本發(fā)明總體上涉及激光加工領(lǐng)域，具體而言涉及用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法和系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

激光加工由于其精準(zhǔn)性以及極小的加工器具磨損而被越來越普遍地使用。近年來，隨著手機(jī)、平板計(jì)算機(jī)等大屏幕設(shè)備的興起，激光加工被越來越多地加工諸如薄玻璃之類的脆硬材料。

激光加工技術(shù)可分為冷激光加工技術(shù)和熱激光加工技術(shù)。

冷激光是指激光脈沖寬度在10皮秒以下或甚至飛秒級別的激光輻射，其中冷激光加工技術(shù)所基于的原理是，借助于冷激光輻射燒蝕靶材以產(chǎn)生高溫高壓等離子體，但是形成等離子體的照射時(shí)間小于為了將入射脈沖能量傳遞到周邊材料所需的照射時(shí)間，使得不會引起熱擴(kuò)散效應(yīng)。例如名稱為“激光切割玻璃的方法”的中國專利申請CN103964682A就公開了一種這樣的冷激光加工技術(shù)，其中脈寬在皮秒至飛秒范圍的激光器產(chǎn)生的激光束經(jīng)聚焦處理后入射至待切割的玻璃工件內(nèi)，激光束與玻璃工件按預(yù)先設(shè)定的路徑做相對移動，使焦點(diǎn)在玻璃工件的內(nèi)部形成由多個(gè)微裂點(diǎn)沿激光束掃射的路徑組成的切割層，最后施加外力于玻璃工件以使玻璃工件沿路徑撕開。

而熱激光是指連續(xù)波激光或者脈沖寬度高于10皮秒的激光輻射，其中熱激光加工技術(shù)所基于的原理是，熱激光輻射被聚焦到要加工的材料上，使得要么該材料直接吸收熱激光輻射的能量，要么熱激光輻射燒蝕靶材以產(chǎn)生高溫高壓等離子體，并且由于在熱激光的情況下，形成等離子體的照射時(shí)間大于為了將入射脈沖能量傳遞到周邊材料所需的照射時(shí)間，因此會在材料中引起熱擴(kuò)散效應(yīng)而產(chǎn)生熱，其中所產(chǎn)生的熱被用于熔化材料或在材料中產(chǎn)生熱應(yīng)力。例如名稱為“激光加 工方法和激光加工設(shè)備”的中國專利申請CN102814591A公開了一種這樣的熱激光加工技術(shù)，其中將激光入射到加工物的表面上并且附近聚光使得聚光點(diǎn)附近的加工物氣化或熔化，從而在切割起始面上形成起始熱去除區(qū)，然后在之前的熱去除區(qū)上繼續(xù)照射激光并聚光，使得聚光點(diǎn)附近的加工物氣化或熔化，從而形成后續(xù)熱去除區(qū)，并使后續(xù)熱去除區(qū)沿預(yù)定路徑連續(xù)分布從而形成后續(xù)熱去除線。

鑒于熱激光加工技術(shù)會在加工過程中產(chǎn)生大量的熱或熱應(yīng)力，從而易于產(chǎn)生過量或偏離的燒蝕或者出現(xiàn)不期望的熱應(yīng)力，因此熱激光加工技術(shù)的加工過程難于控制且加工精度不高，因而目前較普遍的做法是將熱激光加工技術(shù)與機(jī)械分離技術(shù)相結(jié)合以降低熱激光的使用量，或者在熱激光加工過程中采用液體快速冷卻技術(shù)以對抗所產(chǎn)生的熱或熱應(yīng)力，但這顯著增加了工藝復(fù)雜度和工藝成本。此外，熱激光加工技術(shù)由于所產(chǎn)生的大量的熱應(yīng)力而難以以高精度加工脆硬材料，因?yàn)檫@些熱應(yīng)力易于在脆硬材料中造成不期望的微裂縫，從而直接導(dǎo)致加工過程中脆硬材料的破裂或加工后脆硬材料在使用過程中的極易破裂。

冷激光加工技術(shù)由于在加工過程中不產(chǎn)生或產(chǎn)生極少熱或熱應(yīng)力而更適于加工脆硬材料。但是由于冷激光都是脈沖激光，如果冷激光脈沖停留于加工件的某個(gè)特定位置附近的時(shí)間過長，則冷激光加工技術(shù)在加工件中產(chǎn)生累積的熱同樣也會產(chǎn)生不可忽視的熱應(yīng)力。因此為了減少冷激光加工中的熱累積效應(yīng)，通常在時(shí)間域和/或空間域減少冷激光脈沖的間隔，和/或直接降低冷激光的脈沖能量。但是采用該方法減少冷激光加工中的熱累積效應(yīng)會降低加工效率和加工質(zhì)量，尤其是切割曲線路徑(例如曲率半徑小于10毫米)時(shí)難以控制脆硬材料沿切割曲線路徑分離/分裂。在切割曲線路徑時(shí)，切割速度必須大大降低以控制脆硬材料沿切割曲線路徑分離/分裂。但是大大降低的切割速度同時(shí)將增加熱累積及因此產(chǎn)生的熱應(yīng)力，難以保證切割面的質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的任務(wù)是，提供一種用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕(例如裁切、刮削或鉆孔)脆硬材料的方法和系統(tǒng)，利用所述方法或系統(tǒng)，可以以較低成本實(shí)現(xiàn)高的加工精度并同時(shí)實(shí)現(xiàn)高的加工效 率和加工質(zhì)量，尤其是在加工曲線以及曲面路徑時(shí)也能實(shí)現(xiàn)這些上述優(yōu)點(diǎn)。

在本發(fā)明的第一方面，該任務(wù)通過一種用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法來解決，該方法包括下列步驟：

提供第一激光輻射并且借助于第一激光輻射沿著去蝕脆硬材料的去蝕路徑照射脆硬材料；以及

提供第二激光輻射并且借助于第二激光輻射沿著所述去蝕路徑照射脆硬材料，

其中第一激光輻射是冷激光輻射和熱激光輻射之一并且第二激光輻射是冷激光輻射和熱激光輻射中另一。

根據(jù)本發(fā)明的該方法所基于的原理是，通過用冷激光沿著去蝕路徑照射脆硬材料，使得脆硬材料在去蝕路徑物理的部分的強(qiáng)度被弱化，另一方面，通過用熱激光沿著去蝕路徑照射脆硬材料，使得在脆性材料中產(chǎn)生熱應(yīng)力，當(dāng)該熱應(yīng)力達(dá)到一定閾值時(shí)，脆性材料將在熱應(yīng)力的作用下發(fā)生分裂/分離。在此應(yīng)當(dāng)指出，施加冷激光和熱激光的時(shí)間順序可以是可選擇的，即既可以先施加冷激光、再施加熱激光，也可以先施加熱激光、在施加冷激光，還可以同時(shí)施加冷激光和熱激光，這是因?yàn)橥ㄟ^冷激光對材料的弱化和通過熱激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力根據(jù)材料的不同有可能隨時(shí)間變化，因此冷激光和熱激光的施加順序可以根據(jù)工藝需要選擇決定。另外，施加冷激光和熱激光的空間順序也可以是可選擇的，即既可以將冷激光置于熱激光之后，也可以將熱激光置于冷激光之后，還可以使二者至少部分重合。

通過本發(fā)明使用冷激光和熱激光二者來去蝕脆硬材料，至少能夠?qū)崿F(xiàn)以下優(yōu)點(diǎn)：(1)提高加工精度并減少材料損傷，因?yàn)榕c純粹的熱激光加工方法相比在本發(fā)明的方法中產(chǎn)生更少的熱和熱應(yīng)力，從而避免了多余和不期望的燒蝕以及不期望的微裂縫生成，而且由于利用熱激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力來分離脆硬材料而不需要任何機(jī)械分離步驟，可以避免機(jī)械分離步驟帶來的材料損傷；(2)提高加工效率，因?yàn)榕c純粹的冷激光加工方法相比，在本發(fā)明的方法中通過利用熱激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力來分離脆硬材料，可以與依靠脈寬極短的冷激光分離材料相比更加迅速有效地去蝕材料；(3)降低加工成本，因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的方法取消了機(jī)械分離步驟，也不需要附加的冷卻裝置，而且控制流程相對 簡單快速與高效。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中規(guī)定，冷激光輻射是脈沖寬度在10皮秒以下的激光輻射，并且熱激光輻射是連續(xù)激光輻射或者脈沖寬度高于10皮秒的激光輻射。此外，將飛秒激光用作冷激光也是可設(shè)想的。

在本發(fā)明的另一擴(kuò)展方案中規(guī)定，第一激光輻射和第二激光輻射由同一激光器或不同激光器來提供。第一激光輻射和第二激光輻射可以具有不同波長。在第一激光輻射和第二激光輻射由同一激光器來提供的情況下，該激光器通過改變激光器的脈沖時(shí)長來在冷激光輻射和熱激光輻射之間切換。通過使用單個(gè)激光器，可以降低成本。但是使用不同激光器來分別提供冷激光輻射和熱激光輻射也是可設(shè)想的。

在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選方案中規(guī)定，第一激光輻射是冷激光輻射，并且第二激光輻射是熱激光輻射，其中該方法還包括：

將第一激光輻射和/或第二激光輻射入射到脆硬材料的作用面上以形成非圓形光斑，其中從激光與脆硬材料的作用面的表面法向上來看，非圓形光斑的長度方向與所述去蝕路徑重合。

通過該優(yōu)選方案，能夠在脆硬材料上(表面及內(nèi)部)產(chǎn)生最大化的能促進(jìn)脆硬材料沿去蝕路徑開裂的熱應(yīng)力和微裂紋，同時(shí)避免或顯著減小影響產(chǎn)品品質(zhì)的熱應(yīng)力和微裂紋的產(chǎn)生，從而顯著提高經(jīng)加工的脆硬材料的品質(zhì)并提高加工效率和加工精度。這是因?yàn)?，通過根據(jù)本發(fā)明利用冷或熱激光束的非圓形光斑切割脆硬材料并使非圓形光斑的長度方向與去蝕路徑從激光與脆硬材料的作用面的表面法向上來看重合，可以使非圓形光斑在脆硬材料中最大化地產(chǎn)生作用方向與去蝕路徑垂直的熱應(yīng)力以及沿著去蝕路徑延伸的微裂紋(未示出)，從而有利于在脆硬材料上(表面及內(nèi)部)產(chǎn)生最大化的能促進(jìn)脆硬材料沿去蝕路徑開裂的熱應(yīng)力和微裂紋并且最大限度地降低其它方向的熱應(yīng)力和微裂紋的產(chǎn)生及傳播，從而顯著提高經(jīng)加工的脆硬材料的品質(zhì)并提高加工效率和加工精度。在此應(yīng)當(dāng)指出，如果冷激光在要加工的材料上停留時(shí)間短，則不發(fā)熱或產(chǎn)生熱應(yīng)力，但是如果冷激光的作用時(shí)間較長，同樣會產(chǎn)生熱和熱應(yīng)力，因此本優(yōu)選方案適用于冷激光和熱激光二者，即可以使熱激光和/或熱激光的光斑為非圓形并使光斑長度方向與去蝕方向重合來提高加工效率和加工精度。

在本發(fā)明的另一優(yōu)選方案中規(guī)定，第一激光輻射是冷激光輻射， 并且第二激光輻射是熱激光輻射，其中借助于第一激光輻射沿著去蝕脆硬材料的去蝕路徑照射脆硬材料包括：借助于第一激光輻射沿去蝕路徑在脆硬材料中產(chǎn)生多個(gè)在脆硬材料的厚度方向上不連續(xù)的缺陷，其中所述缺陷定義切割線或切割面。

通過該優(yōu)選方案，可以以較高精度和低成本加工工件、尤其是三維曲面工件，這是因?yàn)橥ㄟ^在脆硬材料中產(chǎn)生多個(gè)在其厚度方向上不連續(xù)的缺陷以分離脆硬材料，可以避免純激光切割法的切割精度低的缺點(diǎn)，因?yàn)橥ㄟ^合適地空間分布所述缺陷，不僅可以減少燒蝕量并避免不必要的燒蝕，而且可以精確地定義各種形狀、例如曲線或曲面去蝕路徑，此外在空間分布的缺陷的情況下，材料的分離過程更加均勻和規(guī)則，而不易發(fā)生不期望的斷裂、損傷和損耗。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中規(guī)定，所述脆硬材料是下列各項(xiàng)之一：玻璃以及藍(lán)寶石。

在本發(fā)明的另一擴(kuò)展方案中規(guī)定，第一激光輻射在時(shí)間上和/或空間上處于第二激光輻射之前或之后，或者與第二激光輻射至少部分地重合。如前所述，冷激光和熱激光的時(shí)間和/或空間順序可以根據(jù)工藝需要來選擇。

在本發(fā)明的第二方面，該任務(wù)通過一種用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的系統(tǒng)來解決，該系統(tǒng)包括：

一個(gè)或多個(gè)激光器，其被配置為提供第一激光輻射和第二激光輻射；以及

移動裝置，其被配置為使所述一個(gè)或多個(gè)激光器和脆硬材料相對移動，使得借助于第一激光輻射沿著去蝕脆硬材料的去蝕路徑照射脆硬材料并且借助于第二激光輻射沿著所述去蝕路徑照射脆硬材料；

其中第一激光輻射是冷激光輻射和熱激光輻射之一并且第二激光輻射是冷激光輻射和熱激光輻射中另一。

借助于根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)，同樣可以實(shí)現(xiàn)結(jié)合根據(jù)本發(fā)明的方法所描述的優(yōu)點(diǎn)、即可以以較低成本實(shí)現(xiàn)高的加工精度并同時(shí)實(shí)現(xiàn)高的加工效率。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中規(guī)定，冷激光輻射是脈沖寬度在10皮秒以下的激光輻射，并且熱激光輻射是連續(xù)激光輻射或者脈沖寬度高于10皮秒的激光輻射。

在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選方案中規(guī)定，第一激光輻射是冷激光輻射，并且第二激光輻射是熱激光輻射，其中該系統(tǒng)還包括：

光學(xué)器件，其被配置為對第一激光輻射和/或第二激光輻射進(jìn)行光束成形，使得第一激光輻射和/或第二激光輻射入射到脆硬材料上所形成的光斑為非圓形；

其中所述移動裝置還被配置為移動所述一個(gè)或多個(gè)激光器、光學(xué)器件和/或脆硬材料，使得從激光與脆硬材料的作用面的表面法向上來看，非圓形光斑的長度方向與所述去蝕路徑重合。

通過該優(yōu)選方案可以顯著提高經(jīng)加工的脆硬材料的品質(zhì)并提高加工效率和加工精度。

在本發(fā)明的一個(gè)擴(kuò)展方案中規(guī)定，第一激光輻射在時(shí)間上和/或空間上處于第二激光輻射之前或之后，或者與第二激光輻射至少部分地重合。

在本發(fā)明的一個(gè)優(yōu)選方案中規(guī)定，移動裝置還被配置為將所述一個(gè)或多個(gè)激光器和脆硬材料在脆硬材料的厚度方向上相對移動，使得所述一個(gè)或多個(gè)激光器沿去蝕路徑在脆硬材料中產(chǎn)生多個(gè)在脆硬材料的厚度方向上不連續(xù)的缺陷，其中所述缺陷定義切割線或切割面。

通過該優(yōu)選方案，可以以較高精度和低成本加工工件、尤其是三維曲面工件。

附圖說明

圖1示出了在根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法中所使用的冷激光輻射和熱激光輻射的相對空間位置；

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例；以及

圖3示出了在根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法中所使用的冷激光輻射和熱激光輻射的時(shí)間順序。

具體實(shí)施方式

圖1示出了在根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射 去蝕脆硬材料的方法中所使用的冷激光輻射102和熱激光輻射101的相對空間位置。

在圖1中，用實(shí)線圓圈表示熱激光輻射101在脆硬材料的作用面上形成的光斑，并且用虛線圓圈表示冷激光輻射102在脆硬材料的作用面上形成的光斑。在此，應(yīng)當(dāng)指出，盡管熱激光輻射101和冷激光輻射102的光斑在此被示為圓形的，但是其它非圓形光斑也是可以設(shè)想的，例如橢圓形光斑(參見圖2)、長方形光斑以及組合光斑等等。

在圖1的A部分中示出了冷激光輻射102位于熱激光輻射101之前的情形，在圖1的B部分中示出了冷激光輻射102和熱激光輻射101部分重合的情形，而在圖1的C部分中示出了冷激光輻射102位于熱激光輻射101之后的情形，其中去蝕路徑是指借助于熱激光輻射101和冷激光輻射102去蝕(照射)脆硬材料的路徑、即冷激光輻射101和熱激光輻射102在脆硬材料上的移動方向。

為了實(shí)現(xiàn)圖1的A部分中的情形，例如可以使由第一激光器(未示出)發(fā)射的冷激光輻射102首先沿去蝕路徑照射脆硬材料(未示出)，然后在冷激光輻射102移動一定距離(大于或等于第一激光器沿去蝕路徑方向的光斑的長度)以后，再使由第二激光器(未示出)發(fā)射的熱激光輻射101沿該去蝕路徑照射脆硬材料。

為了實(shí)現(xiàn)圖1的B部分中的情形，例如可以使由第二激光器發(fā)射的冷激光輻射102沿去蝕路徑照射脆硬材料，然后幾乎同步地或在冷激光輻射102移動一小段距離(小于第二激光器沿去蝕路徑方向的光斑的長度)以后使由第一激光器發(fā)射的熱激光輻射101沿該去蝕路徑照射脆硬材料。或者(未示出)可以使由第一激光器發(fā)射的熱激光輻射101沿去蝕路徑照射脆硬材料，然后幾乎同步地或在熱激光輻射101移動一小段距離(小于第一激光器沿去蝕路徑方向的光斑的長度)以后，使由第二激光器發(fā)射的冷激光輻射102沿該去蝕路徑照射脆硬材料。

為了實(shí)現(xiàn)圖1的C部分中的情形，例如可以使由第二激光器發(fā)射的熱激光輻射101首先沿去蝕路徑照射脆硬材料，然后在熱激光輻射102移動一定距離以后(大于或等于第二激光器沿去蝕路徑方向的光斑的長度)，再使由第一激光器發(fā)射的冷激光輻射102沿該去蝕路徑照射脆硬材料。

在此應(yīng)當(dāng)指出，盡管在圖1中，冷激光輻射102和熱激光輻射101被示為由不同激光器同時(shí)發(fā)射的，但是在其它實(shí)施例中，冷激光輻射102和熱激光輻射101也可以是由同一激光器通過改變激光脈沖寬度在不同時(shí)間發(fā)射的。

通過本發(fā)明使用冷激光和熱激光二者來去蝕脆硬材料，至少能夠?qū)崿F(xiàn)以下優(yōu)點(diǎn)：(1)提高加工精度并減少材料損傷，因?yàn)榕c純粹的熱激光加工方法相比在本發(fā)明的方法中產(chǎn)生更少的熱和熱應(yīng)力，從而避免了多余和不期望的燒蝕以及不期望的微裂縫生成，而且由于利用熱激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力來分離脆硬材料而不需要任何機(jī)械分離步驟，可以避免機(jī)械分離步驟帶來的材料損傷；(2)提高加工效率，因?yàn)榕c純粹的冷激光加工方法相比，在本發(fā)明的方法中通過利用熱激光產(chǎn)生的熱應(yīng)力來分離脆硬材料，可以與依靠脈寬極短的冷激光分離材料相比更加迅速有效地去蝕材料；(3)降低加工成本，因?yàn)楦鶕?jù)本發(fā)明的方法取消了機(jī)械分離步驟，也不需要附加的冷卻裝置，而且控制流程相對簡單快速與高效。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法的一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。

在圖2中，熱激光輻射的光斑203被示為橢圓形的，其中橢圓形光斑203的長度方向204從激光與脆硬材料的作用面的表面法向上來看與去蝕路徑201重合。長度方向204是指非圓形光斑的長度所在的方向，例如橢圓的長軸方向、矩形的長度方向等等。非圓形光斑的長度和寬度之比、即長寬比(亦稱長徑比或縱橫比)優(yōu)選大于1.5。在此，應(yīng)當(dāng)指出，盡管在本實(shí)施例中將熱激光輻射的光斑203構(gòu)造為非圓形、即橢圓形的，但是在其它實(shí)施例中，也可以將冷激光的光斑構(gòu)造為非圓形的，以實(shí)現(xiàn)類似效果。

所述重合可以通過多軸聯(lián)動裝置來實(shí)現(xiàn)。例如，將激光器和脆硬材料分別布置在多軸聯(lián)動裝置的不同旋轉(zhuǎn)軸上以便它們能夠相對移動和旋轉(zhuǎn)，從而通過所述移動和旋轉(zhuǎn)來時(shí)刻保持前述重合。此外，在采用波束成形器件來形成非圓形光斑的情況下，波束成形器件可以通過例如同步旋轉(zhuǎn)以使非圓形光斑的長度方向與去蝕路徑實(shí)時(shí)地保持重合。

通過圖2的優(yōu)選方案，能夠在脆硬材料上(表面及內(nèi)部)產(chǎn)生最 大化的能促進(jìn)脆硬材料沿去蝕路徑201開裂的熱應(yīng)力和微裂紋，同時(shí)避免或顯著減小影響產(chǎn)品品質(zhì)的熱應(yīng)力和微裂紋的產(chǎn)生，從而顯著提高經(jīng)加工的脆硬材料的品質(zhì)并提高加工效率和加工精度。這是因?yàn)?，通過根據(jù)本發(fā)明利用冷或熱激光束的非圓形光斑切割脆硬材料并使非圓形光斑的長度方向與去蝕路徑從激光與脆硬材料的作用面的表面法向上來看重合，可以使非圓形光斑在脆硬材料中最大化地產(chǎn)生作用方向與去蝕路徑垂直的熱應(yīng)力202以及沿著去蝕路徑201延伸的微裂紋(未示出)，從而有利于在脆硬材料上(表面及內(nèi)部)產(chǎn)生最大化的能促進(jìn)脆硬材料沿去蝕路徑201開裂的熱應(yīng)力和微裂紋并且最大限度地降低其它方向的熱應(yīng)力和微裂紋的產(chǎn)生及傳播，從而顯著提高經(jīng)加工的脆硬材料的品質(zhì)并提高加工效率和加工精度。簡言之，借助于圖2的優(yōu)選方案，能夠大大地提高加工效率、即去蝕脆硬材料的速度，并提高加工精度。

圖3示出了在根據(jù)本發(fā)明的用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法中所使用的冷激光輻射302和熱激光輻射301的時(shí)間順序。

在圖3的A部分中示出了先發(fā)射熱激光輻射301再發(fā)射冷激光輻射302的情形，在圖3的B部分中示出了幾乎同時(shí)發(fā)射熱激光輻射301和冷激光輻射302的情形，而在圖3的C部分中示出了先發(fā)射冷激光輻射302再發(fā)射熱激光輻射301的情形。

從圖3中可以看出，發(fā)射熱激光輻射301和冷激光輻射302的時(shí)間順序可以根據(jù)工藝需要來選擇，這是因?yàn)橥ㄟ^冷激光輻射302對材料的弱化和通過熱激光輻射302產(chǎn)生的熱應(yīng)力根據(jù)材料的不同有可能隨時(shí)間變化，因此冷激光輻射和熱激光輻射的施加順序可以根據(jù)工藝需要選擇決定。

雖然本發(fā)明的一些實(shí)施方式已經(jīng)在本申請文件中予以了描述，但是對本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，這些實(shí)施方式僅僅是作為示例示出的。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以想到眾多的變型方案、替代方案和改進(jìn)方案而不超出本發(fā)明的范圍。所附權(quán)利要求書旨在限定本發(fā)明的范圍，并藉此涵蓋這些權(quán)利要求本身及其等同變換的范圍內(nèi)的方法和結(jié)構(gòu)。