技術(shù)總結(jié)
一種改進(jìn)型靶材爐設(shè)備，屬于靶材邦定技術(shù)領(lǐng)域。該設(shè)備爐體的一側(cè)設(shè)置爐門，爐體內(nèi)設(shè)置加熱基臺(tái)，加熱基臺(tái)內(nèi)設(shè)有用于控溫的加熱裝置和溫度檢測(cè)儀，加熱基臺(tái)上連接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方設(shè)置有加壓板，加壓板的上端連接位于爐體外的手動(dòng)加壓閥，爐體內(nèi)部與外置的真空泵連通。本發(fā)明人工操作程序簡(jiǎn)單，靶材邦定效率提高；經(jīng)過計(jì)算焊接的面積和銦球質(zhì)量，可以確保銦料的利用率在98％以上；抽真空可以有效減少靶材和基板中間的空氣和水蒸氣，可以確保焊接的面積在97％以上；熟練工人靶材邦定的合格率達(dá)到100％。

技術(shù)研發(fā)人員：張磊;顧正;張曉峰;郭校亮;陳良杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：青島藍(lán)光晶科新材料有限公司
文檔號(hào)碼：201710004218
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.04
技術(shù)公布日：2017.05.31