技術編號：12624395
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明總體上涉及激光加工領域，具體而言涉及用于借助于冷激光輻射和熱激光輻射去蝕脆硬材料的方法和系統(tǒng)。背景技術激光加工由于其精準性以及極小的加工器具磨損而被越來越普遍地使用。近年來，隨著手機、平板計算機等大屏幕設備的興起，激光加工被越來越多地加工諸如薄玻璃之類的脆硬材料。激光加工技術可分為冷激光加工技術和熱激光加工技術。冷激光是指激光脈沖寬度在10皮秒以下或甚至飛秒級別的激光輻射，其中冷激光加工技術所基于的原理是，借助于冷激光輻射燒蝕靶材以產(chǎn)生高溫高壓等離子體，但是形成等離子體的照射時間小于為了將...
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