技術(shù)編號(hào)：3114527
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種，采用電火花線切割機(jī)對(duì)五氧化二鈮靶坯進(jìn)行切割，所述切割在惰性氣體環(huán)境中進(jìn)行。當(dāng)五氧化二鈮靶坯表面溫度瞬間達(dá)到10000℃，可避免空氣中的氧將五氧化二鈮靶坯（Nb2O5-x）氧化而還原成五氧化二鈮，從而依舊保持著五氧化二鈮靶坯的n-半導(dǎo)體特性，導(dǎo)電性好，可大幅提高切割速率（可達(dá)3mm/min以上），無(wú)需購(gòu)置多臺(tái)電火花線切割機(jī)或購(gòu)置昂貴的金剛石線切割機(jī)，即可有效提高切割效率，降低了加工成本。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種五氧化二鈮靶材的切割方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。