專利名稱：鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空鍍膜機(jī)，特別是公開一種非導(dǎo)電介質(zhì)薄膜鍍鋅鋁的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，應(yīng)用于電子元器件、包裝材料的鍍膜。
見附

圖1，整機(jī)實(shí)行電腦控制，起重架5-2吊起整卷塑料薄膜，裝入傳膜架5的儲膜架上，經(jīng)主軸4將塑料薄膜移至傳膜架5的收卷棍上；冷凍柜3起動，通過管件進(jìn)入主軸4作循環(huán)運(yùn)動，使主軸4冷卻至-10℃；設(shè)在主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括主軸4、冷凍柜3、屏蔽支架21在內(nèi)，通過滾輪在底架1的軌道上向前行進(jìn)，使傳膜架5、屏蔽支架21和傳膜架5上的塑料薄膜分別進(jìn)入真空室6的卷繞室16和鍍膜室19，推緊密封后停止工作；同時，設(shè)在副機(jī)架2-1上的加熱控制箱18和與其固定的蒸發(fā)舟17帶著鋅鍋17-1、鋁鍋17-2通過滾輪沿軌道進(jìn)入鍍膜室19，此時的鋅鍋17-1溫度恒定在515℃±10，350mm±10/s速度送絲；鋁鍋17-2溫度恒定在1500℃±10，推進(jìn)至密封位置后停止推進(jìn)，使鋅、鋁蒸發(fā)成氣體；打開閥門10、10-1，第一真空系統(tǒng)啟動，第二真空系統(tǒng)啟動，抽取真空室6的空氣成真空，鍍膜室19達(dá)-4×10-4，卷繞室16達(dá)-6×10-2，關(guān)閉閥門10、10-1保壓，主軸4轉(zhuǎn)動，以8m/s速度轉(zhuǎn)動，收卷棍開始收卷，先在塑料薄膜上鍍鋁后，再在鋁膜上鍍鋅，中間根據(jù)尺寸要求，按產(chǎn)品要求設(shè)定的時間，起動屏蔽支架21，遮住塑料薄膜，鋁、鋅無法著床，鋅鋁膜被切斷，得到塑料薄膜上被間隔切斷的整卷鋅鋁薄膜；打開閥門10、10-1真空室6進(jìn)入空氣，恢復(fù)大氣壓力，主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括主軸4、冷凍柜3、屏蔽支架21在內(nèi)通過滾輪在底架1的軌道上向后行進(jìn)，使傳膜架5、屏蔽支架21和傳膜架5上的塑料薄膜退出真空室6的卷繞室16和鍍膜室19，同時冷凍柜3冷凍機(jī)停止工作，起動冷凍柜3的加熱裝置，加熱主軸至常溫，由打開的真空室6的右邊，根據(jù)需要加入鋁后，進(jìn)入下一個工作循環(huán)。
另外，在蒸發(fā)過程中，現(xiàn)有技術(shù)對于產(chǎn)品留邊加厚發(fā)現(xiàn)有偏差，必須停車調(diào)整，而本發(fā)明在鋅鍋上增設(shè)一套位置自動調(diào)整裝置。
實(shí)施例2見附圖1，第二真空系統(tǒng)為一臺增壓泵12，由管道、閥門10-1連通真空室6的卷繞室16，另一端通過管道連接羅茨泵14、滑閥泵15，滑閥泵15的另一端與大氣相通，其余與實(shí)施例1相同，不再作重復(fù)敘述；實(shí)施例3見附圖1，蒸發(fā)舟17上帶著的鋅鍋17-1不工作，按鋁鍋17-2溫度恒定在1500℃±10，塑料薄膜上鍍鋁，其余與實(shí)施例1相同，不再作重復(fù)敘述。
權(quán)利要求
1.一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括卷繞室(16)、鍍膜室(19)和網(wǎng)絡(luò)板(20)組成的真空室(6)，擴(kuò)散泵(7)、閥門(10)、羅茨泵(11)、(9)、滑閥泵(8)組成第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二抽真空系統(tǒng)以及蒸發(fā)源，其特征在于所述的第二抽真空系統(tǒng)采用非冷凝捕集泵，是由滑閥泵(15)、羅茨泵(14)、一個增壓泵(12)或二個增壓泵(12)、(13)、閥門(10-1)依次串聯(lián)連接、二個增壓泵相互并聯(lián)，然后與上述其他元件串聯(lián)連接，組成第二抽真空系統(tǒng)，第二抽真空系統(tǒng)接通真空室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，其特征在于所述蒸發(fā)源的鋅鍋上設(shè)有一套位置自動調(diào)整裝置。
全文摘要
本發(fā)明為一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括由卷繞室、鍍膜室和網(wǎng)絡(luò)板組成的真空室，由擴(kuò)散泵、羅茨泵、滑閥泵及閥門組成第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二抽真空系統(tǒng)以及蒸發(fā)源，其特征在于所述的第二抽真空系統(tǒng)采用非冷凝捕集泵，是由滑閥泵、羅茨泵、一個增壓泵或二個增壓泵和閥門依次串聯(lián)連接，二個增壓泵相互并聯(lián)，然后與上述其他元件串聯(lián)連接，組成第二抽真空系統(tǒng)。本發(fā)明的有益效果是真空室中的第二抽真空系統(tǒng)取代了冷阱，克服了使用冷阱存在的工藝要求和運(yùn)行成本都高的缺陷。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)設(shè)備國產(chǎn)化、使整機(jī)造價降低、提高了工作效果，使鋅鋁鍍膜產(chǎn)品達(dá)到先進(jìn)水平。
文檔編號C23C14/14GK1455015SQ03116389
公開日2003年11月12日 申請日期2003年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月14日
發(fā)明者唐玉宇, 奚順明 申請人:上海奧移電器有限公司