專(zhuān)利名稱(chēng)：激光加工裝置和激光加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用激光對(duì)電路板上電子零件的電路構(gòu)成物質(zhì)作修整，以調(diào)整電子零件電氣特性的激光修整器、用激光在電子零件上刻印的激光標(biāo)識(shí)器等所使用的激光加工裝置和激光加工方法，尤其是涉及一種激光加工位置正確，可以對(duì)銅箔等導(dǎo)電體進(jìn)行激光加工的激光加工裝置。
根據(jù)圖6說(shuō)明激光加工裝置現(xiàn)有例。
圖6中，波長(zhǎng)為1064nm的YAG棒激光振蕩器41所發(fā)的輸出激光42，經(jīng)反射鏡43反射后轉(zhuǎn)向，并入射到選色鏡44。選色鏡44具有使輸出激光42反射，后面敘述的紅色波長(zhǎng)照明光透過(guò)的作用，因而入射到選色鏡44的輸出激光42經(jīng)選色鏡44反射，入射到X掃描鏡47。X掃描鏡47由X電流掃描器45在X方向上往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，因而入射到X掃描鏡47的輸出激光42在X方向掃描的同時(shí)，變化90°方向反射，入射到Y(jié)掃描鏡48。Y掃描鏡48由Y電流掃描器46在Y方向上往復(fù)移動(dòng)，因而入射到Y(jié)掃描鏡48的輸出激光42在Y方向掃描的同時(shí)，變化90°方向反射，入射到fθ透鏡49。fθ透鏡49具有使輸出激光42的1064nm波長(zhǎng)與后述照明光的紅色波長(zhǎng)這兩種波長(zhǎng)的光在平面上成像的作用。因而，輸出激光42可以會(huì)聚到具有被加工物電子零件51的電路板50上的前述掃描位置。而且，通過(guò)上述X方向與Y方向的掃描，以及未圖示振蕩控制裝置對(duì)激光振蕩器41的振蕩控制，對(duì)所需位置進(jìn)行激光加工。
但這樣就會(huì)有X電流掃描器45、Y電流掃描器46、X掃描鏡47、Y掃描鏡48因動(dòng)作過(guò)程發(fā)熱而掃描位置變化這種溫漂現(xiàn)象所造成的誤差，加上電路板50上的電子零件51的裝配位置也有偏差，因而激光加工位置發(fā)生誤差，所以由識(shí)別攝像機(jī)52識(shí)別被加工物電子零件51的應(yīng)激光加工位置，根據(jù)所識(shí)別的位置由未圖示的位置修正裝置進(jìn)行位置修正。
要識(shí)別這種位置，首先由鹵素?zé)?4照明電路板50。這種鹵素?zé)?4發(fā)出的光遍及可見(jiàn)光全域，照明電路板50，經(jīng)反射后入射fθ透鏡49。通過(guò)這種fθ透鏡49的光接著通過(guò)Y掃描鏡48、X掃描鏡47，而且所述選色鏡44僅讓可見(jiàn)光全域中的紅色光通過(guò)。通過(guò)選色鏡44的鹵素?zé)?4的前述紅色光由成像透鏡53在識(shí)別攝像機(jī)52上成像，按照該識(shí)別攝像機(jī)52上的成像來(lái)識(shí)別位置，再根據(jù)該識(shí)別信息修正激光加工位置。
但是，問(wèn)題在于選色鏡44透過(guò)的紅色光有幾十nm的波長(zhǎng)帶寬，fθ透鏡49的成像因該波長(zhǎng)帶寬造成的色像差使邊緣部分模糊，80mm×80mm圖像的邊緣部分無(wú)法維持所要求的10μm識(shí)別精度。
還有這種問(wèn)題，即若為了避免色像差而使用帶通濾波器的話，識(shí)別攝像機(jī)52的受光量就不足，要彌補(bǔ)這種不足則需要數(shù)kW的鹵素?zé)?4，其發(fā)熱難處理。
而且，要獲得可以避免上述色像差的fθ透鏡49，有其設(shè)計(jì)困難，透鏡片數(shù)增加，減反膜設(shè)計(jì)也復(fù)雜，因而價(jià)格高的問(wèn)題。
此外，現(xiàn)有例還有對(duì)銅箔等導(dǎo)電體的修整加工較困難這種問(wèn)題。
本發(fā)明目的在于提供一種解決上述問(wèn)題，可以以10μm識(shí)別精度進(jìn)行位置識(shí)別和位置修正，且能夠加工銅箔的激光加工裝置和激光加工方法。
本申請(qǐng)第一發(fā)明的激光加工裝置，為了解決上述課題，其特征在于具有激光光源；將激光作為加工激光，會(huì)聚于被加工物表面的會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)；將與所述加工激光相同波長(zhǎng)的激光用作照明激光，照明所述被加工物表面的照明光學(xué)系統(tǒng)；通過(guò)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)，接收所述被加工物反射的照明激光，以識(shí)別位置的攝像裝置。
本申請(qǐng)第二發(fā)明的激光加工裝置，為了解決上述課題，其特征在于，在第一發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，加工激光和照明激光是同一激光光源發(fā)出的激光。
本申請(qǐng)第三發(fā)明的激光加工裝置，為了解決上述課題，其特征在于，在第一或第二發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，照明激光從被加工物反射再通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)到達(dá)位置識(shí)別攝像裝置的光路，和加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路的交點(diǎn)處，具有半透過(guò)反射鏡或偏振鏡。
本申請(qǐng)第四發(fā)明的激光加工裝置，為了解決上述課題，其特征在于，在第一或第二發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，具有一光路選擇裝置，對(duì)于照明激光從被加工物反射再通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)到達(dá)位置識(shí)別攝像裝置的光路，和加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路，有選擇地遮斷某一光路，維持另一光路。
本申請(qǐng)第五發(fā)明的激光加工裝置，為了解決上述課題，其特征在于，在第一、第二、第三或第四發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，照明光學(xué)系統(tǒng)具有光纖和使所通過(guò)的光散射的光散射板。
本申請(qǐng)第六發(fā)明的激光加工裝置，為解決上述課題，其特征在于，在第一、第二、第三、第四或第五發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，激光光源是在YAG棒諧振器內(nèi)配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，輸出二次諧波激光的激光光源。
本申請(qǐng)第七發(fā)明的激光加工裝置，為解決上述課題，其特征在于，在第六發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，具有將二次諧波激光光路切換為照明激光用或加工激光用的光路切換裝置。
本申請(qǐng)第八發(fā)明的激光加工裝置，為解決上述課題，其特征在于，在第一、第二、第三、第四或第五發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，激光光源在YAG棒諧振器中配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，在兩個(gè)方向上輸出二次諧波激光，將某一二次諧波激光用作加工激光，而另一二次諧波激光用作照明激光。
本申請(qǐng)第九發(fā)明的激光加工方法，為了解決上述課題，其特征在于，在會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)使加工激光會(huì)聚于被加工物的狀態(tài)下進(jìn)行激光加工，照明光學(xué)系統(tǒng)利用與所述加工激光相同波長(zhǎng)的照明激光照明所述被加工物，攝像裝置通過(guò)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)，接收所述被加工物反射的所述照明激光，識(shí)別應(yīng)進(jìn)行激光加工的位置，根據(jù)該識(shí)別結(jié)果修正激光與被加工物之間的相對(duì)位置。
本申請(qǐng)第十發(fā)明的激光加工方法，為了解決上述課題，其特征在于，采用波長(zhǎng)為250nm～600nm的加工激光，對(duì)導(dǎo)電體進(jìn)行修整加工。
本申請(qǐng)第十一發(fā)明的激光加工方法，為解決上述課題，其特征在于，在第十發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，導(dǎo)電體是銅或銀。
本申請(qǐng)第十二發(fā)明的激光加工方法，為解決上述課題，其特征在于，在第十或第十一發(fā)明構(gòu)成的基礎(chǔ)上，修整加工是對(duì)被加工物的電感進(jìn)行調(diào)整。
本申請(qǐng)的第一、第九發(fā)明的激光加工裝置與激光加工方法，照明采用單一波長(zhǎng)的照明激光，因而位置識(shí)別攝像裝置所識(shí)別的圖像沒(méi)有色像差，位置識(shí)別精度高，在130mm×130mm的圖像邊緣部分仍能確保如前所述現(xiàn)有技術(shù)所達(dá)不到的10μm識(shí)別精度。
而且，現(xiàn)有技術(shù)中由于使用的fθ透鏡必須對(duì)應(yīng)于具有數(shù)十nm波長(zhǎng)帶寬的照明光，還必須使2種波長(zhǎng)的光成像，因而有fθ透鏡的透鏡個(gè)數(shù)增加，減反膜的設(shè)計(jì)復(fù)雜，價(jià)格高這種問(wèn)題。但本申請(qǐng)第一、第九發(fā)明的激光加工裝置和激光加工方法與此不同，由于將同一波長(zhǎng)的激光用作加工和照明，會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)可以只對(duì)一個(gè)單一波長(zhǎng)進(jìn)行成像，所以設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，費(fèi)用不高，而且小型化。
本申請(qǐng)第二發(fā)明的激光加工裝置，通過(guò)使加工激光和照明激光采用同一激光源發(fā)出的激光，可以使裝置簡(jiǎn)化。
本申請(qǐng)第三發(fā)明的激光加工裝置，照明激光從被加工物反射、通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)到達(dá)位置識(shí)別攝像裝置的光路，和加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路兩者的交點(diǎn)處，具有半透過(guò)反射鏡或偏振鏡，從而可以一邊由加工激光進(jìn)行加工，一邊使位置識(shí)別攝像裝置動(dòng)作，識(shí)別激光加工狀態(tài)。
本申請(qǐng)第四發(fā)明的激光加工裝置，具有一光路選擇裝置，對(duì)于照明激光從被加工物反射、通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)、到達(dá)攝像裝置的光路，和加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路，有選擇地遮斷某一光路，維持另一光路，因而可以利用加工激光的加工停止時(shí)間使攝像裝置動(dòng)作，識(shí)別激光加工狀態(tài)。
本申請(qǐng)第五發(fā)明的激光加工裝置，照明光學(xué)系統(tǒng)具有光纖和使所通過(guò)的光散射的光散射板，因而照射激光經(jīng)過(guò)光纖時(shí)喪失空間相干性，又經(jīng)光散射板散射后，變成沒(méi)有空間相干性的照明激光。
本申請(qǐng)第六發(fā)明的激光加工裝置，激光光源在YAG棒諧振器內(nèi)配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，輸出二次諧波激光，由此可以獲得對(duì)銅的反射率小，適合加工銅箔的532nm波長(zhǎng)加工激光。
本申請(qǐng)第七發(fā)明的激光加工裝置，有將二次諧波激光光路切換為照明激光用或加工激光用的光路切換裝置，因而可以將相同單一波長(zhǎng)激光用作加工激光和照明激光。
本申請(qǐng)第八發(fā)明的激光加工裝置，激光光源在YAG棒諧振器內(nèi)配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，在兩個(gè)方向上輸出二次諧波激光，將某一二次諧波用作加工激光，另一二次諧波用作照明激光，因而可使相同單一波長(zhǎng)激光用于加工激光和照明激光的機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)化。
按照本申請(qǐng)第十以及第十一發(fā)明的激光加工方法，對(duì)銅、銀等導(dǎo)電體，尤其是對(duì)銅這種激光反射率通常較大，激光加工比較困難的導(dǎo)電體，通過(guò)采用波長(zhǎng)在250nm～600nm范圍的激光，就可以利用銅等導(dǎo)電體對(duì)該范圍光的反射率較小，使銅箔等的修整加工成為可能。
按照本申請(qǐng)第十二發(fā)明的激光加工方法，使現(xiàn)有技術(shù)激光加工方法中所不能的對(duì)被加工物電感的修整成為可能，由此能夠調(diào)整由導(dǎo)電體圖案所形成的被加工物電感。


圖1是示意本發(fā)明第一實(shí)施例與第二實(shí)施例共同的主要部分的斜視圖。
圖2是本發(fā)明第一實(shí)施例的斜視圖。
圖3是本發(fā)明第二實(shí)施例的斜視圖。
圖4是示出本發(fā)明另一實(shí)施例光路的示意圖。
圖5是示出本發(fā)明又一實(shí)施例光路的示意圖。
圖6是現(xiàn)有例的斜視圖。
根據(jù)圖1、圖2說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施例。
示出本實(shí)施例主要部分的圖1中，由未圖示的激光振蕩器發(fā)出的輸出激光(加工激光)7a先入射到X掃描鏡13上。X掃描鏡13由X電流掃描器11在X方向上如箭頭所示往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，因而入射到X掃描鏡13的輸出激光7a隨X方向掃描，變化90°方向進(jìn)行反射后，入射到Y(jié)掃描鏡14。Y掃描鏡14由Y電流掃描器12在Y方向上如箭頭所示往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)，因而入射到Y(jié)掃描鏡14的輸出激光7a隨Y方向掃描，變化90°方向進(jìn)行反射后，入射到fθ透鏡15。fθ透鏡15具有在平面上使532nm波長(zhǎng)的輸出激光7a(如后面敘述的那樣采用YAG激光的二次諧波)成像的作用。因而輸出激光7a在會(huì)聚狀態(tài)下在具有被加工物電子零件17的電路板16的掃描位置上進(jìn)行掃描。而且，通過(guò)上述X方向和Y方向的掃描，以及未圖示的振蕩控制裝置對(duì)激光諧振器的振蕩控制，只對(duì)所需位置進(jìn)行激光加工。
例如電路板16裝配各種零件之后，通過(guò)激光加工進(jìn)行修整加工，調(diào)整電阻R、電抗L、電容C。
具體來(lái)說(shuō)，殼體31內(nèi)安裝具有修整部分32的電子零件17，安裝結(jié)束之后，靠激光加工對(duì)該電子零件17的修整部分32進(jìn)行修整，從而調(diào)整電感。這種修整，加工時(shí)所要求的位置識(shí)別精度為10μm，而且要求可以對(duì)銅箔加工。
本實(shí)施例中，如后面所述，為了達(dá)到要求位置識(shí)別精度10μm，采用沒(méi)有色像差產(chǎn)生的單一波長(zhǎng)的照明激光，為了能夠?qū)︺~箔加工，將對(duì)銅的光反射率比較小的波長(zhǎng)范圍250nm～600nm以內(nèi)的532nm激光用作加工激光。
為此，必須使激光沒(méi)有空間相干性，避免照明產(chǎn)生干涉條紋。因而，首先要將與前述輸出激光7a相同波長(zhǎng)的輸出激光(照明激光)7b通過(guò)透鏡34入射到光纖束22中。該光纖束22纏繞在光纖環(huán)22a上，在該光纖環(huán)22a的底面上大致均勻并排構(gòu)成前述光纖束22的多根光纖22b的終端口，使這些光纖22b終端口發(fā)出的輸出激光7b再通過(guò)透過(guò)光隨機(jī)折射的玻璃等光散射板23，照射到電路板16上。這樣，輸出激光7b通過(guò)光纖束22時(shí)經(jīng)多重反射，逐步失去空間相干性，而且還通過(guò)光散射板23，所以沒(méi)有空間相干性，即使前述輸出激光7a是直線偏振的激光，也能用作照明光。
fθ透鏡15使輸出激光7b波長(zhǎng)的光在平面上成像，所以前述完全沒(méi)有了空間相干性的輸出激光7b照射到電路板16。
如圖2所示，激光振蕩器包括NdYAG棒1；配置于NdYAG棒1一端，全反射波長(zhǎng)1064nm光的后反射鏡2；配置于NdYAG棒1另一端，作為全反射波長(zhǎng)1064nm光，讓波長(zhǎng)532nm光透過(guò)的選色鏡的折回反射鏡9；配置于該折回反射鏡9的反射方向，全反射波長(zhǎng)1064nm光，讓波長(zhǎng)532nm光透過(guò)的輸出反射鏡3；配置于NdYAG棒1與后反射鏡2之間，使激光振蕩為1kHz～5kHz左右的脈沖的聲光Q開(kāi)關(guān)元件4；配置于折回反射鏡9與輸出反射鏡3之間，采用非線性光學(xué)晶體將波長(zhǎng)1064nm的激光波長(zhǎng)變換為波長(zhǎng)532nm的二次諧波激光的波長(zhǎng)變換元件5；激勵(lì)燈6。
激勵(lì)燈6激勵(lì)NdYAG棒1，使聲光Q開(kāi)關(guān)元件4動(dòng)作，就可由輸出反射鏡3和折回反射鏡9同時(shí)輸出一脈沖頻率是1kHz～5kHz、脈沖寬度是100ns～200ns、約1W連續(xù)脈沖所組成的直線偏振的輸出激光7a和輸出激光7b。輸出反射鏡3出射的輸出激光7a入射到立方偏振器10。立方偏振器10使輸入的直線偏振的輸出激光7a全反射。該全反射的輸出激光7a便是圖1的輸出激光7a。
從折回反射鏡9出射的輸出激光7b就是圖1的輸出激光7b，它由透鏡34會(huì)聚入射到光纖束22。
入射到光纖束22的輸出激光7b如圖1說(shuō)明所述，照明電路板16。接下來(lái)，電路板16反射的照明激光(輸出激光)7b通過(guò)fθ透鏡15、Y掃描反射鏡14和X掃描反射鏡13后成像。立方偏振器10讓沒(méi)有直線偏振的照明激光7b通過(guò)，所以可以用識(shí)別攝像機(jī)(攝像裝置)18，經(jīng)成像透鏡19，通過(guò)立方偏振器10識(shí)別前述成像。
這樣，所采用的輸出激光7a、7b的波長(zhǎng)都是532nm，fθ透鏡15實(shí)現(xiàn)對(duì)同一單一波長(zhǎng)的成像，透鏡枚數(shù)便減少，防反射涂層簡(jiǎn)單、便宜。而且是可見(jiàn)光，眼睛看得見(jiàn)，因而安全，識(shí)別攝像機(jī)18等可使用一般光學(xué)器材，不但便宜而且靈敏度好，沒(méi)有色像差，所以識(shí)別精度提高，在130mm×130mm圖像邊緣部分也能確保前述所需的10μm識(shí)別精度。
而且，加工激光的輸出激光7a波長(zhǎng)為532nm，落在對(duì)銅等導(dǎo)電體反射率較小的波長(zhǎng)范圍250nm～600nm以內(nèi)，所以能夠?qū)︺~箔等加工。
接下來(lái)，根據(jù)圖1、圖3說(shuō)明本發(fā)明第二實(shí)施例。
表示本實(shí)施例主要部分的圖1與第1實(shí)施例相同，故省略說(shuō)明。
圖3表示在圖1所示的構(gòu)成上裝配有本實(shí)施例振蕩波長(zhǎng)532nm激光的激光振蕩器和識(shí)別攝像機(jī)18的狀態(tài)。圖3中，激光振蕩器包括NdYAG棒1；配置于NdYAG棒1一端，使波長(zhǎng)1064nm光全反射的后反射鏡2；配置于NdYAG棒1另一端，使波長(zhǎng)1064nm光全反射，讓波長(zhǎng)532nm光透過(guò)的輸出反射鏡3；配置于NdYAG棒1與后反射鏡2之間，使激光振蕩為1kHz～5kHz左右脈沖的聲光Q開(kāi)關(guān)元件4；配置于YAG棒1與輸出反射鏡3之間，采用非線性光學(xué)晶體使波長(zhǎng)1064nm的激光波長(zhǎng)變換為波長(zhǎng)532nm的二次諧波激光的波長(zhǎng)變換元件5；激勵(lì)燈6。
由激勵(lì)燈6激勵(lì)NdYAG棒1，使聲光Q開(kāi)關(guān)元件動(dòng)作，便可以從輸出反射鏡3輸出一種脈沖頻率1kHz～5kHz，脈沖寬度100～200ns左右，約1W連續(xù)脈沖構(gòu)成的直線偏振的輸出激光7c。輸出反射鏡3出射的輸出激光7c靠反射鏡8使方向改變90°后，入射到立方偏振器10。立方偏振器10將入射的直線偏振的輸出激光7c全反射。這種全反射的輸出激光7c便是圖1輸出激光(加工激光)7a。以下，與圖1有關(guān)的說(shuō)明和第一實(shí)施例相同，故省略。
為了把輸出反射鏡3出射的輸出激光7c用作圖1的輸出激光7b(照明激光)，設(shè)置一在反射鏡8與立方偏振器10之間往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)反射鏡20作為光路切換裝置。移動(dòng)反射鏡20通過(guò)往復(fù)移動(dòng)，周期性地反射輸出激光7c，由透鏡34使反射的輸出激光7c入射到光纖束22。該移動(dòng)反射鏡20所反射的輸出激光7c就成為圖1所示的輸出激光7b。以下，與圖1有關(guān)的說(shuō)明和第一實(shí)施例相同，故省略。
在本實(shí)施例的情況下，利用移動(dòng)反射鏡20將一束輸出激光7c用作加工激光和照明激光，因而加工和位置識(shí)別無(wú)法同時(shí)進(jìn)行，節(jié)奏較慢，但除此之外，可以獲得與第一實(shí)施例相同的效果。
本發(fā)明的激光加工裝置和激光加工方法，除了把同一波長(zhǎng)的激光用作加工激光和照明激光，以及把波長(zhǎng)250nm～600nm的激光用于銅箔等的加工這些特征以外，不限于上述實(shí)施例，可以有種種形式。例如，激光振蕩器不限于如同實(shí)施例采用NdYAG晶體，也可以采用兩個(gè)激光光源。識(shí)別攝像機(jī)18所識(shí)別的照明光的分離方法，作為實(shí)施例采用立方偏振器10的替代，還可以如圖4所示，采用移動(dòng)全反射鏡35作為光路選擇裝置，也可以如圖5所示，采用半透過(guò)反射鏡36。
根據(jù)本發(fā)明的激光加工裝置和激光加工方法，由于照明采用激光，所以無(wú)色像差，攝像裝置得到的圖像識(shí)別精度高，可確保130mm×130mm的圖像邊緣有10μm的識(shí)別精度，不僅可進(jìn)行高精度的激光加工，而且會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)可以只對(duì)單一波長(zhǎng)進(jìn)行成像，所以設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、便宜，并且具有小型化的效果。
本發(fā)明的激光加工裝置通過(guò)加工激光和照明激光采用相同激光光源發(fā)出的激光，達(dá)到使裝置簡(jiǎn)化的效果。
此外，根據(jù)本發(fā)明的激光加工方法，通過(guò)采用波長(zhǎng)250nm～600nm的加工激光，對(duì)銅箔等導(dǎo)電體進(jìn)行修整加工，從而，對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)不能加工的導(dǎo)電體，達(dá)到能夠進(jìn)行修整加工這一效果。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，其特征在于包括激光光源；將激光作為加工激光會(huì)聚于被加工物表面的會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)；將與所述加工激光相同波長(zhǎng)的激光用作照明激光，照明所述被加工物表面的照明光學(xué)系統(tǒng)；通過(guò)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)，接收所述被加工物反射的照明激光，進(jìn)行位置識(shí)別的攝像裝置。
2.如權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于，加工激光和照明激光是同一激光光源發(fā)出的激光。
3.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，照明激光從被加工物反射、通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)、到達(dá)位置識(shí)別攝像裝置的光路，同加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路兩者交點(diǎn)處，具有半透過(guò)反射鏡或偏振鏡。
4.如權(quán)利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于，具有一光路選擇裝置，對(duì)于照明激光從被加工物反射、通過(guò)會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)、到達(dá)位置識(shí)別攝像裝置的光路，和加工激光到達(dá)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)的光路，有選擇地遮斷某一光路，維持另一光路。
5.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的激光加工裝置，其特征在于，照明光學(xué)系統(tǒng)具有光纖和使所通過(guò)的光散射的光散射板。
6.如權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的激光加工裝置，其特征在于，激光光源在YAG諧振器內(nèi)配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，輸出二次諧振激光。
7.如權(quán)利要求6所述的激光加工裝置，其特征在于，具有一光路切換裝置，將二次諧波激光光路切換為照明激光用光路或加工激光用光路。
8.如權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的激光加工裝置，其特征在于，激光光源在YAG棒諧振器內(nèi)配置非線性光學(xué)晶體作為波長(zhǎng)變換元件，在兩個(gè)方向上輸出二次諧波激光，將其中一二次諧波激光用作加工激光，另一二次諧波激光用作照明激光。
9.一種激光加工方法，其特征在于，由會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)在加工激光會(huì)聚于被加工物的狀態(tài)下進(jìn)行激光加工，由照明光學(xué)系統(tǒng)以與所述加工激光相同波長(zhǎng)的照明激光對(duì)所述被加工物照明，由攝像裝置通過(guò)所述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)接收由所述被加工物反射的所述照明激光，識(shí)別應(yīng)作激光加工的位置，根據(jù)此識(shí)別結(jié)果，修正激光與被加工物的相對(duì)位置。
10.一種激光加工方法，其特征在于采用波長(zhǎng)為250nm～600nm的加工激光對(duì)導(dǎo)電體作修整加工。
11.如權(quán)利要求10所述的激光加工方法，其特征在于導(dǎo)電體為銅或銀。
12.如權(quán)利要求10或11所述的激光加工方法，其特征在于，修整加工是對(duì)被加工物的電感作修整。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以高精度進(jìn)行激光加工的激光加工裝置。該裝置包括激光光源；將激光作為加工激光會(huì)聚于被加工物(17)表面的會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)(11～15)；將與前述加工激光(7a)相同波長(zhǎng)的激光用作照明激光，照明前述被加工物(17)表面的照明光學(xué)系統(tǒng)(34、22、22a、22b、23)；通過(guò)前述會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)，接收前述被加工物(17)反射的照明激光(7b)，進(jìn)行位置識(shí)別的攝像裝置。
文檔編號(hào)B23K26/00GK1117421SQ9510521
公開(kāi)日1996年2月28日 申請(qǐng)日期1995年4月26日 優(yōu)先權(quán)日1994年4月26日
發(fā)明者栗山勝裕, 岡田俊治, 植杉雄二, 持田省郎, 山口和羲 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社