專利名稱：激光加工裝置及其方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種激光加工裝置及其方法。尤其涉及一種利用第一激光束和通過激光束放大部而被放大的第二激光束，分別對(duì)加工對(duì)象內(nèi)部的不同位置進(jìn)行加工的激光加工裝置及其方法。
背景技術(shù)：
利用激光進(jìn)行材料加工，在整個(gè)產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域正在迅速擴(kuò)大。在精密性、工藝的靈活性、非接觸加工性、對(duì)材料造成的熱影響等方面具有優(yōu)異特性的激光加工，正在取代現(xiàn)有的切割工藝，所謂現(xiàn)有的切割工藝是，通過鉆石等生成切割線之后，施加機(jī)械應(yīng)力來切割半導(dǎo)體晶片或玻璃等加工對(duì)象物。圖1是表示現(xiàn)有技術(shù)涉及的 激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。參照?qǐng)D1，在激光部10生成的激光束11經(jīng)反射部20反射之后，通過聚焦透鏡30聚焦，之后對(duì)安放在加工部上的加工對(duì)象40進(jìn)行加工。韓國授權(quán)專利公報(bào)第10-0395598號(hào)等公開了上述現(xiàn)有的激光加工裝置。聚焦透鏡30的數(shù)值孔徑(NA、numerical aperture)可根據(jù)生成于激光部10的激光束11的特性和聚焦距離等進(jìn)行設(shè)定。另一方面，在進(jìn)行激光加工時(shí)，可以通過調(diào)節(jié)聚焦透鏡30的位置來調(diào)節(jié)激光束11在加工對(duì)象40內(nèi)部聚焦的位置41。如果激光對(duì)象40是透明材料，則可以在加工對(duì)象40的內(nèi)部聚焦激光束11來對(duì)加工對(duì)象40內(nèi)部進(jìn)行加工、切割工藝。通常，激光束11的能量密度在激光束聚焦點(diǎn)41的正中央具有最大值，而以其為中心向外側(cè)能量密度逐步減少。因此，以往當(dāng)加工對(duì)象40的厚度比激光束11能量聚焦的領(lǐng)域厚度更厚時(shí)，存在為了切割加工對(duì)象40需要進(jìn)行多次激光加工的問題。另外，加工比激光束11能量聚焦的領(lǐng)域厚度更厚的加工對(duì)象40時(shí)，為了切割加工對(duì)象40，進(jìn)行第一次激光加工之后，調(diào)節(jié)聚焦透鏡30的位置，再進(jìn)行第二次激光加工。因此，存在聚焦透鏡30的位置調(diào)節(jié)誤差所帶來的加工對(duì)象40的加工不良率增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的各種問題而提出的，本發(fā)明的目的在于，提供一種可擴(kuò)大加工對(duì)象內(nèi)部的加工深度的激光加工裝置及其方法。另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種可調(diào)節(jié)加工對(duì)象內(nèi)部的加工位置的激光加工裝置及其方法。另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種利用兩個(gè)激光束，對(duì)加工對(duì)象內(nèi)部進(jìn)行加工，從而能夠縮短激光加工時(shí)間的同時(shí)可靠進(jìn)行激光加工的激光加工裝置及其方法。另外，本發(fā)明的目的在于，提供一種利用自一個(gè)激光部生成的激光束來形成兩個(gè)激光束通道而進(jìn)行激光加工，從而能夠有效利用激光輸出的激光加工裝置及其方法。本發(fā)明的上述目的通過激光加工裝置來實(shí)現(xiàn)，該激光加工裝置，其特征在于，包括:生成激光束的激光部；用于調(diào)節(jié)上述激光部照射的激光束的偏振方向的波片(wave plate);將通過上述波片的上述激光束分成第一激光束和第二激光束的偏光片(polarizing plate);反射上述第二激光束的多個(gè)反射部；放大上述第二激光束的激光束放大部；將上述第一激光束及通過上述多個(gè)反射部和上述激光束放大部的上述第二激光束進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡(focusing lens);以及安放加工對(duì)象的加工部；利用上述第一激光束和被放大的第二激光束，分別對(duì)上述加工對(duì)象的不同位置進(jìn)行加工。通過上述多個(gè)反射部和上述激光束放大部的第二激光束可以經(jīng)由上述偏光片之后，通過上述聚焦透鏡進(jìn)行聚焦。上述波片可以包括第一波片和第二波片。上述第一波片可置于上述激光部和上述偏光片之間，上述第二波片可置于上述偏光片和上述反射部之間。在上述偏光片和上述聚焦透鏡之間，還可包括聚光透鏡(condensing lens)。通過調(diào)節(jié)上述聚光透鏡和上述聚焦透鏡之間的距離，可以調(diào)節(jié)上述加工對(duì)象被加
工的厚度。上述激光束可以是皮秒(picosecond)激光束,也可以是飛秒(femtosecond)激光束。上述激光束放大部可包括擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡(beam expanding telescope)。此外，本發(fā)明的上述目的通過激光加工方法來實(shí)現(xiàn)，該激光加工方法，其特征在于，將激光束分成第一激光束和第二激光束，并將第一激光束和被放大的第二激光束通過聚焦透鏡進(jìn)行聚焦之后，分別對(duì)加工對(duì)象的不同位置進(jìn)行加工。發(fā)明的有益效果:根據(jù)如上所述構(gòu)成的本發(fā)明，可擴(kuò)大加工對(duì)象內(nèi)部的加工深度。另外，可調(diào)節(jié)加工對(duì)象內(nèi)部的加工位置。另外，利用兩個(gè)激光束，對(duì)加工對(duì)象內(nèi)部進(jìn)行加工，從而可縮短激光加工時(shí)間的同時(shí)能夠可靠地進(jìn)行激光加工。另外，利用通過一個(gè)激光部生成的激光束來形成兩個(gè)激光束通道，并進(jìn)行激光加工，從而能夠有效利用激光輸出。


圖1是表示現(xiàn)有技術(shù)涉及的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的激光束放大部的不同結(jié)構(gòu)的示意圖。圖4和圖5是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的包含聚光透鏡的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。附圖標(biāo)記說明10、100:激光部11、110:激光束111:第一激光束112:第二激光束
113:被放大的第二激光束200:波片300:偏光片20,400:反射部500:激光束放大部30,600:聚焦透鏡610、620:激光束聚焦點(diǎn)40、700:加工對(duì)象800:聚光透鏡
具體實(shí)施例方式下面，參照例示出能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的特定實(shí)施例的附圖，對(duì)本發(fā)明作以詳細(xì)說明。為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠充分實(shí)施本發(fā)明，將對(duì)這些實(shí)施例作以詳細(xì)說明。本發(fā)明的各種實(shí)施例雖有所不同，但相互之間并不排斥。例如，這里所記載的一實(shí)施例的特定形狀、結(jié)構(gòu)和特性，在不脫離本發(fā)明思想和范圍的情況下，可以由其他實(shí)施例來實(shí)現(xiàn)。另外，應(yīng)理解為，各自公開的實(shí)施例中的個(gè)別構(gòu)成要素的位置或配置，在不脫離本發(fā)明思想和范圍的情況下可以進(jìn)行變更。因此，后述的詳細(xì)說明并無限定之意，準(zhǔn)確地說，本發(fā)明的保護(hù)范圍僅以其權(quán)利要求所記載的內(nèi)容為準(zhǔn)，包含與其所主張的內(nèi)容同等的所有范圍。附圖中類似的附圖標(biāo)記是指，在多方面具有相同或類似功能，且為方便起見，也有可能夸張地表現(xiàn)出長度、面積、厚度等其形態(tài)。下面，為了使本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員容易實(shí)施本發(fā)明，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。在本發(fā)明中，激光加工可以理解為，激光照射對(duì)象而進(jìn)行圖案加工或進(jìn)行切割對(duì)象的過程。圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。參照?qǐng)D2，本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的激光加工裝置，可以包括激光部100、波片(wave plate)200、偏光片(polarizing plate)300、多個(gè)反射部400,激光束放大部500、聚焦透鏡(focusing lens) 600和安放加工對(duì)象700的加工部(未圖示)。激光部100生成激光束110。作為一例，可以生成YAG激光、二極管激光、CO2激光、準(zhǔn)分子激光等，并向波片200照射。另一方面，激光束110可以是皮秒(picosecond)激光束或飛秒(femtosecond)激光束。皮秒激光束具有數(shù)皮秒以上的脈沖幅度，利用皮秒激光束進(jìn)行的加工，以非熱反應(yīng)的光化學(xué)反應(yīng)為主，因此，具有可進(jìn)行高精密加工的特性。飛秒激光束具有數(shù)飛秒以上的脈沖幅度，增幅時(shí)，可輸出相當(dāng)于IO12太瓦，具有可以加工任何材料的特性。另外，飛秒激光利用多光子效應(yīng)，能夠獲得即使激光未聚到一點(diǎn)上也使光子能量聚到一點(diǎn)上的效果，所以能夠進(jìn)行高精密加工。波片200起到調(diào)節(jié)自激光部100照射的激光束100的偏振方向的作用。波片200可以包括第一波片210和第二波片220。作為一例,如圖2所示，優(yōu)選第一波片210配置在激光部100和偏光片300之間，第二波片220配置在偏光片300和反射部400(尤其是第一反射部410)之間。在本發(fā)明中可以不受限制地使用已公知的波片200，利用第一波片210和第二波片220來調(diào)節(jié)激光束110的偏振方向?qū)儆诠夹g(shù)，對(duì)此不作以詳細(xì)說明。偏光片300可以將通過第一波片210的激光束110分成第一激光束111和第二激光束112。被入射到偏光片300的激光束110中，一部分經(jīng)反射后可成為行進(jìn)方向改變的第一激光束111，另一部分直接透射偏光片300后成為保持原來行進(jìn)方向的第二激光束112。根據(jù)經(jīng)第一波片210調(diào)節(jié)的激光束110的偏振方向，可調(diào)節(jié)被偏光片300反射的激光束110的比率?？梢耘c通過第一波片210照射的激光束110的方向形成45°角的設(shè)置偏光片300。因此，激光束110可以被分成，被偏光片300反射而與激光束110的方向形成90°角且被照射到聚焦透鏡600上的第一激光束111，和通過偏光片300的第二激光束112。多個(gè)反射部400對(duì)經(jīng)由偏光片300的第二激光束112進(jìn)行多次反射，第二激光束112在通過反射部400反射的過程中,可以使通過激光束放大部500而被放大的第二激光束113再次反射到偏光片300上。反射部400數(shù)量并不限定，只要多次反射第二激光束112之后，被放大的第二激光束113再次通過起振偏光片300而能夠照射到聚焦透鏡600上均可。但，在本說明書中，如圖2所示，假定反射部400由第一反射部410、第二反射部420和第三反射部430構(gòu)成來加以說明。作為一例，再次參照?qǐng)D2，經(jīng)由偏光片300和波片220的第二激光束112，通過與第二激光束112的方向形成45°角而設(shè)置的第一反射部410，路徑發(fā)生90°角的改變之后向第二反射部420行進(jìn)，再通過與第二激光束112的方向形成45°角而設(shè)置的第二反射部420，路徑再次發(fā)生90°角的改變之后向第三反射部430行進(jìn)，再通過與被放大的第二激光束113的方向形成45°角而設(shè)置的第三反射部430，路徑再次發(fā)生90°角的改變之后射向偏光片300。激光束放大部500起到放大通過其的激光束尺寸的作用。第二激光束112通過激光束放大部500之后，可以變成被放大的第二激光束113。優(yōu)選激光束放大部500配置在第二反射部420和第三反射部430之間，但只要被放大的第二激光束113通過偏光片300之后照射到聚焦透鏡600上，激光束放大部500即使配置在第一反射部410和第二反射部420之間或配置在第三反射部430和偏光片300之間也無妨。優(yōu)選激光束放大部500包括擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡(BET、beam expanding telescope)。圖3是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡的不同結(jié)構(gòu)的示意圖。圖3的(a)所示的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡是包括依次配置的球面凹透鏡(spherical concavelens) 510和球面凸透鏡(spherical convex lens) 520而放大激光束的形式。圖3的(b)所示的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡是依次配置有球面凹透鏡530和兩個(gè)柱面凸透鏡540、550，兩個(gè)柱面凸透鏡540、550的彎曲(curvature)方向正交,從而使激光束放大的形式。圖3的(C)所示的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡是依次配置有兩個(gè)柱面凹透鏡560、570和兩個(gè)柱面凸透鏡580、590，各透鏡的彎曲方向與相鄰?fù)哥R的彎曲方向正交，從而使激光束放大的形式。聚焦透鏡(focusinglens) 600 可以根據(jù)數(shù)值孔徑(NA、numerical aperture),使照射在聚焦透鏡30上的第一激光束111和被放大的第二激光束113聚焦到安放在加工部上的加工對(duì)象700的內(nèi)部。加工部上安放有加工對(duì)象700，激光束111、113對(duì)加工對(duì)象700進(jìn)行加工。加工對(duì)象700可以是半導(dǎo)體晶片、玻璃等。尤其是，為使激光束111、113聚焦到加工對(duì)象700的內(nèi)部，優(yōu)選加工對(duì)象為透明材料。另一方面，因經(jīng)由聚焦透鏡600的第一激光束111和被放大的第二激光束113的尺寸不同，所以聚焦到加工對(duì)象700內(nèi)部的激光束的聚焦點(diǎn)610、620也會(huì)形成在不同位置。如圖2所示，第一激光束111與經(jīng)放大后相對(duì)大的第二激光束113相比，其聚焦的角度更小，所以第一激光束的聚焦點(diǎn)610可以聚焦在加工對(duì)象700的更深領(lǐng)域。因此，可以對(duì)加工對(duì)象700內(nèi)部的不同位置進(jìn)行激光加工，即對(duì)第一激光束的聚焦點(diǎn)610和第二激光束的聚焦點(diǎn)620進(jìn)行激光加工。換言之，激光束能量密度在激光束聚焦點(diǎn)610、620的正中央具有最大值，能量密度以其為中心越向外側(cè)越減少，因此，能夠?qū)牡谝患す馐木劢裹c(diǎn)610到第二激光束的聚焦點(diǎn)620的連接部分進(jìn)行激光加工。如上所述的，通過將自一個(gè)激光部100生成的激光束110分成兩個(gè)激光束111、113來進(jìn)行激光加工，從而可擴(kuò)大加工對(duì)象700內(nèi)部的加工深度。另外，可以通過調(diào)節(jié)第一波片210和第二波片220，或調(diào)節(jié)激光束放大部500的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡，來調(diào)節(jié)被放大的第二激光束113的尺寸，從而能夠控制形成第二激光束聚焦點(diǎn)620的位置。例如，第二激光束113放大得越大，第二激光束聚焦點(diǎn)620越難以深入加工對(duì)象700內(nèi)部形成，而第一激光束放大得越小，第二激光束聚焦點(diǎn)620越能深入加工對(duì)象700內(nèi)部，靠近第一激光束的聚焦點(diǎn)610。因此，本發(fā)明的激光加工裝置可以調(diào)節(jié)加工對(duì)象700內(nèi)部的加工位置。圖4和圖5是表示本發(fā)明的一實(shí)施例涉及的包括聚光透鏡的激光加工裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。為了方便說明，在圖4和圖5中僅放大示出聚焦透鏡600、加工對(duì)象700和聚光透鏡800的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的激光加工裝置還可以包括聚光透鏡800。優(yōu)選聚光透鏡800配置在偏光片300和聚焦透鏡600之間。聚光透鏡800起到使被偏光片300反射的第一激光束111和通過偏光片300而被放大的第二激光束113的路徑發(fā)生彎曲之后照射到聚光透鏡600上的作用。例如，參照?qǐng)D4，經(jīng)由聚光透鏡800的激光束分別以不同彎曲度照射到聚光透鏡600上，并通過聚光透鏡600，在加工對(duì)象700內(nèi)部分別形成不同的激光束聚焦點(diǎn)621、622、623。為方便起見，在圖4中示出了，分為不連續(xù)的三個(gè)激光束在經(jīng)由聚光透鏡800時(shí)路徑發(fā)生彎曲，但實(shí)際上，應(yīng)該理解為激光束的路徑連續(xù)彎曲。因此，由于還包括聚光透鏡800，可以對(duì)激光束聚焦點(diǎn)621、622、623的相連接部分進(jìn)行激光加工，從而進(jìn)一步擴(kuò)大了加工對(duì)象700內(nèi)部的加工深度。另一方面，可以通過調(diào)節(jié)聚光透鏡800和聚焦透鏡600之間的距離d，來調(diào)節(jié)加工對(duì)象700內(nèi)部的被加工厚度。比較圖4和圖5，聚光透鏡800和聚焦透鏡600之間的距離d，圖5的情況更短，因此，加工對(duì)象700內(nèi)部的被加工厚度更淺，即，激光束聚焦點(diǎn)621、622、623被連接的距離更短。這是因?yàn)榫酃馔哥R800和聚焦透鏡600越近，經(jīng)由聚光透鏡800的激光束彎曲后行進(jìn)的路徑會(huì)越短，從而難以在加工對(duì)象700內(nèi)部深處形成焦點(diǎn)。下面，參照附圖，說明利用本發(fā)明涉及的激光加工裝置進(jìn)行的激光加工的過程。
首先，在激光部100生成激光束110之后，向第一波片210照射。通過第一波片210之后，偏振方向被調(diào)節(jié)的激光束110入射到偏光片300上，而分成第一激光束111和第二激光束112。偏光片300被設(shè)置成與激光束110的入射方向形成45°角，因此第一激光束111與激光束110的入射方向垂直地向聚焦透鏡600照射，而第二激光束112通過偏光片300。第二激光束112經(jīng)由第二波片220之后，被第一反射部410反射而路徑發(fā)生90°的改變，再被第二反射部420反射之后，路徑發(fā)生90°的改變。之后，第二激光束112經(jīng)由激光束放大部500的擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡時(shí)可以被放大。被放大的第二激光束113被第三反射部430反射之后，路徑發(fā)生90°的改變，且經(jīng)由偏光片300之后射向聚焦透鏡600。經(jīng)由聚焦透鏡600的第一激光束111在透明加工對(duì)象700內(nèi)部的第一激光束聚焦點(diǎn)610處聚焦地進(jìn)行照射，被放大的第二激光束113在第二激光束聚焦點(diǎn)620處聚焦地進(jìn)行照射。因此，可以對(duì)透明加工對(duì)象700內(nèi)部的第一激光束聚焦點(diǎn)610和第二激光束聚焦點(diǎn)620的連接部分進(jìn)行激光加工。另一方面，可以通過調(diào)節(jié)聚光透鏡800和聚焦透鏡600的距離d來改變激光束聚焦點(diǎn)621、622、623的連接距離，從而還可以進(jìn)一步調(diào)節(jié)加工對(duì)象700內(nèi)部的被加工厚度。例如，若縮短聚光透鏡800和聚焦透鏡600的距離d，則激光束聚焦點(diǎn)621、622、623的連接距離變短，從而加工對(duì)象700內(nèi)部的被加工厚度減少，而若拉大聚光透鏡800和聚焦透鏡600的距離，則激光束聚焦點(diǎn)621、622、623的連接距離變長，從而加工對(duì)象700內(nèi)部的被加工厚度增加。本發(fā)明利用兩個(gè)激光束來進(jìn)行加工，因此能夠擴(kuò)大加工對(duì)象內(nèi)部的加工深度,還可以通過調(diào)節(jié)激光束被放大的程度來調(diào)節(jié)加工對(duì)象內(nèi)部的加工位置。此外，利用兩個(gè)激光束來對(duì)加工對(duì)象內(nèi)部進(jìn)行加工，從而可節(jié)省加工時(shí)間的同時(shí)減少加工不良率，能夠可靠地進(jìn)行激光加工，可有效地利用激光輸出。如上所述，本發(fā)明圖示出優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但并不限定于此，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，均可以在不脫離本發(fā)明思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種變形和變更。這些變形例和變更例均包含于本發(fā)明及權(quán)利要求書的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種激光加工裝置，其特征在于，包括: 激光部，生成激光束； 波片，用于調(diào)節(jié)來自所述激光部的激光束的偏振方向； 偏光片，將經(jīng)由所述波片的激光束分成第一激光束和第二激光束； 多個(gè)反射部，反射所述第二激光束； 激光束放大部，放大所述第二激光束； 聚焦透鏡，用于聚焦所述第一激光束及通過所述多個(gè)反射部和所述激光束放大部的所述第二激光束；以及 加工部，用于安放加工對(duì)象； 利用所述第一激光束和被放大的所述第二激光束，分別對(duì)加工對(duì)象的不同位置進(jìn)行加 工。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 經(jīng)由所述多個(gè)反射部和所述激光束放大部的所述第二激光束，經(jīng)由所述偏光片之后，被聚焦透鏡聚焦。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述波片包括第一波片和第二波片。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述第一波片配置在所述激光部和所述偏光片之間，所述第二波片配置在所述偏光片和所述反射部之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述偏光片和所述聚焦透鏡之間，還包括聚光透鏡。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光加工裝置，其特征在于， 通過調(diào)節(jié)所述聚光透鏡和所述聚焦透鏡之間的距離，能夠調(diào)節(jié)所述加工對(duì)象的被加工厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述激光束是皮秒激光束或飛秒激光束。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述激光束放大部包括擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡。
9.一種激光加工方法,其特征在于， 將激光束分成第一激光束和第二激光束，通過聚焦透鏡聚焦所述第一激光束和被放大的所述第二激光束，從而分別對(duì)加工對(duì)象的不同位置進(jìn)行加工。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種激光加工裝置及其方法。本發(fā)明涉及的激光加工裝置，其特征在于，包括生成激光束(110)的激光部(100)；調(diào)節(jié)來自激光部(100)的激光束(110)的偏振方向的波片(200)；將經(jīng)由波片(200)的激光束(110)分成第一激光束(111)和第二激光束(112)的偏光片(300)；反射第二激光束(112)的多個(gè)反射部(400)；放大第二激光束(112)的激光束放大部(500)；用于聚焦第一激光束(111)及通過多個(gè)反射部(400)和激光束放大部(500)的第二激光束(113)的聚焦透鏡(600)；以及安放加工對(duì)象(700)的加工部；利用第一激光束(111)和被放大的第二激光束(113)，分別對(duì)加工對(duì)象(700)的不同位置進(jìn)行加工。
文檔編號(hào)B23K26/00GK103212786SQ20131001994
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2013年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月20日
發(fā)明者尹星進(jìn), 辛圭晟, 鄭薰, 李瑾行, 池泳洙 申請(qǐng)人:燦美工程股份有限公司