電壓大電流，具有較好的供電性能，同時也可有效地降低 真空腔體的溫度以提高安全性能。較佳地，所述自動冷卻式供電裝置還包括承載單元，所述承載單元包括固定于所 述法蘭上的固定座和固定于所述固定座上的絕緣固定夾，所述電極棒固定于所述絕緣固定 夾上。較佳地，所述電極棒的外端設(shè)置有導(dǎo)電螺母，所述導(dǎo)電螺母將所述電極線固定在 所述電極棒上。較佳地，所述冷卻單元還包括連接座，所述連接座固定于所述電極棒的外端，所述 連接座開設(shè)有與所述進(jìn)水槽相連通的主通孔和與所述主通孔相連通的側(cè)通孔，所述出水管 穿過所述主通孔與出水接頭連接，所述進(jìn)水接頭安裝于所述側(cè)通孔上。較佳地，所述供電單元還包括蒸發(fā)源固定夾，所述電極棒的內(nèi)端通過蒸發(fā)源固定 夾與所述蒸發(fā)源相連。較佳地，所述絕緣件與所述法蘭連接處設(shè)有密封圈，所述絕緣件與所述電極棒連 接處也設(shè)置有密封圈。


圖1是本發(fā)明自動冷卻式供電裝置安裝于真空腔體的示意圖。圖2是圖1中A部分的放大示意圖。圖3是圖1中B部分的放大示意圖。圖4是本發(fā)明自動冷卻式供電裝置的立體圖。圖5是圖4所示本發(fā)明自動冷卻式供電裝置的俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完 整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；?本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他 實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。圖1為本發(fā)明實(shí)施例自動冷卻式供電裝置10安裝于真空腔體20的示意圖。如圖 1所示，本發(fā)明實(shí)施例自動冷卻式供電裝置10用于固定真空腔體20內(nèi)的蒸發(fā)源30并對所 述蒸發(fā)源30供電。請參照圖1和圖4，本發(fā)明實(shí)施例自動冷卻式供電裝置10包括供電單元、密封單元 及冷卻單元，其中，所述供電單元用于對所述蒸發(fā)源30供電；所述密封單元用于將所述供 電單元絕緣地固定于所述真空腔體20內(nèi)，所述冷卻單元用于對所述供電單元及真空腔體 20進(jìn)行冷卻降溫。具體地，所述供電單元包括呈中空結(jié)構(gòu)的電極棒111和112及蒸發(fā)源固定夾113和114，所述電極棒111和112均包括位于所述真空腔體20內(nèi)的內(nèi)端和位于所述真空腔體 20外的外端，所述蒸發(fā)源固定夾113和114分別固定于所述電極棒111和112的內(nèi)端，且分 別夾緊所述蒸發(fā)源30的兩端以使兩所述電極棒111和112分別連接于所述蒸發(fā)源30的兩 端。而所述電極棒111和112的外端上均固定有若干導(dǎo)電螺母115，所述導(dǎo)電螺母115將 外部的電極線固定連接到所述電極棒111和112上以向所述蒸發(fā)源30引進(jìn)電流。本發(fā)明 自動冷卻式供電裝置10中電極棒111和電極棒112為基本對稱的結(jié)構(gòu)，下面主要以電極棒 111 一側(cè)來詳細(xì)說明本發(fā)明自動冷卻式供電裝置10的其它具體結(jié)構(gòu)。請參照圖2-4，所述密封單元包括法蘭121和絕緣件122，所述絕緣件122用于將 所述電極棒111絕緣地固定于所述法蘭121上。具體地，所述絕緣件122包括第一絕緣塊 122a和第二絕緣塊122b，所述第一絕緣塊122a和所述第二絕緣塊122b均為具有凸緣的絕 緣軸套，所述第一絕緣塊122a和第二絕緣塊122b安裝于所述法蘭121的安裝孔上并分別 位于所述法蘭121的兩側(cè)，所述電極棒111的外端穿過所述第一絕緣塊122a和所述第二絕 緣塊122b從而密封地固定于所述法蘭121上，所述法蘭121安裝于所述真空腔體20上與所 述真空腔體20 —起構(gòu)成封閉的空間。較佳地，所述第一絕緣塊122a與所述電極棒111連 接處及與所述法蘭121連接處分別設(shè)有密封圈123和124以進(jìn)一步提高所述電極棒111與 所述法蘭121連接的密封性。較佳地，所述自動冷卻式供電裝置10還包括承載單元，所述 承載單元包括固定座141和若干絕緣固定夾142，所述固定座141固定于所述法蘭121上， 所述絕緣固定夾142等間距地固定于所述固定座141上，兩所述電極棒111和112相互平 行地安裝于所述絕緣固定夾142上以確保兩所述電極棒111和112之間的相對位置不變。 需要說明的是所述絕緣固定夾142以螺栓固定或焊接的方式固定于所述固定座141上。所述冷卻單元包括出水管132、進(jìn)水接頭133、出水接頭134及連接座135，所述電 極棒111的中空結(jié)構(gòu)形成進(jìn)水槽131，所述出水管132懸置于所述進(jìn)水槽131內(nèi)，所述進(jìn)水 槽131和所述出水管132均沿著所述電極棒111的中心軸線方向延伸，所述連接座135固 定于所述電極棒111的末端，所述連接座135上開設(shè)有與所述進(jìn)水槽131相連通的主通孔 135a及與所述主通孔135a相連通的側(cè)通孔135b，所述出水管132穿過所述主通孔135a與 出水接頭134連接，所述進(jìn)水接頭133安裝于所述側(cè)通孔135b上，則所述進(jìn)水接頭133與所 述進(jìn)水槽131相連通，所述出水接頭134與所述出水管132相連通，從而所述進(jìn)水接頭133、 進(jìn)水槽131、出水管132及出水接頭134構(gòu)成冷卻通路。請參照圖1-5，以下詳細(xì)說明本發(fā)明自動冷卻式供電裝置10的工作原理。本發(fā)明自動冷卻式供電裝置10中，電極棒111和112、蒸發(fā)源30及外部的電極線 構(gòu)成一個電流回路，外部電流可通過電極線流入到電極棒111，經(jīng)蒸發(fā)源固定夾113流入到 蒸發(fā)源30，再從電極棒112流出，也可通過電極線先流入到電極棒112，經(jīng)蒸發(fā)源固定夾114 流入到蒸發(fā)源30，再從電極棒111流出。通過上述的電流流入和流出，實(shí)現(xiàn)了對蒸發(fā)源30 進(jìn)行供電加熱。與此同時，自動冷卻式供電裝置10的冷卻單元也進(jìn)入工作狀態(tài)，以電極棒 111為例，冷卻介質(zhì)可從進(jìn)水接頭133進(jìn)入，通過連接座135內(nèi)的側(cè)通孔135b進(jìn)入到電極棒 111的進(jìn)水槽131，進(jìn)而流入出水管132并最后從所述出水接頭134流出，水流方向如圖2 和圖3的箭頭所示。相反地，所述冷卻介質(zhì)也可從出水接頭134進(jìn)入，流經(jīng)出水管132，進(jìn)而 流入到電極棒111的進(jìn)水槽131，并最后從所述出水接頭134流出?？衫斫獾?，電極棒112 也設(shè)置有相同的冷卻回路，通過上述冷卻回路可將電極棒111和112上及真空腔體20內(nèi)的熱量源源不斷的帶到真空腔體20外，有效降低電極棒111和112及真空腔體20的溫度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明自動冷卻式供電裝置10自帶冷卻單元，通過該冷卻 單元可對固定蒸發(fā)源30的自動冷卻式供電裝置10進(jìn)行自動冷卻，經(jīng)過冷卻降溫的自動冷 卻式供電裝置10可以提供蒸發(fā)源30所需要的低電壓大電流，具有較好的供電性能，也可以 有效地降低真空腔體20的溫度以提高安全性能。此外，本發(fā)明自動冷卻式供電裝置10應(yīng) 用于大型真空腔體20或是需要蒸發(fā)源30電極引線較長的情況時，其效果更為明顯。需要說明的是，本發(fā)明的冷卻介質(zhì)優(yōu)選地為純凈凍水，但并不限于純凈凍水，任何 其他絕緣的流體式冷卻介質(zhì)均可被采用。而本發(fā)明的出水管材質(zhì)優(yōu)選地為不銹鋼，但也并 不限于不銹鋼，其他與不銹鋼同類的金屬均可被采用。
以上結(jié)合最佳實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本發(fā) 明并不局限于以上揭示的實(shí)施 例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本發(fā)明的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求
一種自動冷卻式供電裝置，適用于固定真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)源并對所述蒸發(fā)源供電，其特征在于，所述自動冷卻式供電裝置包括供電單元，所述供電單元包括兩呈中空結(jié)構(gòu)的電極棒，所述中空結(jié)構(gòu)形成進(jìn)水槽，所述電極棒包括位于所述真空腔體內(nèi)的內(nèi)端和位于所述真空腔體外的外端，所述外端與電極線相連接，其中一所述電極棒的內(nèi)端與所述蒸發(fā)源的一端相連，而另一所述電極棒的內(nèi)端與所述蒸發(fā)源的另一端相連；密封單元，所述密封單元包括法蘭和卡置于所述法蘭上的絕緣件，所述電極棒穿過所述絕緣件絕緣地固定于所述法蘭上，所述法蘭安裝于所述真空腔體上與所述真空腔體一起構(gòu)成封閉的空間；冷卻單元，所述冷卻單元包括出水管、進(jìn)水接頭和出水接頭，所述出水管懸置于所述進(jìn)水槽內(nèi)，所述進(jìn)水接頭與所述進(jìn)水槽相連通，所述出水接頭與所述出水管相連通，所述進(jìn)水接頭、進(jìn)水槽、出水管及出水接頭構(gòu)成冷卻通路。
2.如權(quán)利要求1所述的自動冷卻式供電裝置，其特征在于還包括承載單元，所述承載 單元包括固定于所述法蘭上的固定座和固定于所述固定座上的絕緣固定夾，所述電極棒固 定于所述絕緣固定夾上。
3.如權(quán)利要求1所述的自動冷卻式供電裝置，其特征在于所述電極棒的外端設(shè)置有 導(dǎo)電螺母，所述導(dǎo)電螺母將所述電極線固定在所述電極棒上。
4.如權(quán)利要求1所述的自動冷卻式供電裝置，其特征在于所述冷卻單元還包括連接 座，所述連接座固定于所述電極棒的外端，所述連接座開設(shè)有與所述進(jìn)水槽相連通的主通 孔和與所述主通孔相連通的側(cè)通孔，所述出水管穿過所述主通孔與出水接頭連接，所述進(jìn) 水接頭安裝于所述側(cè)通孔上。
5.如權(quán)利要求1所述的自動冷卻式供電裝置，其特征在于所述供電單元還包括蒸發(fā) 源固定夾，所述電極棒的內(nèi)端通過蒸發(fā)源固定夾與所述蒸發(fā)源相連。
6.如權(quán)利要求1所述的自動冷卻式供電裝置，其特征在于所述絕緣件與所述法蘭連 接處設(shè)有密封圈，所述絕緣件與所述電極棒連接處也設(shè)置有密封圈。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種自動冷卻式供電裝置，適用于固定真空腔體內(nèi)的蒸發(fā)源并對其供電，該自動冷卻式供電裝置包括供電單元、密封單元及冷卻單元，供電單元包括兩呈中空結(jié)構(gòu)的電極棒，所述中空結(jié)構(gòu)形成進(jìn)水槽，兩電極棒的內(nèi)端分別與蒸發(fā)源的兩端相連，而兩電極棒的外端與電極線相連接，密封單元包括法蘭和卡置于法蘭上的絕緣件，電極棒穿過絕緣件絕緣地固定于法蘭上，法蘭安裝于真空腔體上構(gòu)成封閉的空間，冷卻單元包括出水管、進(jìn)水接頭和出水接頭，出水管懸置于進(jìn)水槽內(nèi)，進(jìn)水接頭與進(jìn)水槽相連通，出水接頭與出水管相連通，進(jìn)水接頭、進(jìn)水槽、出水管及出水接頭構(gòu)成冷卻通路。本發(fā)明自動冷卻式供電裝置自帶冷卻功能，從而能提供較好的供電性能和安全性能。
文檔編號C23C14/26GK101824596SQ20101013937
公開日2010年9月8日 申請日期2010年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月30日
發(fā)明者劉惠森, 葉宗鋒, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司