技術總結
本發(fā)明公開了一種基于激光干涉原理的精密主軸回轉精度檢測分析方法，精密主軸回轉精度檢測光路包括用于安裝所需儀器的箱體，安裝于箱體中的激光發(fā)射器、4個光學凸透鏡、半透半反鏡、基準球以及CCD相機，部分激光光束將由方箱上的圓孔射出打在靶球上，所述靶球通過延伸桿安裝在精密主軸上。所述分析原理對CCD相機采集到的激光干涉圖樣進行分析，獲得精密主軸的轉速以及三向位移誤差。本發(fā)明方便用于工程檢測，無需誤差分離，能夠同時檢測精密主軸的轉速、軸向和徑向位移誤差，并且測量精度達到納米量級。

技術研發(fā)人員：洪軍;孫巖輝;劉志剛
受保護的技術使用者：西安交通大學
文檔號碼：201610806013
技術研發(fā)日：2016.09.06
技術公布日：2017.02.22