本發(fā)明屬于靶材邦定技術領域，特別涉及一種改進型靶材爐設備及靶材邦定方法。

背景技術：

靶材的邦定設備是由加熱帶，加壓螺桿組成，能夠滿足市場的需求，但是工藝比較粗糙，容易出現(xiàn)邦定孔隙，會給后續(xù)產(chǎn)品的使用帶來風險。

另外，要求普通的靶材一般使用銦球焊接，來降低制造成本。但是，由于銦的熔點低，制造過程中如果溫度控制過高，會使銦的液態(tài)承壓順縫隙流出。因此，如何通過溫度和壓力控制來解決燒結合格率低、后期使用風險高的問題是靶材邦定方法的核心技術。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是克服以上現(xiàn)有技術的不足，提供一種操作簡單、燒結合格率高的改進型靶材爐設備。本發(fā)明的另一目的是提供一種利用該靶材爐進行靶材邦定的方法。

本發(fā)明為實現(xiàn)上述目的所采用的技術方案是：一種改進型靶材爐設備，其特征在于：爐體的一側設置爐門，爐體內設置加熱基臺，加熱基臺內設有用于控溫的加熱裝置和溫度檢測儀，加熱基臺上連接用于放置靶材的靶材基板，靶材基板的正上方設置有加壓板，加壓板的上端連接位于爐體外的手動加壓閥，爐體內部與外置的真空泵連通。

所述加壓板的長度與寬度分別不小于靶材基板的長度與寬度，加壓板的材質為不銹鋼、鋁、聚四氟乙烯、銅中的一種或幾種組合。

所述手動加壓閥為兩個，手動加壓閥的下端分別連接于加壓板的兩端。

所述加熱基臺與靶材基板之間為螺栓連接

所述加熱基臺的工作溫度為150～160℃。

所述真空泵的工作壓強為0.5～100Pa。

一種利用改進型靶材爐設備進行靶材邦定方法，其特征在于：具體包括以下步驟：

1)先在靶材基板上安裝模具，并進行固定；

2)將銦球放置于模具內并均勻鋪平；

3)將靶材放置于銦球上，并與模具貼緊，固定，確保加溫加壓的過程中不會產(chǎn)生位移；

4)利用手動加壓閥下移加壓板，確保加壓板與靶材貼緊鎖定，關閉爐門；

5)開啟真空泵，設定設備的真空腔室工作壓強；

6)設定壓力值，使靶材基板與靶材之間的壓強始終維持在一定值，開啟升溫功能，使加熱基臺升溫至一定值；

7)待溫度穩(wěn)定達到一段時間后，關閉電源，卸除加壓板的壓力；

待溫度下降到一定值后破除真空，打開爐門，取出焊接好的靶材進行檢驗。

所述步驟5)中真空腔的工作壓強為0.5～100Pa。

所述步驟6)中靶材基板與靶材之間的壓強始終維持在0.5～3MPa，加熱基臺(3)升溫至150～160℃。

所述步驟7)中維持溫度穩(wěn)定的時間為0.3～0.6H，破除真空的臨界溫度為110～130℃。

本發(fā)明人工操作程序簡單，靶材邦定效率提高；經(jīng)過計算焊接的面積和銦球質量，可以確保銦料的利用率在98％以上；抽真空可以有效減少靶材和基板中間的空氣和水蒸氣，可以確保焊接的面積在97％以上；熟練工人靶材邦定的合格率達到100％。

附圖說明

圖1為一種改進型靶材爐設備的結構示意圖。

圖中：1、爐體，2、爐門，3、加熱基臺，4、靶材基板，5、靶材，6、加壓板，7、真空泵，8、手動加壓閥。

具體實施方式

以下結合附圖對本發(fā)明做進一步說明，但發(fā)明并不限于具體實施例。

實施例1

如圖1所示的一種改進型靶材爐設備，爐體1的一側設置爐門2，爐體1內設置加熱基臺3，加熱基臺3內設有用于控溫的加熱裝置和溫度檢測儀，加熱基臺3上螺栓連接用于放置靶材5的靶材基板4，靶材基板4的正上方設置有不銹鋼材質的加壓板6，加壓板6的長度與寬度分別不小于靶材基板4的長度與寬度，加壓板6的上端連接位于爐體1外的手動加壓閥8，手動加壓閥8為兩個，手動加壓閥8的下端分別連接于加壓板6的兩端，爐體1內部與外置的真空泵7連通。

實施例2

一種利用實施例1中所述的改進型靶材爐設備進行靶材邦定的方法：具體包括以下步驟：

1)先在靶材基板4上安裝模具，并進行固定；

2)將銦球放置于模具內并均勻鋪平；

3)將靶材5放置于銦球上，并與模具貼緊，固定，確保加溫加壓的過程中不會產(chǎn)生位移；

4)利用手動加壓閥8下移加壓板6，確保加壓板6與靶材5貼緊鎖定，關閉爐門2；

5)開啟真空泵7，將設備的真空腔室抽至10Pa；

6)設定壓力值，使靶材基板4與靶材5之間的壓強始終維持在2MPa左右；開啟升溫功能，使加熱基臺3升溫至156℃；

7)待溫度穩(wěn)定時間達到0.5H以后，關閉電源，卸除加壓板6的壓力；

8)待溫度下降到130℃后，破除真空，打開爐門2，取出焊接好的靶材進行檢驗。

實施例3

本實施例中所述的一種改進型靶材爐設備的各部分結構與實施例1中相同，不同的技術參數(shù)為：加壓板6的材質為聚四氟乙烯。

實施例4

本實施例為利用實施例3中所述的一種改進型靶材爐設備進行靶材邦定的方法，具體步驟均與實施例2中相同，不同的技術參數(shù)為：步驟5)中真空腔的工作壓強為0.5Pa；步驟6)中靶材基板4與靶材5之間的壓強始終維持在0.5MPa，加熱基臺3升溫至150℃；所述步驟7)中維持溫度穩(wěn)定的時間為0.3H，破除真空的臨界溫度為110℃。

實施例5

本實施例中所述的一種改進型靶材爐設備的各部分結構與實施例1中相同，不同的技術參數(shù)為：加壓板6的材質為銅鋁合金。

實施例6

本實施例為利用實施例5中所述的一種改進型靶材爐設備進行靶材邦定的方法，具體步驟均與實施例2中相同，不同的技術參數(shù)為：步驟5)中真空腔的工作壓強為100Pa；步驟6)中靶材基板4與靶材5之間的壓強始終維持在3MPa，加熱基臺3升溫至160℃；所述步驟7)中維持溫度穩(wěn)定的時間為0.6H，破除真空的臨界溫度為120℃。

以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征，本領域的技術人員應該了解本發(fā)明不受上述實施例的限制，上述的實施例和說明書描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入本發(fā)明要求保護的范圍內，本發(fā)明要求保護范圍由所附的權利要求書和等效物界定。