技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種激光加工裝置，其可以將反射型空間光調(diào)制器的反射面上的激光的像在聚光光學(xué)系統(tǒng)的入射光瞳面高精度地傳像。該裝置具備：支撐臺；激光振蕩器；反射型空間光調(diào)制器(410)；聚光透鏡單元(430)；一對透鏡(422、423)，其構(gòu)成空間光調(diào)制器(410)的反射面和聚光透鏡單元(430)的入射光瞳面(430a)處于成像關(guān)系的兩側(cè)遠心光學(xué)系統(tǒng)；二向色鏡(403)。從空間光調(diào)制器(410)到達反射鏡(403)的激光L的光路以沿著規(guī)定的平面的方式設(shè)定。從反射鏡(403)到達聚光透鏡單元(430)的激光L的光路以沿著與該平面交叉的方向的方式設(shè)定?？臻g光調(diào)制器(410)將激光L沿著該平面以銳角反射。

技術(shù)研發(fā)人員：奧間惇治;長尾光洋;伊崎泰則
受保護的技術(shù)使用者：浜松光子學(xué)株式會社
文檔號碼：201720101992
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.26
技術(shù)公布日：2017.10.31