技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種基于錳銅合金微納敏感單元的切削力測量裝置，在刀片和刀墊之間設(shè)有切削力測量單元，切削力測量單元的形狀、尺寸與刀片、刀墊匹配，切削力測量單元為三明治結(jié)構(gòu)，分別為上、下氧化鋁絕緣層和中間器件層，中間器件層的內(nèi)部集成有基于錳銅合金材料的敏感電阻，銅電極和引線電路的一端與基于錳銅合金材料的敏感電阻連通，另一端與切削力測量單元側(cè)面的金屬焊盤連通，從而使基于錳銅合金材料的敏感電阻與信號處理電路中的固定電阻連接構(gòu)成惠斯通測量電橋，切削力測量單元采用MEMS技術(shù)進(jìn)行加工，本發(fā)明具有兼容性好、通用性強(qiáng)、測量精度高的優(yōu)點。

技術(shù)研發(fā)人員：趙友;趙玉龍;葛曉慧;李瑩雪;張琪;李村;劉明杰;趙云
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安交通大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.15
技術(shù)公布日：2017.11.07