專利名稱：固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬機(jī)械工程中的機(jī)電傳動(dòng)領(lǐng)域，特別是涉及一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置。
背景技術(shù)：
長期以來，在機(jī)器人、自動(dòng)化、車輛、航空、航天、電子工業(yè)、軍事工業(yè)等機(jī)械設(shè)備中驅(qū)動(dòng)電機(jī)和減速機(jī)構(gòu)是分開設(shè)計(jì)，這樣不可避免的需要考慮它們之間的聯(lián)接設(shè)計(jì)，和軸系對中誤差，并且傳動(dòng)機(jī)構(gòu)出現(xiàn)磨損，機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)容易存在卡澀。例如行星減少器、擺線針輪減少器和RV減速器結(jié)構(gòu)復(fù)雜、不易實(shí)現(xiàn)大的傳動(dòng)比、當(dāng)機(jī)構(gòu)出現(xiàn)卡澀時(shí)，動(dòng)態(tài)性能低劣和機(jī)械效率降低、附加動(dòng)載荷大，特別是傳遞較大功率時(shí)，振動(dòng)和噪聲大。諧波傳動(dòng)的柔輪在長期的交變載荷下，容易疲勞磨損失效，出現(xiàn)機(jī)構(gòu)卡澀，且工藝性差、制造加工要求高、維修不便。從而直接導(dǎo)致機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)所造成的傳動(dòng)精度、綜合性能與可靠性差，裝備的使用壽命縮短等問題，及其機(jī)械設(shè)備所存在的較大摩擦、磨損、振動(dòng)、噪聲、無功能耗等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是設(shè)計(jì)一種將具有納米表面工程材料涂覆層的減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置與伺服電機(jī)集成，具有高精度、高可靠、長壽命、低能耗、小體積、輕量化的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置。
本發(fā)明所涉及的一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，包括具有納米表面工程材料涂覆層的減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置和伺服電動(dòng)機(jī)。減速器組件包括偏心凸輪9、輸入雙聯(lián)齒輪15、固定齒輪13、輸出齒輪17、軸承10、軸承18、滾柱14、滾珠16。輸出裝置包括空心的輸出軸23。伺服電動(dòng)機(jī)包括空心的轉(zhuǎn)軸1。伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸1直接與減速器組件偏心凸輪9右端相連。輸出齒輪17左端通過周向均勻分布的一組螺釘22與輸出軸23相連。輸入雙聯(lián)齒輪15的右邊齒輪與固定齒輪13相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)和輸入雙聯(lián)齒輪15的左邊齒輪與輸出齒輪17相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)相等。在偏心凸輪9圓周外表面30和輸入雙聯(lián)齒輪15的內(nèi)孔都設(shè)計(jì)了圓弧滾道34分別作為滾珠16的內(nèi)外滾道。固定齒輪13的內(nèi)表面36和輸出齒輪17的圓周外表面37分別作為滾柱14的內(nèi)外滾道。在偏心凸輪9圓周外表面29和外表面31分別安裝有軸承8和軸承18。偏心凸輪9圓周外表面30的軸心線、輸入雙聯(lián)齒輪15的分度圓軸心線在同一個(gè)軸心線O1上，偏心凸輪9的內(nèi)孔28軸心線O與軸心線O1存在偏心量為e的偏心。在偏心凸輪內(nèi)孔處分別設(shè)計(jì)了大內(nèi)孔32和小內(nèi)孔33。外殼7的圓周內(nèi)表面25作為固定齒輪13安裝的定位面，固定齒輪13通過圓周上一組螺釘11與外殼7聯(lián)接。
輸出齒輪17和固定齒輪13的分度圓軸心線，偏心凸輪9的內(nèi)孔28、圓周外表面29和圓周外表面31軸心線，左端蓋24和右端蓋5的內(nèi)孔軸心線，轉(zhuǎn)軸1軸心線和輸出軸23軸心線在同一個(gè)軸心線O上。固定齒輪13圓周外表面的軸心線與軸心線O重合。左端蓋24和右端蓋5內(nèi)分別安裝有軸承21和軸承4，并且分別通過圓周上一組螺釘20和螺釘6與外殼7相聯(lián)接。在外殼7的內(nèi)表面26上安裝有軸承8。在外殼7的左右端面的圓周上分別設(shè)計(jì)了一組螺紋孔19和螺紋孔27。
固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，為了防止和消除機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中存在的卡澀問題、降低摩擦系數(shù)、延長使用壽命和提高機(jī)構(gòu)的可靠性。采用納米固體潤滑技術(shù)，在輸入齒輪10、固定齒輪11和輸出齒輪13的齒面涂覆0.1～30um的納米固體潤滑膜。該固體潤滑膜通過非平衡磁控濺射技術(shù)或離子注入技術(shù)沉積的薄膜以MoS2為基體，添加金或金-鈀合金、Ti或TiN等各種元素的薄膜。
本發(fā)明所涉及的一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，將減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置與伺服電機(jī)集成設(shè)計(jì)，從結(jié)構(gòu)上確保其同心精度。輸入雙聯(lián)齒輪15通過偏心凸輪9帶動(dòng)產(chǎn)生偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，且與固定齒輪11和輸出齒輪13嚙合傳動(dòng)分別產(chǎn)生兩個(gè)少齒差減速傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了大減速比傳動(dòng)。在偏心凸輪9上設(shè)計(jì)了的圓弧凹槽的滾珠運(yùn)動(dòng)滾道，防止?jié)L珠軸向竄動(dòng)，提高了運(yùn)轉(zhuǎn)精度。在偏心凸輪9上安裝了軸承18和軸承10，可以將其受到的反作用力卸載到外殼7上，且保證了運(yùn)轉(zhuǎn)的同心度。傳動(dòng)副嚙合面涂覆納米固體潤滑膜，使其摩擦系數(shù)極小，具有耐磨、可靠、減振、降噪等功效；當(dāng)機(jī)構(gòu)出現(xiàn)卡澀時(shí)，電機(jī)輸出扭矩增大到一定的數(shù)值，納米固體潤滑膜產(chǎn)生超彈性模量效應(yīng)，在嚙合齒面形成適度的彈性變形，防止和消除機(jī)構(gòu)卡澀。從而實(shí)現(xiàn)高精度、高可靠、長壽命、低能耗、小體積、輕量化的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，同時(shí)制造加工工藝簡便，生產(chǎn)制造成本低，安裝調(diào)試容易以及拆卸維修方便。


圖1是固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置A-A截面圖。
圖3是固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置B-B截面圖。
圖4是偏心凸輪9結(jié)構(gòu)圖。
圖5是偏心凸輪9左視圖。
圖6是偏心凸輪9C-C截面圖。
圖7是輸入雙聯(lián)齒輪15結(jié)構(gòu)圖。
圖8是固定齒輪13結(jié)構(gòu)圖。
圖9是輸出齒輪17結(jié)構(gòu)圖。
圖中1.轉(zhuǎn)軸，2.電機(jī)轉(zhuǎn)子，3.電機(jī)定子，4.軸承，5.右端蓋，6.螺釘，7.外殼，8.軸承，9.偏心凸輪，10.軸承，11.螺釘，12.軸承座，13.，14.滾柱，15.輸入雙聯(lián)齒輪，16.滾珠，17.輸出齒輪，18.軸承，19.螺紋孔，20.螺釘，21.軸承，22.螺釘，23.輸出軸，24.左端蓋，25.固定齒輪圓周外表面，26.外殼內(nèi)圓周表面，27.螺紋孔，28.內(nèi)孔面，29.圓周外表面，30.圓周外表面，31.圓周外表面，32.內(nèi)孔圓周面，33.內(nèi)孔圓周面，34.滾珠內(nèi)圓弧凹槽，35.滾珠外圓弧凹槽，36.滾柱外滾道面，37.滾柱內(nèi)滾道面。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步說明本發(fā)明所涉及的一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，包括具有納米表面工程材料涂覆層的減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置和伺服電動(dòng)機(jī)。減速器組件包括偏心凸輪9、輸入雙聯(lián)齒輪15、固定齒輪13、輸出齒輪17、軸承10、軸承18、滾柱14、滾珠16。輸出裝置包括空心的輸出軸23。
如圖1所示，伺服電動(dòng)機(jī)包括空心的轉(zhuǎn)軸1。伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸1直接與減速器組件偏心凸輪9右端相連。輸出齒輪17左端通過周向均勻分布的一組螺釘22與輸出軸23相連。外殼7的圓周內(nèi)表面25作為減速器固定齒輪13安裝的定位面，固定齒輪13通過圓周上一組螺釘11與外殼7聯(lián)接。將電機(jī)與減速器直接聯(lián)接組合成一個(gè)固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，減少了很多傳動(dòng)聯(lián)接的中間環(huán)節(jié)，優(yōu)化了軸系結(jié)構(gòu)，減少了軸系傳動(dòng)的復(fù)雜對中問題，提高了傳動(dòng)精度和效率，且制造加工簡便。轉(zhuǎn)軸1和輸出軸23采用空心軸設(shè)計(jì)，為機(jī)構(gòu)走線提供了方便，減少了在機(jī)械設(shè)備中需要考慮控制電線通路所存在的結(jié)構(gòu)空間設(shè)計(jì)問題，且減輕了總量。
如圖1、圖2和圖3所示，固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置所采用的減速器傳動(dòng)原理，是基于少齒差行星齒輪傳動(dòng)原理。輸入雙聯(lián)齒輪15的右邊齒輪與固定齒輪13相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)和輸入雙聯(lián)齒輪15的左邊齒輪與輸出齒輪17相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)相等。偏心凸輪9的內(nèi)孔28軸心線O與軸心線O1存在偏心量為e的偏心。通過偏心凸輪9所存在的偏心帶動(dòng)輸入雙聯(lián)齒輪15形成偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，產(chǎn)生雙少齒差行星齒輪傳動(dòng)效果，最后再通過輸出齒輪17與輸出軸23的聯(lián)接，從而將速度輸出。輸入雙聯(lián)齒輪15的左右兩邊齒輪的齒數(shù)分別為Zc和Zd，固定齒輪13和輸出齒輪17齒輪的齒數(shù)分別為Zb和Za， 如圖4和圖7所示，在偏心凸輪9圓周外表面30和輸入雙聯(lián)齒輪15的內(nèi)孔都設(shè)計(jì)了圓弧滾道34分別作為滾珠16的內(nèi)外滾道，限制了滾珠16的軸向定位，保證了偏心凸輪9的高速運(yùn)轉(zhuǎn)。輸出齒輪17的輸出轉(zhuǎn)速低、壓力大。如圖9和圖8所示，在固定齒輪13的內(nèi)表面36和輸出齒輪17的圓周外表面37分別設(shè)計(jì)的內(nèi)外滾道上安裝滾柱14。
如圖1和圖4所示，偏心凸輪9所存在的偏心左右，其在運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候會受到很大的徑向反作用力，這樣會對與偏心凸輪9直接相聯(lián)接的電機(jī)軸產(chǎn)生不良影響。通過在偏心凸輪9圓周外表面29和外表面31分別安裝有軸承8和軸承18，把它受到的徑向反作用力卸載傳遞到外殼7上，而且保證了偏心凸輪9在運(yùn)轉(zhuǎn)中的偏心度。在偏心凸輪內(nèi)孔處分別設(shè)計(jì)了大內(nèi)孔32和小內(nèi)孔33，可以保持偏心凸輪運(yùn)轉(zhuǎn)過程中的動(dòng)平衡。
如圖1和圖4所示，在電機(jī)和減速器集成的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置中，要實(shí)現(xiàn)少齒差輸出傳動(dòng)，必須考慮到減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置、伺服電動(dòng)機(jī)和外殼所組成的一個(gè)整體的輸入和輸出同心度及其偏心度的設(shè)計(jì)。如圖1、圖2和圖3所示，輸出齒輪17和固定齒輪13的分度圓軸心線，偏心凸輪9的內(nèi)孔28、圓周外表面29和圓周外表面31軸心線，左端蓋24和右端蓋5的內(nèi)孔軸心線，轉(zhuǎn)軸1軸心線和輸出軸23軸心線在同一個(gè)軸心線O上。固定齒輪13圓周外表面的軸心線與軸心線O重合。偏心凸輪9圓周外表面30的軸心線、輸入雙聯(lián)齒輪15的分度圓軸心線在同一個(gè)軸心線O1上，偏心凸輪9的內(nèi)孔28軸心線O與軸心線O1存在偏心量為e的偏心。左端蓋24和右端蓋5內(nèi)分別安裝有軸承21和軸承4，并且分別通過圓周上一組螺釘20和螺釘6與外殼7相聯(lián)接。在外殼7的內(nèi)表面26上安裝有軸承8。在外殼7的左右端面的圓周上分別設(shè)計(jì)了一組螺紋孔19和螺紋孔27。
另一方面，輸入齒輪10、固定齒輪11和輸出齒輪13的齒面涂覆0.1～30um的納米固體潤滑膜，使其摩擦系數(shù)極小，具有耐磨、可靠、減振、降噪等功效；當(dāng)機(jī)構(gòu)出現(xiàn)卡澀時(shí)，電機(jī)輸出扭矩增大到一定的數(shù)值，納米固體潤滑膜產(chǎn)生超彈性模量效應(yīng)，在嚙合齒面可以形成適度的彈性變形，從而防止和消除機(jī)構(gòu)卡澀。該固體潤滑膜通過非平衡磁控濺射技術(shù)或離子注入技術(shù)沉積的薄膜以80％～95％MOS2為基體，添加2％～9％金或金-鈀合金、O.5％～6％Ti或TiN等多種合金元素的納米復(fù)合多層薄膜。共濺射固體潤滑膜成膜工藝參數(shù)需要嚴(yán)格控制鍍膜室本底氣壓≤1×1O-3Pa，工作氣體氬或氙的純度≥99％，預(yù)濺射和濺射工作氣壓為(O.02～6.O)Pa，預(yù)沉積前對工件偏壓為(-1000～-2000)V，對新靶預(yù)濺射15小時(shí)以上，鍍膜前工件表面被離子刻蝕的面功率密度為(O.2～10)W/cm2；MoS2靶功率1～4kW，Ti靶功率0～4kW；工件偏壓為(-50～-200)V，鍍膜時(shí)間(10～120)分鐘；鍍膜結(jié)束后(1～10)分鐘內(nèi)充保護(hù)氣體至(2～8)×104pa后自然冷卻至室溫。
實(shí)施例如圖1所示，輸入雙聯(lián)齒輪15的左右兩邊齒輪的齒數(shù)分別為Zc＝45和Zd＝48，固定齒輪13和輸出齒輪17齒輪的齒數(shù)分別為Zb＝53和Za＝50。
輸入雙聯(lián)齒輪15的左邊齒輪與輸出齒輪17的少齒差數(shù)和輸入雙聯(lián)齒輪15的右邊齒輪與固定齒輪13少齒差數(shù)相等，少齒差數(shù)都為5。
固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置的安裝減速器和伺服電動(dòng)機(jī)分別從左右兩邊向中間安裝，伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸1直接和減速器的偏心凸輪9相聯(lián)接，軸承8安裝在轉(zhuǎn)軸1上，固定齒輪13通過圓周上一組螺釘11與外殼7聯(lián)接，輸出齒輪17左端通過周向均勻分布的一組螺釘22與輸出軸23相連。軸承22和軸承4分別安裝在輸出軸23和轉(zhuǎn)軸1上，左端蓋24和右端蓋5依次分別在外殼7上。如圖1所示，固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置為保證偏心度e和同心度進(jìn)行了機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)。以固定齒輪13的圓周外表面25作為安裝的定位面，外殼7安裝左端蓋24、右端蓋5和固定齒輪13處的內(nèi)孔面的軸心線在同一個(gè)軸心線0上，從而保證輸出軸23和轉(zhuǎn)軸1的同心度。另一方面，偏心凸輪9的內(nèi)孔28、圓周外表面29和圓周外表面31軸心線在同一個(gè)軸心線0上，將軸承8和軸承18安裝在其圓周外表面29和外表面31，當(dāng)轉(zhuǎn)軸1直接和減速器的偏心凸輪9相聯(lián)接和輸出齒輪17左端直接與輸出軸23相連時(shí)，不僅能實(shí)現(xiàn)把偏心凸輪9受到的徑向反作用力卸載傳遞到外殼7上，而且保證了偏心凸輪9在運(yùn)轉(zhuǎn)中的偏心度，提高了傳動(dòng)精度，提高了傳動(dòng)效率。
如圖1所示，固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置的工作過程伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸1帶動(dòng)減速器組件偏心凸輪9，偏心凸輪9再通過滾珠16帶動(dòng)輸入雙聯(lián)齒輪15做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，輸入雙聯(lián)齒輪15右端齒輪在與齒數(shù)多的固定齒輪13作嚙合運(yùn)動(dòng)中產(chǎn)生少齒差行星轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)，將產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動(dòng)傳遞到左邊的齒輪產(chǎn)生相同的轉(zhuǎn)動(dòng)，左邊的齒輪在與齒數(shù)多的輸出齒輪23嚙合傳動(dòng)產(chǎn)生少齒差行星轉(zhuǎn)動(dòng)，輸出齒輪17通過滾柱14與固定齒輪13產(chǎn)生相對運(yùn)動(dòng)，輸出齒輪17再帶動(dòng)輸出軸23輸出轉(zhuǎn)速。
納米表面薄膜的制備情況在輸入雙聯(lián)齒輪15、固定齒輪13和輸出齒輪17的齒面上涂覆一層納米表面薄膜，采用具有非平衡磁控濺射功能的PVD鍍膜機(jī).鍍膜機(jī)沉積室中央為工件臺，周圍內(nèi)壁上布置4個(gè)濺射靶，其中2個(gè)為磁控濺射MoS2靶相對布置，另2個(gè)磁控濺射靶分別是Ti靶和金或金-鈀合金的合金元素靶相對布置。4個(gè)靶形成非平衡磁控濺射封閉場。輸入齒輪10、固定齒輪11和輸出齒輪13的材料為38CrMnAl，硬度大于55HRc，表面粗糙度Ra小于0.16um，先將鍍膜樣品放入丙酮中用超聲波清洗5min除去樣品表面油污，然后裝入真空室內(nèi)工件臺上，工件偏壓為-1300V，利用輝光放電效應(yīng)對樣品表面進(jìn)行刻蝕清洗。真空室工作壓力為0.5Pa，清洗時(shí)間10min，之后開啟Ti靶工作，在樣品表面沉積厚約100nm的Ti中間層來提高膜層與基底問的結(jié)合力。再充入反應(yīng)氣體N2，沉積TiN支撐層，時(shí)間為20min。此時(shí)真空室平衡溫度為200℃。再Ar+離子轟擊，沉積一層Ti過渡層。開啟MoS2靶和Au靶電源，關(guān)閉Ti靶電源。MoS2靶弧電流120A，負(fù)偏壓-200V，充入氬氣至0.15Pa，保持真空室壓力為3.0Pa，偏壓降至120v沉積MoS2/Au復(fù)合涂層。每沉積10min，采用2.5Pa氬氣，偏壓-800V進(jìn)行離子轟擊，時(shí)間為5min。沉積時(shí)間達(dá)到20min后，真空室平衡溫度為280℃，沉積結(jié)束。關(guān)掉負(fù)偏壓、所有弧源、反應(yīng)氣體，抽真空室真空至極限真空度。
所制備的MoS2/Au/Ti薄膜厚度4um，摩擦系數(shù)0.01，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出扭矩為3Nm時(shí)，電機(jī)的輸出功率隨轉(zhuǎn)速的增加，波動(dòng)不大，可見摩擦系數(shù)較小。在輸出扭矩增大時(shí)，電機(jī)的輸出功率幾乎成線性增大，機(jī)構(gòu)運(yùn)行平穩(wěn)，摩擦力矩小、潤滑狀態(tài)良好，沒有出現(xiàn)卡死。實(shí)現(xiàn)高精度、高可靠、長壽命、大扭矩、低能耗、小體積、輕量化的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置。
權(quán)利要求
1.一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，包括具有納米表面工程材料涂覆層的減速器組件、輸出傳動(dòng)裝置和伺服電動(dòng)機(jī)；其特征為減速器組件包括偏心凸輪(9)、輸入雙聯(lián)齒輪(15)、固定齒輪(13)、輸出齒輪(17)、軸承(10)、軸承(18)、滾柱(14)、滾珠(16)；輸出裝置包括空心的輸出軸(23)；伺服電動(dòng)機(jī)包括空心的轉(zhuǎn)軸(1)；伺服電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)軸(1)直接與減速器組件偏心凸輪(9)右端相連；輸出齒輪(17)左端通過周向均勻分布的一組螺釘(22)與輸出軸(23)相連；輸入雙聯(lián)齒輪(15)的右邊齒輪與固定齒輪(13)相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)和輸入雙聯(lián)齒輪(15)的左邊齒輪與輸出齒輪(17)相嚙合傳動(dòng)所存在的少齒差齒數(shù)相等；在偏心凸輪(9)圓周外表面(30)和輸入雙聯(lián)齒輪(15)的內(nèi)孔都設(shè)計(jì)了圓弧滾道(34)分別作為滾珠(16)的內(nèi)外滾道；固定齒輪(13)的內(nèi)表面(36)和輸出齒輪(17)的圓周外表面(37)分別作為滾柱(14)的內(nèi)外滾道；在偏心凸輪(9)圓周外表面(29)和外表面(31)分別安裝有軸承(8)和軸承(18)；偏心凸輪(9)圓周外表面(30)的軸心線、輸入雙聯(lián)齒輪(15)的分度圓軸心線在同一個(gè)軸心線O1上，偏心凸輪(9)的內(nèi)孔(28)軸心線O與軸心線O1存在偏心量為e的偏心；在偏心凸輪內(nèi)孔處分別設(shè)計(jì)了大內(nèi)孔(32)和小內(nèi)孔(33)；外殼(7)的圓周內(nèi)表面(25)作為固定齒輪(13)安裝的定位面，固定齒輪(13)通過圓周上一組螺釘(11)與外殼(7)聯(lián)接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，其特征是輸出齒輪(17)和固定齒輪(13)的分度圓軸心線，偏心凸輪(9)的內(nèi)孔(28)、圓周外表面(29)和圓周外表面(31)軸心線，左端蓋(24)和右端蓋(5)的內(nèi)孔軸心線，轉(zhuǎn)軸(1)軸心線和輸出軸(23)軸心線在同一個(gè)軸心線O上；固定齒輪(13)圓周外表面的軸心線與軸心線O重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，其特征是左端蓋(24)和右端蓋(5)內(nèi)分別安裝有軸承(21)和軸承(4)，并且分別通過圓周上一組螺釘(20)和螺釘(6)與外殼(7)相聯(lián)接；在外殼(7)的內(nèi)表面(26)上安裝有軸承(8)；在外殼(7)的左右端面的圓周上分別設(shè)計(jì)了一組螺紋孔(19)和螺紋孔(27)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，其特征是輸入雙聯(lián)齒輪(15)、固定齒輪(13)和輸出齒輪(17)的齒面涂覆0.1～30um的納米固體潤滑膜，該固體潤滑膜通過非平衡磁控濺射技術(shù)或離子注入技術(shù)沉積的薄膜以MoS2為基體，添加金或金-鈀合金、Ti或TiN等各種元素的薄膜。
全文摘要
一種固體潤滑精密濾波驅(qū)動(dòng)裝置，包括具有納米表面工程固體潤滑材料涂覆層的減速器組件、輸出傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和伺服電機(jī)。本驅(qū)動(dòng)裝置將減速器組件、輸出傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與伺服電機(jī)集成設(shè)計(jì)，從結(jié)構(gòu)上確保其精密傳動(dòng)。輸入雙聯(lián)齒輪(15)通過偏心凸輪(9)使其產(chǎn)生偏心轉(zhuǎn)動(dòng)，且與固定齒輪(11)和輸出齒輪(13)嚙合傳動(dòng)分別產(chǎn)生兩個(gè)少齒差減速傳動(dòng)。在偏心凸輪(9)上設(shè)計(jì)有圓弧凹槽的滾珠運(yùn)動(dòng)滾道，并安裝軸承(18)和軸承(10)。傳動(dòng)副嚙合面涂覆有能減振、降噪、耐磨的固體潤滑膜，可產(chǎn)生適度的彈性變形來消除機(jī)構(gòu)卡澀。本驅(qū)動(dòng)裝置具有高精度、高可靠、長壽命、大轉(zhuǎn)矩、低能耗、輕量化等優(yōu)點(diǎn)，廣泛適用于機(jī)器人、自動(dòng)化、車輛、航空、航天等領(lǐng)域工程裝備。
文檔編號C23C14/06GK101042180SQ20071013560
公開日2007年9月26日 申請日期2007年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月7日
發(fā)明者王家序, 田凡, 肖科 申請人:重慶大學(xué)