專(zhuān)利名稱(chēng)：真空鍍膜中圖案成型方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空鍍膜中的技術(shù)，更具體地說(shuō)，涉及將網(wǎng)印油墨用 于真空鍍膜系統(tǒng)中改進(jìn)遮擋技術(shù)以成型圖案的方法。
背景技術(shù)：
在薄膜制備技術(shù)中，很多情況下是在真空條件下進(jìn)行的。如蒸發(fā) 鍍、濺射鍍、離子鍍以及低壓化學(xué)氣相沉積等。通常在特定的條件下， 產(chǎn)生大量帶電物質(zhì)和化學(xué)活性物質(zhì)，其中所述物質(zhì)適合系統(tǒng)中正在進(jìn) 行的特定處理(例如從襯底去除材料的刻蝕處理或向襯底增添材料的 沉積處理)。盡管大量帶電微粒(離子等等)和化學(xué)活性物質(zhì)的形成 對(duì)于進(jìn)行等離子體處理系統(tǒng)對(duì)襯底表面的功能(例如材料刻蝕、材料 沉積等等)是必要的，但部分應(yīng)保護(hù)區(qū)域或元件表面暴露在物理和化 學(xué)活性的等離子體中，最終可能受到腐蝕導(dǎo)致其性能的降低或功能失 效等問(wèn)題。在這樣的真空反應(yīng)系統(tǒng)中，擋板被用于保護(hù)襯底或元件， 使其承受的損害減至最小。
在真空鍍膜中出于設(shè)計(jì)的考量，經(jīng)常有部分精細(xì)的圖案加以保護(hù) 形成非鍍膜區(qū)或需要形成精密的鍍膜圖案(如圖l)。
目前，在業(yè)內(nèi)真空鍍膜的圖案成型都采用擋板遮擋的方式，如圖
2所示。首先設(shè)計(jì)制作如圖1玻璃非鍍膜區(qū)20所示圖案樣式的擋板 元件，例如由硅、石英、氧化鋁、碳、碳化硅或不銹鋼等材料制造的元件，然后設(shè)法將擋板元件固定在玻璃基板10上或耦合到其他制具 上，并擋住玻璃基板10上的相應(yīng)圖案位置，再進(jìn)行真空鍍膜，最后 揭去擋板元件，即形成非鍍膜區(qū)。這樣在實(shí)際上操作中，往往需要設(shè) 計(jì)復(fù)雜的制具和擋板元件，使成本升高，且擋板元件的固定也不容易， 精細(xì)度達(dá)不到很高要求，造成操作不方便，非鍍膜區(qū)邊界不清晰。此 外，在擋板元件的安裝固定過(guò)程中也可能給玻璃基板10帶來(lái)的多余 污染物、雜質(zhì)等等的材料以及劃傷等，影響產(chǎn)品品質(zhì)。
有鑒于此，本發(fā)明人對(duì)現(xiàn)有真空鍍膜中圖案成型的遮擋技術(shù)進(jìn)行 改進(jìn)，皆在方便操作，降低成本，提高精細(xì)度，確保產(chǎn)品品質(zhì)，本案 由此產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種真空鍍膜中圖案成型方法，以方便操 作，降低成本，提高精細(xì)度，確保產(chǎn)品品質(zhì)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的解決方案是
第一步，制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版，并選擇網(wǎng)印后可固化 且固化后可剝離的油墨；
第二步，通過(guò)網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案
上；
第三步，油墨固化，使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上； 第四步，在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進(jìn)行真空鍍膜； 第五步，完成鍍膜后，把己經(jīng)固化的油墨剝掉，顯出所需要的圖 案部分。
其中，所述第一步所選擇的油墨包含下列重量百分比的成份乙烯樹(shù)脂衍生物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20%、 觸發(fā)劑1°/。 5%、消泡劑1% 3%、有機(jī)顏料O. 3% 1%。
所述第一步所選擇的油墨目測(cè)為中粘度粘稠狀；粘度25'C條件 下使用日本RION(理音)公司生產(chǎn)的粘度計(jì)VT-04F, 2號(hào)葉輪所測(cè)特 性值在40 100Pa. s (帕.秒);13(TC時(shí)60分鐘內(nèi)不揮發(fā)成份:100
所述第二步中在網(wǎng)版和玻璃基板上分別制作對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)點(diǎn)，并在 網(wǎng)印時(shí)通過(guò)光學(xué)比對(duì)網(wǎng)版與玻璃基板上的基準(zhǔn)點(diǎn)位置來(lái)固定網(wǎng)版。
所述第二步中網(wǎng)印的油墨膜厚應(yīng)設(shè)定在35 150um (微米)。
所述第三步中油墨通過(guò)加熱或紫外光照射方式固化。
所述第三步中油墨的固化方式網(wǎng)印后，放置于13(TC 150。C 條件下的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中IO分鐘，即可固化。
所述第五步油墨固化后，使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化的 油墨，即可完整剝離。
采用上述方案后，本發(fā)明是將油墨通過(guò)網(wǎng)印轉(zhuǎn)移在玻璃基板上 后，利用油墨特性，通過(guò)物理或化學(xué)方式固化在基片上，然后再鍍膜， 鍍膜后再去除油墨。
本發(fā)明的有益效果由于采用網(wǎng)印方式形成油墨，可以很容易達(dá)
到很高的精細(xì)度，其主要偏差取決于網(wǎng)印精度。對(duì)于小于500mm的圖 形，如果在網(wǎng)版設(shè)計(jì)時(shí)加入網(wǎng)印中因網(wǎng)版拉伸導(dǎo)致的偏差補(bǔ)償，網(wǎng)印 圖形與設(shè)計(jì)圖形重合精度則可以很容易達(dá)到0. lmm以內(nèi)。而且由于油 墨網(wǎng)印完后，可固化在玻璃基板上，鍍膜后再剝掉油墨。本發(fā)明解決 了在真空鍍膜基片上不易安裝固定擋板的問(wèn)題，既避免了安裝固定擋 板時(shí)對(duì)玻璃基板造劃傷和臟污等不良而影響鍍膜品質(zhì)，同時(shí)本方法比 使用擋板所能達(dá)到的精度更高，操作性更強(qiáng)，成本大大降低，更具規(guī)模化。


圖l是真空鍍膜圖案示意圖2是現(xiàn)有技術(shù)真空鍍膜中圖案成型時(shí)所采用擋板遮擋方式的 流程示意圖3是本發(fā)明真空鍍膜中圖案成型所采用網(wǎng)印油墨遮擋方式的 流程示意圖4是本發(fā)明網(wǎng)版結(jié)構(gòu)示意圖5是運(yùn)用本發(fā)明成型的產(chǎn)品中真空鍍膜圖案。
具體實(shí)施例方式
如圖3所示，是本發(fā)明揭示的較佳實(shí)施例，具體步驟如下
第一步，先制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版3 (如圖4所示)。 具體制作網(wǎng)版3時(shí)，先要根據(jù)圖案精度要求選擇合適的絲網(wǎng)31、乳 劑32，并選擇網(wǎng)框33等材料，并制作適合印制圖5所示產(chǎn)品的網(wǎng)版 3，此網(wǎng)版3上具有開(kāi)孔圖案34，為了便于網(wǎng)版3固定在玻璃基板上， 此網(wǎng)版3上還具有基準(zhǔn)點(diǎn)35。
在網(wǎng)版3制作完成后，還需選取合適的油墨。所選取的油墨必需 在網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離。下面以常用防焊可剝離式油墨為 例，其主要成份的重量百分比如下
乙烯樹(shù)脂衍生物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20°/。、觸發(fā)劑(二氧化硅Si02) 1% 5%、消泡劑(六甲基氧二硅垸CfiH180Si2) 1% 3%、有機(jī)顏料(酞青藍(lán)BC3'凡6CuN8) 0. 3% 1%。
主要特性
外觀目測(cè)為中粘度粘稠狀；
粘度25匸條件下使用日本RION(理音)公司生產(chǎn)的粘度計(jì) VT-04F, 2號(hào)葉輪所測(cè)特性值在40 100Pa . S; 不揮發(fā)成份:100% (130。Cx60分鐘); 保存條件25"C以下環(huán)境中。
第二步，通過(guò)網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到如圖5所示玻璃基板1所 需要的圖案2上。當(dāng)對(duì)位置精度要求較高時(shí)，可如圖4所示在網(wǎng)版3 上制作基準(zhǔn)點(diǎn)35，在玻璃基板1上也制作基準(zhǔn)點(diǎn)11，網(wǎng)印時(shí)通過(guò)光 學(xué)比對(duì)網(wǎng)版3與玻璃基板1上的基準(zhǔn)點(diǎn)11位置來(lái)達(dá)到精度控制，再 固定網(wǎng)版3于玻璃基板1上。
第三步，油墨固化，主要通過(guò)油墨的物理化學(xué)特性實(shí)現(xiàn)，如加熱 或紫外光照射方式等?？蓜冸x式油墨的固化方式放置于13(TC 150 'C條件下的熱風(fēng)循環(huán)式干燥爐中10分鐘，即可固化，使油墨覆蓋玻 璃基板1所需要的圖案2上。油墨的可剝離性因其膜厚度及圖形面積 大小設(shè)定的不同會(huì)有所差異，合理的膜厚度應(yīng)設(shè)定在35 150 u m。
第四步，在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板l上進(jìn)行真空鍍膜。由于油 墨已固化在玻璃基板l上，所以只要以一般的放置方法進(jìn)行放置，再 進(jìn)行鍍膜即可。
第五步，完成鍍膜后，把已經(jīng)固化的油墨剝掉，顯出所需要的圖 案2部分，如圖5所示。具體可使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化 的油墨，即可完整剝離。
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權(quán)利要求
1、真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于第一步，制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版，并選擇網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離的油墨；第二步，通過(guò)網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案上；第三步，油墨固化，使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上；第四步，在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進(jìn)行真空鍍膜；第五步，完成鍍膜后，把已經(jīng)固化的油墨剝掉，顯出所需要的圖案部分。
2、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于 所述第一步所選擇的油墨包含下列重量百分比的成份乙烯樹(shù)脂衍生 物55 65%、脂肪酸酯15 20%、乙烯環(huán)氧酯15 20%、觸發(fā)劑1% 5°/。、消泡劑1% 3%、有機(jī)顏料O. 3% 1%。
3、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于 所述第一步所選擇的油墨目測(cè)為中粘度粘稠狀；粘度25'C條件下使 用粘度計(jì)VT-04F, 2號(hào)葉輪所測(cè)特性值在40 100Pa.S; 13(TC時(shí)60 分鐘內(nèi)不揮發(fā)成份100%。
4、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于 所述第二步中在網(wǎng)版和玻璃基板上分別制作對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)點(diǎn)，并在網(wǎng)印 時(shí)通過(guò)光學(xué)比對(duì)網(wǎng)版與玻璃基板上的基準(zhǔn)點(diǎn)位置來(lái)固定網(wǎng)版。
5、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于 所述第二步中網(wǎng)印的油墨膜厚設(shè)定在35 150um。
6、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于所述第三步中油墨通過(guò)加熱或紫外光照射方式固化。
7、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于 所述第三步中油墨的固化方式網(wǎng)印后，放置于13(TC 15(TC條件 下的熱風(fēng)循環(huán)式千燥爐中io分鐘，即可固化。
8、 如權(quán)利要求l所述的真空鍍膜中圖案成型方法，其特征在于: 所述第五步油墨固化后，使用膠帶或鑷子從邊緣拉起已經(jīng)固化的油 墨，即可完整剝離。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種真空鍍膜中圖案成型方法，先制作用于印制所需要圖案的網(wǎng)版，并選擇網(wǎng)印后可固化且固化后可剝離的油墨；再通過(guò)網(wǎng)印的方法將油墨網(wǎng)印到玻璃基板所需要的圖案上；接著，油墨固化，使油墨覆蓋玻璃基板所需要的圖案上；然后，在油墨已經(jīng)固化的玻璃基板上進(jìn)行真空鍍膜；最后，完成鍍膜后，把已經(jīng)固化的油墨剝掉，顯出所需要的圖案部分。本發(fā)明可方便操作，降低成本，提高精細(xì)度，確保產(chǎn)品品質(zhì)，更具規(guī)?；a(chǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/04GK101445903SQ20081018745
公開(kāi)日2009年6月3日 申請(qǐng)日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月15日
發(fā)明者林越展, 旭 章, 鄭開(kāi)東 申請(qǐng)人:宸陽(yáng)光電科技(廈門(mén))有限公司