五氧化二鈮靶坯的電火花線切割方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種五氧化二鈮靶坯的電火花線切割方法，采用電火花線切割機(jī)對五氧化二鈮靶坯進(jìn)行切割，所述切割在惰性氣體環(huán)境中進(jìn)行。當(dāng)五氧化二鈮靶坯表面溫度瞬間達(dá)到10000℃，可避免空氣中的氧將五氧化二鈮靶坯（Nb2O5-x）氧化而還原成五氧化二鈮，從而依舊保持著五氧化二鈮靶坯的n-半導(dǎo)體特性，導(dǎo)電性好，可大幅提高切割速率（可達(dá)3mm/min以上），無需購置多臺電火花線切割機(jī)或購置昂貴的金剛石線切割機(jī)，即可有效提高切割效率，降低了加工成本。
【專利說明】五氧化二鈮靶坯的電火花線切割方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種五氧化二鈮靶材的切割方法，尤其是一種可有效提高切割效率、降低加工成本的五氧化二鈮靶材的電火花線切割方法。
【背景技術(shù)】
[0002]由于五氧化二鈮具有獨(dú)特的物理和化學(xué)性質(zhì)，已被廣泛地應(yīng)用于現(xiàn)代技術(shù)的許多領(lǐng)域。如具有較強(qiáng)的紫外吸收能力，可作為紫外敏感材料的保護(hù)膜；具有折射率性能，與SiO2等配合制備具有不同折射率的薄膜；用于離子顯示器彩色濾光膜，可提高等離子顯示器的亮度和可視角度，是等離子顯示器重要的鍍膜材料之一。目前，在五氧化二鈮靶材的制備過程中，均需要根據(jù)客戶要求的尺寸，對大塊的五氧化二鈮靶坯進(jìn)行切割。現(xiàn)有的基本切割方法是采用電火花線切割機(jī)進(jìn)行切割，具體操作方法是在空氣環(huán)境中，將脈沖電源的一極與五氧化二鈮靶坯相接，另一極與金屬絲相接，在金屬絲與五氧化二鈮靶坯之間實(shí)現(xiàn)火花放電，繼而形成 800(Ti200(rc高溫，使五氧化二鈮靶坯表面材料呈線狀瞬間熔化……逐步切割以達(dá)到預(yù)定形狀，但是缺點(diǎn)是切割速率慢，通常只能達(dá)到0.6mm/min。為提高五氧化二鈮靶坯切割效率，現(xiàn)有的一種解決方案是使用多臺電火花線切割機(jī)同時進(jìn)行切割，不僅增加了設(shè)備投入，而且也增加了相應(yīng)的操作人員，加大了產(chǎn)品加工成本；另一種解決方案則是采用金剛石線切割機(jī)，但是設(shè)備造價昂貴，產(chǎn)品加工成本依然較大。因此，如何既能提高五氧化二鈮靶材的切割效率，又能降低加工成本是人們渴望解決但始終未能獲得成功的技術(shù)難題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的上述技術(shù)問題，提供一種可有效提高加工效率、降低加工成本的五氧化二鈮靶材的電火花線切割方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)解決方案是:一種五氧化二鈮靶坯的電火花線切割方法，采用電火花線切割機(jī)對五氧化二鈮靶坯進(jìn)行切割，所述切割在惰性氣體環(huán)境中進(jìn)行。
[0005]本發(fā)明是在惰性氣體環(huán)境中采用電火花線切割機(jī)對五氧化二鈮靶坯(Nb205_x)進(jìn)行切割，當(dāng)五氧化二鈮靶坯表面溫度瞬間達(dá)到10000°c，可避免空氣中的氧將五氧化二鈮靶坯(Nb205_x)氧化而還原成五氧化二鈮，從而依舊保持著五氧化二鈮靶坯的η-半導(dǎo)體特性，導(dǎo)電性好，可大幅提高切割速率(可達(dá)3mm/min以上)，無需購置多臺電火花線切割機(jī)或購置昂貴的金剛石線切割機(jī)，即可有效提高切割效率，降低了加工成本。雖然方法簡單，但是卻解決了人們渴望解決但始終未能獲得成功的技術(shù)難題。
【具體實(shí)施方式】
[0006]實(shí)施例1:
將6mm厚的五氧化二鈮靶坯置于現(xiàn)有電火花線切割機(jī)的工件臺上，并按照現(xiàn)有方法與脈沖電源相接。在工件臺的五氧化二鈮靶坯外罩有一個保護(hù)罩，保護(hù)罩上有電源線輸入孔及金屬絲(電極絲)通行孔，由氮?dú)馄肯虮Ｗo(hù)罩內(nèi)輸入氮?dú)庾鳛楸Ｗo(hù)氣體。因氮?dú)馄康膲毫Υ笥诒Ｗo(hù)罩，因此氮?dú)鈺⒈Ｗo(hù)罩內(nèi)的空氣排出而充滿保護(hù)罩，當(dāng)保護(hù)罩內(nèi)充滿氮?dú)夂箝_始電火花線切割。電火花線切割機(jī)參數(shù)設(shè)置如下:脈寬48ys，脈間384ys，電壓100V，電流3A，電極絲直徑Φ0.18_。切割速率達(dá)到3mm/min，切割表面光潔。
[0007]實(shí)施例2:
也是實(shí)現(xiàn)對6mm厚的五氧化二鈮靶坯進(jìn)行電火花線切割，方法基本同實(shí)施例1，與實(shí)施例I所不同的是向保護(hù)罩內(nèi)充入氬氣，電火花線切割機(jī)參數(shù)設(shè)置如下:脈寬48μ S，脈間384 μ S，電壓220V,電流3.8Α，電極絲直徑Φ 0.18mm。切割速率達(dá)到3.2mm/min,切割表面光潔。
[0008]比較例:
使用現(xiàn)有的電火花線切割機(jī)直接進(jìn)行切割，以6mm厚的氧化鈮靶坯為切割對象，電火花線切割機(jī)參數(shù)設(shè)置同實(shí)施例2，S卩:脈寬48ys，脈間384ys，電壓220V，電流3.8A，電極絲直徑Φ 0.18mm。切割速率僅為0.6mm/min，切割表面粗糙。
【權(quán)利要求】
1.一種五氧化二鈮靶坯的電火花線切割方法，采用電火花線切割機(jī)對五氧化二鈮靶坯進(jìn)行切割，其特征在于:所述切割在惰性氣體環(huán)境中進(jìn)行。
【文檔編號】B23H1/00GK103920945SQ201410127991
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年4月1日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月1日
【發(fā)明者】張士察, 孫振德, 李玉新, 李春梅 申請人:北京冶科納米科技有限公司