本實用新型涉及半導體制造、LED及光通訊技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種激光切割機用激光噴嘴。
背景技術(shù):
直接覆銅陶瓷基板(DBC)在圖形蝕刻完成后,需要用CO2激光機將大板分割成單枚產(chǎn)品。切割時激光的高溫使切割處陶瓷融溶并產(chǎn)生瓷粉向各個方向濺射。盡管激光噴嘴處有壓縮空氣將瓷粉吹走,但仍有部分瓷粉濺射到激光噴嘴出口端面處并沉積在此。這部分瓷粉會阻擋激光的正常輸出,使激光能量發(fā)生變化,最后影響到瓷片切割的深度深淺不一致,造成切割不良。
現(xiàn)在常用的激光噴嘴出口處端面是平面的,表面只是經(jīng)過正常的機械加工,仍無法減少瓷粉的在其表面的沉積。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種用于減少激光噴嘴出口端面處瓷粉沉積的方法,以保證切割過程中,瓷粉不阻擋激光的正常輸出,使激光能量不發(fā)生變化,瓷片切割深度保持均勻,提高產(chǎn)品良率。
為了達到上述目的,本實用新型提供了一種激光切割機用激光噴嘴,所述的激光噴嘴的外周設有與激光切割機相匹配的安裝件,該激光噴嘴形成一貫穿的通道,所述的激光噴嘴的本體呈圓錐狀,其端面直徑Φ為4~10mm,該激光噴嘴出口端的端面呈外周部向中心部下沉的圓角狀,其圓角半徑R為2~6mm。
優(yōu)選地,所述的激光噴嘴出口端的端面呈光滑鏡面狀。
優(yōu)選地,所述的激光噴嘴內(nèi)的通道呈與所述激光噴嘴的本體相匹配的圓錐狀,該通道的錐度≤該本體的錐度。
優(yōu)選地,所述的激光噴嘴出口端形成承臺結(jié)構(gòu)。
本實用新型的有益效果是,對激光嘴的結(jié)構(gòu)進行了改進,將激光噴的出口端端面設計成圓角狀,可減少瓷粉濺射時與激光嘴接觸面積,從而減少瓷粉沉積量切割時瓷粉在激光噴嘴端面處的沉積,減少了瓷粉對激光輸出的影響,以保證切割過程中,激光能量不發(fā)生變化,瓷片切割深度保持均勻,提高產(chǎn)品良率。
附圖說明
圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
其中:
1-激光噴嘴 11-安裝件 12-承臺結(jié)構(gòu)
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例,對本實用新型做進一步說明。
實施例1:
如圖1所示的一種激光切割機用激光噴嘴,所述的激光噴嘴1的外周設有與激光切割機相匹配的安裝件11,該激光噴嘴1形成一貫穿的通道,其特征在于,所述的激光噴嘴1的本體呈圓錐狀,其端面直徑Φ為4~10mm,該激光噴嘴1出口端的端面呈外周部向中心部下沉的圓角狀,其圓角半徑R為2~6mm。
所述的激光噴嘴1出口端的端面呈光滑鏡面狀。
所述的激光噴嘴1內(nèi)的通道呈與所述激光噴嘴1的本體相匹配的圓錐狀,該通道的錐度≤該本體的錐度。
所述的激光噴嘴1出口端形成承臺結(jié)構(gòu)12。
以上已對本實用新型創(chuàng)造的較佳實施例進行了具體說明,但本實用新型創(chuàng)造并不限于所述的實施例,熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實用新型創(chuàng)造精神的前提下還可以作出種種的等同的變型或替換,這些等同變型或替換均包含在本申請權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。