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一種微型低溫等離子微控式噴嘴的制作方法

文檔序號:10465864閱讀:570來源:國知局
一種微型低溫等離子微控式噴嘴的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及等離子體技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種微型低溫等離子微控式噴嘴。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體在化學工業(yè)中的真正應用是在20世紀50年代以后。聯(lián)邦德國赫斯和赫司特化工廠于50年代成功地從甲烷和其他烴類在氫等離子體中熱解制取乙炔。此后,美國、蘇聯(lián)和日本都相應地建造了等離子體制乙炔的實驗工廠。此法流程簡單,對原料適應性強,但電耗偏高,限制了它的大規(guī)模推廣。60年代,美國離子弧公司以鋯英砂為原料在直流電弧等離子體中一步裂解制備氧化鋯。70年代末,中國以硼砂和尿素為原料,在直流電弧等離子體中制備高純六方氮化硼粉,該法具有產(chǎn)品純度高、成本低、工藝流程簡單等優(yōu)點。此外,還可利用等離子技術(shù)生產(chǎn)二氧化鈦。等離子體需要有良好的控制效果,只是采用通管式并不能達到精確控制的效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,設(shè)計合理、使用方便的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,它采用調(diào)節(jié)塊與卡塊的設(shè)置能起到調(diào)節(jié)連接的作用,保證連塊與噴嘴之間的連接,具有良好控制效果,且它具有使用方便,操作簡單,實用性好,成本低廉等特點。
[0004]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0005]本實用新型所述的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,包括噴嘴、陶瓷絕緣體和連接管口,所述噴嘴后端連接有陶瓷絕緣體,所述陶瓷絕緣體后端設(shè)置有連接管口,所述噴嘴后端設(shè)置有調(diào)節(jié)塊和連塊,所述調(diào)節(jié)塊與連塊卡接在一起,所述調(diào)節(jié)塊與連塊設(shè)置在陶瓷絕緣體內(nèi),所述連接管口卡接有電極,所述電極設(shè)置在陶瓷絕緣體內(nèi),所述調(diào)節(jié)塊外圍包著卡塊,所述卡塊與噴嘴連接。
[0006]所述調(diào)節(jié)塊內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有微濾通管,所述卡塊中心設(shè)置有中濾管,通過側(cè)面的微濾通管與中濾管的設(shè)置,交錯型結(jié)構(gòu)能夠保證卡接過濾,能夠通過變化調(diào)節(jié)塊與卡塊距離來調(diào)節(jié)通過量,達到控制效果。
[0007]所述卡塊兩端設(shè)置有彈性塊,彈性塊的設(shè)置能夠保證卡塊與噴嘴之間的彈性連接,防止硬性連接帶來的磨損污染。
[0008]所述電極設(shè)置有錐斜面,所述錐斜面設(shè)置在電極與連接管口交界處,錐斜面的設(shè)置能夠保證氣體的連通性,防止氣體流通過程中形成死體積,保證使用過程中氣流的穩(wěn)定性,保證等離子的穩(wěn)定性。
[0009]采用上述結(jié)構(gòu)后,本實用新型有益效果為:本實用新型它采用調(diào)節(jié)塊與卡塊的設(shè)置能起到調(diào)節(jié)連接的作用,保證連塊與噴嘴之間的連接,具有良好控制效果;采用卡塊與調(diào)節(jié)塊的交錯連接,能夠起到交錯微濾設(shè)置,能夠?qū)⑼ㄟ^孔隙來保證流量控制;且它具有使用方便,操作簡單,實用性好,成本低廉等特點。
【附圖說明】
[00?0]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0011]附圖標記說明:
[0012]1、噴嘴;2、調(diào)節(jié)塊;2-1、微濾通管;2-2、卡塊;2_3、中濾塊;2_4、彈性塊;3、連塊;4、陶瓷絕緣體;5、電極;6、連接管口; 7、錐斜面。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的說明。
[0014]如圖1所示,本實用新型所述的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,包括噴嘴1、陶瓷絕緣體4和連接管口 6,所述噴嘴I后端連接有陶瓷絕緣體4,所述陶瓷絕緣體4后端設(shè)置有連接管口 6,所述噴嘴I后端設(shè)置有調(diào)節(jié)塊2和連塊3,所述調(diào)節(jié)塊2與連塊3卡接在一起,所述調(diào)節(jié)塊2與連塊3設(shè)置在陶瓷絕緣體4內(nèi),所述連接管口 6卡接有電極5,所述電極5設(shè)置在陶瓷絕緣體4內(nèi),所述調(diào)節(jié)塊2外圍包著卡塊2-2,所述卡塊2-2與噴嘴I連接。
[0015]所述調(diào)節(jié)塊2內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有微濾通管2-1,所述卡塊2-2中心設(shè)置有中濾管2-3,通過側(cè)面的微濾通管與中濾管的設(shè)置,交錯型結(jié)構(gòu)能夠保證卡接過濾,能夠通過變化調(diào)節(jié)塊與卡塊距離來調(diào)節(jié)通過量,達到控制效果。
[0016]所述卡塊2-2兩端設(shè)置有彈性塊2-4,彈性塊的設(shè)置能夠保證卡塊與噴嘴之間的彈性連接,防止硬性連接帶來的磨損污染。
[0017]所述電極5設(shè)置有錐斜面7,所述錐斜面7設(shè)置在電極5與連接管口6交界處,錐斜面的設(shè)置能夠保證氣體的連通性,防止氣體流通過程中形成死體積,保證使用過程中氣流的穩(wěn)定性,保證等離子的穩(wěn)定性。
[0018]本實用新型它采用調(diào)節(jié)塊與卡塊的設(shè)置能起到調(diào)節(jié)連接的作用,保證連塊與噴嘴之間的連接,具有良好控制效果;采用卡塊與調(diào)節(jié)塊的交錯連接,能夠起到交錯微濾設(shè)置,能夠?qū)⑼ㄟ^孔隙來保證流量控制;且它具有使用方便,操作簡單,實用性好,成本低廉等特點。
[0019]以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式,故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾,均包括于本實用新型專利申請范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種微型低溫等離子微控式噴嘴,其特征在于:它包括噴嘴(I)、陶瓷絕緣體(4)和連接管口(6),所述噴嘴(I)后端連接有陶瓷絕緣體(4),所述陶瓷絕緣體(4)后端設(shè)置有連接管口(6),所述噴嘴(I)后端設(shè)置有調(diào)節(jié)塊(2)和連塊(3),所述調(diào)節(jié)塊(2)與連塊(3)卡接在一起,所述調(diào)節(jié)塊(2 )與連塊(3 )設(shè)置在陶瓷絕緣體(4 )內(nèi),所述連接管口( 6 )卡接有電極(5),所述電極(5)設(shè)置在陶瓷絕緣體(4)內(nèi),所述調(diào)節(jié)塊(2)外圍包著卡塊(2-2),所述卡塊(2-2)與噴嘴(I)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,其特征在于:所述調(diào)節(jié)塊(2 )內(nèi)兩側(cè)設(shè)置有微濾通管(2-1 ),所述卡塊(2-2 )中心設(shè)置有中濾管(2-3 )。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,其特征在于:所述卡塊(2-2)兩端設(shè)置有彈性塊(2-4)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微型低溫等離子微控式噴嘴,其特征在于:所述電極(5)設(shè)置有錐斜面(7),所述錐斜面(7)設(shè)置在電極(5)與連接管口(6)交界處。
【專利摘要】本實用新型具體涉及一種微型低溫等離子微控式噴嘴,它包括噴嘴、陶瓷絕緣體和連接管口,所述噴嘴后端連接有陶瓷絕緣體,所述陶瓷絕緣體后端設(shè)置有連接管口,所述噴嘴后端設(shè)置有調(diào)節(jié)塊和連塊,所述調(diào)節(jié)塊與連塊卡接在一起,所述調(diào)節(jié)塊與連塊設(shè)置在陶瓷絕緣體內(nèi),所述連接管口卡接有電極,所述電極設(shè)置在陶瓷絕緣體內(nèi),所述調(diào)節(jié)塊外圍包著卡塊,所述卡塊與噴嘴連接。本實用新型它采用調(diào)節(jié)塊與卡塊的設(shè)置能起到調(diào)節(jié)連接的作用,保證連塊與噴嘴之間的連接,具有良好控制效果,且它具有使用方便,操作簡單,實用性好,成本低廉等特點。
【IPC分類】H05H1/26
【公開號】CN205378333
【申請?zhí)枴緾N201620024446
【發(fā)明人】李志強, 焦金萍
【申請人】深圳市方瑞科技有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2016年1月12日
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