專利名稱:一種石墨舟的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種石墨舟，所述石墨舟的石墨片為非等間距設(shè)計(jì)，可以根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)相應(yīng)位置的石墨板間距，使得每個(gè)間隔之內(nèi)的鍍膜氣體分布盡量均勻，保證鍍膜工藝過(guò)程中膜厚比較均勻，避免了不良品的出現(xiàn)；所述石墨舟的整體寬度不發(fā)生變化，不影響生產(chǎn)時(shí)進(jìn)出舟，無(wú)需重新調(diào)整配方；根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整相應(yīng)位置的石墨板間距時(shí)，變更的組裝材料參數(shù)僅為一部分陶瓷環(huán)的長(zhǎng)度、一部分石墨塊的寬度及一部分陶瓷棒的長(zhǎng)度，石墨板及后續(xù)整個(gè)石墨舟的組裝方法不變，整個(gè)改造調(diào)整過(guò)程操作方便，簡(jiǎn)單易行。
【專利說(shuō)明】一種石墨舟

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及硅太陽(yáng)能電池板制造領(lǐng)域，特別是涉及一種石墨舟。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能娃片的生產(chǎn)加工中有一道工序叫做PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposit1n，等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)鍍膜，其作用是提高娃片的太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化率。在采用PECVD工藝進(jìn)行硅片鍍膜時(shí)，通常采用石墨舟作為硅片的載體。把硅片放到石墨舟中，經(jīng)過(guò)一定的條件產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面鍍上一層膜。
[0003]石墨舟作為太陽(yáng)能電池板鍍膜時(shí)的一種載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生廣效率。圖1a為現(xiàn)有石墨舟的立體結(jié)構(gòu)不意圖，圖1b為圖1a的左視圖，如圖1a和圖1b所示，現(xiàn)有的石墨舟由石墨板10、陶瓷棒11、陶瓷環(huán)12、石墨螺母13、石墨塊14和支腳15等組成。石墨板10為多片排列，各石墨板上皆有相對(duì)應(yīng)的多個(gè)通孔，各石墨板通過(guò)貫穿在通孔內(nèi)的陶瓷棒11固定連接，相鄰兩片石墨板10之間的陶瓷棒11上套裝有陶瓷環(huán)12將其隔離開，所述陶瓷環(huán)12長(zhǎng)度相同，使得各石墨板之間等間距排列；每個(gè)陶瓷棒的兩端通過(guò)石墨螺母13固定在最外側(cè)的兩片石墨板上；相間隔的石墨板10分別于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端設(shè)置的石墨塊14相連接；石墨舟長(zhǎng)度方向兩端的底部分別設(shè)置有支腳15。
[0004]由于現(xiàn)有的石墨舟的石墨片均為等間距設(shè)計(jì)，即所有各排石墨片之間的間距均相等，采用等長(zhǎng)度的陶瓷環(huán)隔開，但由于鍍膜的時(shí)候，分布到石墨舟不同位置處的鍍膜氣體是不均勻的，等間距的間隔使得每個(gè)間隔之內(nèi)的鍍膜氣體分布存在差異，這就使得石墨板上硅片鍍膜厚度不均勻，鍍膜氣體分布較多的區(qū)域，其對(duì)應(yīng)的硅片鍍膜較厚，顏色偏白，而鍍膜氣體分布較少的區(qū)域，其對(duì)應(yīng)的硅片鍍膜較薄，顏色偏深，容易導(dǎo)致整管硅片的膜厚不均勻，影響顏色分布，容易產(chǎn)生較多的不良品。
[0005]鑒于此，有必要設(shè)計(jì)一種新的結(jié)構(gòu)以解決上述技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種石墨舟，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于石墨舟的石墨片為等間距設(shè)計(jì)，而在鍍膜的時(shí)候，分布到石墨舟不同位置處的鍍膜氣體是不均勻的，使得每個(gè)等間距之間隔內(nèi)的鍍膜氣體分布存在差異，而導(dǎo)致的石墨板上硅片鍍膜厚度不均勻，鍍膜氣體分布較多的區(qū)域，其對(duì)應(yīng)的硅片鍍膜較厚，顏色偏白，而鍍膜氣體分布較少的區(qū)域，其對(duì)應(yīng)的硅片鍍膜較薄，顏色偏深，容易導(dǎo)致整管硅片的膜厚不均勻，影響顏色分布，容易產(chǎn)生較多的不良品的問(wèn)題。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實(shí)用新型提供一種石墨舟，所述石墨舟至少包含若干個(gè)非等間距排列的石墨板；若干個(gè)用于隔離所述相鄰石墨板的陶瓷環(huán)；若干個(gè)用于串接所述石墨板與相應(yīng)陶瓷環(huán)的陶瓷棒。
[0008]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述石墨舟包含至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第一石墨板間距、至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第三石墨板間距以及至少一由其他相鄰石墨板構(gòu)成的第二石墨板間距；所述第一石墨板間距、第二石墨板間距以及第三石墨板間距至少兩者不相等。
[0009]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述第一石墨板間距、第二石墨板間距和第三石墨板間距三者之間互不相等。
[0010]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述第一石墨板間距小于所述第二石墨板間距，所述第二石墨板間距小于所述第三石墨板間距。
[0011]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述石墨舟至少包含:若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)奇數(shù)列石墨板的第一石墨塊，若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)偶數(shù)列石墨板的第二石墨塊；若干個(gè)用于串接前述石墨板與相應(yīng)石墨塊的陶瓷棒。
[0012]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述第一石墨板間距位于石墨舟外偵牝所述第三石墨板間距位于石墨舟中部，所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。
[0013]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，所述第一石墨板間距位于石墨舟中部，所述第三石墨板間距位于石墨舟外側(cè)，所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。
[0014]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，自石墨舟兩側(cè)至中部，所述相鄰石墨板之間構(gòu)成的石墨板間距逐漸增大。
[0015]作為本實(shí)用新型的石墨舟的一種優(yōu)選方案，自石墨舟兩側(cè)至中部，所述相鄰石墨板之間構(gòu)成的石墨板間距逐漸減小。
[0016]如上所述，本實(shí)用新型的石墨舟，具有以下有益效果:所述石墨舟的石墨片為非等間距設(shè)計(jì)，可以根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)相應(yīng)位置的石墨板間距，使得每個(gè)間隔之內(nèi)的鍍膜氣體分布盡量均勻，保證鍍膜工藝過(guò)程中鍍膜的膜厚比較均勻，避免了不良品的出現(xiàn)；所述石墨舟的整體寬度不發(fā)生變化，不影響生產(chǎn)時(shí)進(jìn)出舟，無(wú)需重新調(diào)整配方；根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整相應(yīng)位置的石墨板間距時(shí)，變更的組裝材料參數(shù)僅為一部分陶瓷環(huán)的長(zhǎng)度、一部分石墨塊的寬度及一部分陶瓷棒的長(zhǎng)度，石墨板及后續(xù)整個(gè)石墨舟的組裝方法不變，整個(gè)改造調(diào)整過(guò)程操作方便，簡(jiǎn)單易行。

【附圖說(shuō)明】

[0017]圖1a顯不為現(xiàn)有石墨舟的立體結(jié)構(gòu)不意圖。
[0018]圖1b顯示為圖1a的左視圖。
[0019]圖2a顯示為本實(shí)用新型的石墨舟的一端側(cè)視圖。
[0020]圖2b?2c顯示為本實(shí)用新型另一實(shí)施例中的石墨舟的一端側(cè)視圖。
[0021]圖2d?2e顯示為本實(shí)用新型另一實(shí)施例中的石墨舟的一端側(cè)視圖。
[0022]元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0023]10、20石墨板
[0024]11,24陶瓷棒
[0025]12、23陶瓷環(huán)
[0026]13、25石墨螺母
[0027]14石墨塊
[0028]15、26支腳
[0029]21第一石墨塊
[0030]22第二石墨塊
[0031]Cl1第一石墨板間距
[0032]d2第二石墨板間距
[0033]d3第三石墨板間距
[0034]Ill第一石墨塊的寬度
[0035]h2第二石墨塊的寬度
[0036]h3石墨板的寬度
[0037]L陶瓷環(huán)的長(zhǎng)度

【具體實(shí)施方式】
[0038]以下通過(guò)特定的具體實(shí)例說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型還可以通過(guò)另外不同的【具體實(shí)施方式】加以實(shí)施或應(yīng)用，本說(shuō)明書中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)也可以基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在沒(méi)有背離本實(shí)用新型的精神下進(jìn)行各種修飾或改變。
[0039]請(qǐng)參閱圖2a至圖2e。須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。
[0040]實(shí)施例1
[0041]請(qǐng)參閱圖2a，圖2a為本實(shí)用新型的石墨舟的一端側(cè)視圖。本實(shí)用新型提供一種石墨舟，所述石墨舟至少包括:若干個(gè)非等間距排列的石墨板20 ;若干個(gè)用于隔離所述相鄰石墨板20的陶瓷環(huán)23 ;若干個(gè)用于串接所述石墨板20與相應(yīng)陶瓷環(huán)23的陶瓷棒24。
[0042]具體的，所述所述石墨舟包含至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第一石墨板間距Cl1、至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第三石墨板間距(13以及至少一由其他相鄰石墨板構(gòu)成的第二石墨板間距d2;所述第一石墨板間距d 1、第二石墨板間距d2以及第三石墨板間距d 3至少兩者不相等。如圖2a所示，優(yōu)選地，本實(shí)施例中，第一石墨板間距Cl1與第二石墨板間距d 2相等，且小于第三石墨板間距d3。
[0043]需要說(shuō)明的是，所述第一石墨板間距Cl1、第二石墨板間距d2以及第三石墨板間距d3的分布包含但不僅限于圖2a所示的情況，所述第一石墨板間距Cl1、第二石墨板間距(12以及第三石墨板間距d3的位置可以根據(jù)實(shí)際工藝情況進(jìn)行不同的調(diào)整。
[0044]需要進(jìn)一步說(shuō)明的是，由于要保證石墨舟的整體寬度不發(fā)生變化，不影響生產(chǎn)時(shí)進(jìn)出舟，進(jìn)而避免重新調(diào)整配方，在對(duì)石墨舟進(jìn)行石墨板間距調(diào)整的時(shí)候，在減小某一區(qū)域石墨板間距的同時(shí)，應(yīng)在某一合適的區(qū)域增大相應(yīng)的石墨板間距。
[0045]具體的，所述陶瓷環(huán)23的長(zhǎng)度L與對(duì)應(yīng)的石墨板間距相等。在調(diào)整不同位置的石墨板間距的基礎(chǔ)上，對(duì)應(yīng)區(qū)域的陶瓷環(huán)的長(zhǎng)度也應(yīng)作出相應(yīng)的調(diào)整，始終保持陶瓷環(huán)23的長(zhǎng)度L與對(duì)應(yīng)的石墨板間距相等。
[0046]具體的，所述石墨舟還至少包含若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)奇數(shù)列石墨板的第一石墨塊21，若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)偶數(shù)列石墨板的第二石墨塊22。
[0047]具體的，所述每塊石墨塊的寬度等于其寬度范圍內(nèi)所有石墨板間距與石墨板的寬度之和。由于所述石墨舟中包含若干個(gè)第一石墨塊21和若干個(gè)第二石墨塊22，所述石墨塊用于連結(jié)相應(yīng)的石墨板，因此，每塊石墨塊的寬度均應(yīng)等于其寬度范圍內(nèi)所有石墨板間距與石墨板的寬度之和。如圖2a所示，第一石墨塊21的寬度Ill等于第二石墨板間距d2、第三石墨板間距d3以及石墨板的寬度h 3三者之和，即h 1= d2+d3+h3，第二石墨塊22的寬度h2等于2倍的第三石墨板間距d 3加上石墨板的寬度h 3，即h2= 2*d 3+h3o每塊石墨塊的寬度，與其寬度范圍內(nèi)所對(duì)應(yīng)的石墨板間距及石墨板的寬度有關(guān)，因此，在調(diào)整不同位置的石墨板間距的基礎(chǔ)上，同時(shí)要對(duì)對(duì)應(yīng)區(qū)域內(nèi)的石墨塊的寬度也應(yīng)作出相應(yīng)的調(diào)整。
[0048]具體的，所述用于串接所述石墨板20與相應(yīng)陶瓷環(huán)23的陶瓷棒均應(yīng)大于或等于所串接的石墨板20的寬度匕和陶瓷環(huán)23的長(zhǎng)度L之和；所述用于串接所述石墨板20與相應(yīng)石墨塊的陶瓷棒均應(yīng)大于或等于所串接的石墨板20的寬度匕和石墨塊的寬度之和。
[0049]具體的，由于所述用于串接所述石墨板20與相應(yīng)陶瓷環(huán)23的陶瓷棒，以及用于串接所述奇數(shù)列石墨板與所述第一石墨塊21的陶瓷棒的長(zhǎng)度均與石墨舟的寬度有關(guān)，而在本實(shí)施例中，石墨舟寬度不變的情況下，所述用于串接所述石墨板20與相應(yīng)陶瓷環(huán)23的陶瓷棒，以及用于串接所述奇數(shù)列石墨板與所述第一石墨塊21的陶瓷棒的長(zhǎng)度為一固定值，不隨著不同石墨板間距位置及大小的調(diào)整而變化，而所述用于串接所述偶數(shù)列石墨板與所述第二石墨塊22的陶瓷棒，其長(zhǎng)度會(huì)受到不同石墨板間距位置及大小調(diào)整的影響，因此，在調(diào)整不同位置石墨板間距的基礎(chǔ)上，如果所述用于串接所述偶數(shù)列石墨板與所述第二石墨塊22的陶瓷棒長(zhǎng)度范圍內(nèi)所有石墨板間距之和發(fā)生變化，所述用于串接所述偶數(shù)列石墨板與所述第二石墨塊22的陶瓷棒的長(zhǎng)度也應(yīng)隨著做出相應(yīng)的變化。
[0050]需要說(shuō)明的是，由于在石墨舟長(zhǎng)度方向兩端均設(shè)置有石墨塊和陶瓷棒，因此，在更換所述石墨塊和陶瓷棒時(shí)，需要同時(shí)更換相應(yīng)位置的石墨塊和陶瓷棒。
[0051]需要進(jìn)一步說(shuō)明的時(shí)，所述用于串接所述偶數(shù)列石墨板與所述第二石墨塊22的陶瓷棒在所述石墨舟長(zhǎng)度方向兩端各有兩根，故在需要更換的時(shí)候，需要同時(shí)更換四根。
[0052]具體的，所述陶瓷棒通過(guò)石墨螺母25固定在相應(yīng)的石墨板上，在所述石墨舟的底部，還設(shè)置有起到支撐整個(gè)石墨舟作用的支腳26。
[0053]實(shí)施例2
[0054]請(qǐng)參閱圖2b?2c，本實(shí)施例中所述石墨舟與實(shí)施例1中石墨舟的結(jié)構(gòu)基本相同，二者的區(qū)別主要在于:
[0055]所述第一石墨板間距Cl1、第二石墨板間距d2以及第三石墨板間距d3三者之間互不相等。優(yōu)選地，本實(shí)施例中，所述第一石墨板間距Cl1小于所述第二石墨板間距d2，所述第二石墨板間距d2小于所述第三石墨板間距d3。更為優(yōu)選地，本實(shí)施例中所述石墨舟包含至少兩個(gè)由相鄰石墨板構(gòu)成的第一石墨板間距屯和至少兩個(gè)由相鄰石墨板構(gòu)成的第三石墨板間距d3o
[0056]具體的，如圖2b所示，所述第一石墨板間距屯位于石墨舟外側(cè)，所述第三石墨板間距(13位于石墨舟中部，所述第二石墨板間距d2位于第一石墨板間距1和第三石墨板間距d3之間。
[0057]具體的，如圖2c所示，所述第一石墨板間距屯位于石墨舟中部，所述第三石墨板間距(13位于石墨舟外側(cè)，所述第二石墨板間距d2位于第一石墨板間距1和第三石墨板間距d3之間。
[0058]需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例中包含但不僅限于如圖2b和圖2c所示的第一石墨板間距Cl1、第二石墨板間距d2以及第三石墨板間距d3三者之間位置分布的結(jié)構(gòu)，本實(shí)施例中還應(yīng)包含其他所有第一石墨板間距Cl1、第二石墨板間距d2以及第三石墨板間距d3三者之間位置分布的結(jié)構(gòu)。
[0059]實(shí)施例3
[0060]請(qǐng)參閱圖2d?2e，本實(shí)施例中所述石墨舟與實(shí)施例1和實(shí)施例2中石墨舟的結(jié)構(gòu)基本相同，二者的區(qū)別主要在于:
[0061]本實(shí)施例中，自石墨舟兩側(cè)至中部，所述相鄰石墨板之間構(gòu)成的石墨板間距互不相等。
[0062]具體的，如圖2d所示，自石墨舟兩側(cè)至中部，所述相鄰石墨板之間構(gòu)成的石墨板間距逐漸增大。
[0063]具體的，如圖2e所示，自石墨舟兩側(cè)至中部，所述相鄰石墨板之間構(gòu)成的石墨板間距逐漸減小。
[0064]綜上所述，本實(shí)用新型提供一種石墨舟，所述石墨舟的石墨片為非等間距設(shè)計(jì)，可以根據(jù)實(shí)際情況調(diào)節(jié)相應(yīng)位置的石墨板間距，使得每個(gè)間隔之內(nèi)的鍍膜氣體分布盡量均勻，保證鍍膜工藝過(guò)程中鍍膜的膜厚比較均勻，避免了不良品的出現(xiàn)；所述石墨舟的整體寬度不發(fā)生變化，不影響生產(chǎn)時(shí)進(jìn)出舟，無(wú)需重新調(diào)整配方；根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整相應(yīng)位置的石墨板間距時(shí)，變更的組裝材料參數(shù)僅為一部分陶瓷環(huán)的長(zhǎng)度、一部分石墨塊的寬度及一部分陶瓷棒的長(zhǎng)度，石墨板及后續(xù)整個(gè)石墨舟的組裝方法不變，整個(gè)改造調(diào)整過(guò)程操作方便，簡(jiǎn)單易行。
[0065]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種石墨舟，其特征在于，所述石墨舟至少包含: 若干個(gè)非等間距排列的石墨板； 若干個(gè)用于隔離相鄰石墨板的陶瓷環(huán)； 若干個(gè)用于串接石墨板與相應(yīng)陶瓷環(huán)的陶瓷棒； 自石墨舟外側(cè)至中央間具有至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第一石墨板間距、至少一由相鄰石墨板構(gòu)成的第三石墨板間距以及至少一由其他相鄰石墨板構(gòu)成的第二石墨板間距，其中第一石墨板間距與第二石墨板間距相等，且均小于第三石墨板間距。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:包含: 若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)奇數(shù)列石墨板的第一石墨塊； 若干個(gè)設(shè)置于石墨舟長(zhǎng)度方向兩端、用于連結(jié)偶數(shù)列石墨板的第二石墨塊； 若干個(gè)用于串接前述石墨板或相應(yīng)石墨塊的陶瓷棒。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述第一石墨板間距位于石墨舟外側(cè)，所述第三石墨板間距位于石墨舟中部，所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述第一石墨板間距位于石墨舟中部，所述第三石墨板間距位于石墨舟外側(cè)，所述第二石墨板間距位于第一石墨板間距和第三石墨板間距之間。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于:所述第三石墨板間距至少具有2個(gè)。
【文檔編號(hào)】H01L21-673GK204281858SQ201420128815
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