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一種去除金屬表面陶瓷涂層的高能短脈沖激光加工方法與流程

文檔序號(hào):12735852閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種去除金屬表面陶瓷涂層的高能短脈沖激光加工方法,其特征在于:將金屬材料置于真空環(huán)境或氬氣保護(hù)氣氛下,利用高能短脈沖激光的兩種直徑的聚焦光斑輻照,分別采用不同方法對(duì)面積大于20mm×10mm和面積小于10mm×5mm的金屬表面陶瓷涂層區(qū)域進(jìn)行去除。對(duì)于面積大于20mm×10mm的表面陶瓷涂層區(qū)域采用如下工藝步驟:

(1)將含表面涂層的金屬基體固定在銅模上,并置于真空環(huán)境或氮?dú)獗Wo(hù)氣氛下,采用直徑為Φ10mm~Φ25mm的圓形聚焦光斑輻照,激光脈沖寬度1ns~50ns,頻率1Hz~10Hz,激光光束與涂層表面的夾角為45°~90°,峰值功率密度達(dá)到1MW/cm2以上,光斑搭接率≤30%,當(dāng)搭接率為0時(shí),相鄰兩個(gè)圓形光斑邊緣相切,光斑掃描方式為逐點(diǎn)掃描或逐層掃描,每4000~5000次激光照射后暫停,冷卻5min~15min后繼續(xù)激光照射,重復(fù)以上步驟直至涂層完全去除;

對(duì)于面積小于10mm×5mm的表面陶瓷涂層區(qū)域采用如下工藝步驟:

(2)將含表面涂層的金屬基體固定在銅模上,并置于真空環(huán)境或氮?dú)獗Wo(hù)氣氛下,采用直徑為Φ2mm~Φ4mm的圓形聚焦光斑輻照,激光脈沖寬度1ns~50ns,頻率1Hz~10Hz,激光光束與涂層表面的夾角為45°~90°,峰值功率密度達(dá)到40MW/cm2以上,光斑搭接率為30%~50%,光斑掃描方式為逐點(diǎn)掃描或逐層掃描,每4000~5000次激光照射后暫停,冷卻5min~15min后繼續(xù)激光照射,重復(fù)以上步驟直至涂層完全去除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種去除金屬表面陶瓷涂層的高能短脈沖激光加工方法,其特征在于,待處理的金屬材料為單晶高溫合金、高強(qiáng)鋼或鈦合金,去除的陶瓷涂層為純ZrO2或氧化物穩(wěn)定的ZrO2涂層,涂層厚度大于50μm。

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