專(zhuān)利名稱(chēng)：金屬屏蔽的制造方法及用于制造金屬屏蔽的鐳射開(kāi)孔裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金屬屏蔽的制造方法及用于制造該金屬屏蔽的鐳射開(kāi)孔裝置，尤其涉及一種可提高良率的屏蔽制造方法及鐳射開(kāi)孔裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，主動(dòng)矩陣有機(jī)發(fā)光二極管(Active-matrix organiclight-emitting diode, AMOLED)蒸鍍罩的制造方法是先以圖案化蝕刻的方式在一片厚度僅約40 μ m的金屬薄板上形成多個(gè)微小的網(wǎng)孔，以作成一蒸鍍網(wǎng)。該蒸鍍網(wǎng)上的每一網(wǎng)孔的大小僅約50 μ m,且相鄰網(wǎng)孔之間的間距僅約70 μ m。另一種制造上述蒸鍍網(wǎng)的方法，如美國(guó)專(zhuān)利公開(kāi)第2011/0183271號(hào)所示，該方法是先在一金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)(長(zhǎng)條)孔，再利用激光束將這些孔的孔壁修整成斜面狀，從而形成該蒸鍍網(wǎng)上的網(wǎng)孔。如圖10所示，當(dāng)蒸鍍網(wǎng)80完成后，將該蒸鍍網(wǎng)80置于一金屬框82上，并利用多個(gè)夾具(圖中未示)將該蒸鍍網(wǎng)80的各邊(至少兩邊)加以?shī)A持并向外拉伸，以拉平該蒸鍍網(wǎng)80。然而，由于該蒸鍍網(wǎng)80及其上的這些第一網(wǎng)孔801的尺寸都是微米等級(jí)。故，要在該蒸鍍網(wǎng)80的第一網(wǎng)孔801不變形的前提下將該蒸鍍網(wǎng)80拉平，并非易事。一般來(lái)說(shuō)，在拉平一張蒸鍍網(wǎng)的過(guò)程中，通常需要將該蒸鍍網(wǎng)與一母玻璃進(jìn)行比對(duì)作業(yè)，若該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔與該母玻璃上的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)孔位置相對(duì)齊，則代表該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔被這些夾具的拉過(guò)之后沒(méi)有產(chǎn)生變形，隨后即可將該蒸鍍網(wǎng)焊接固定于該金屬框，并藉由一總間距(Total pitch)量測(cè)機(jī)執(zhí)行總間距檢查，以確認(rèn)該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔位置是否位在可容許的誤差范圍內(nèi)。該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔通常被要求需符合總間距誤差(total pitch error)小于±5μπι，及符合其與母玻璃的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)孔的開(kāi)孔精度誤差小于±3μπι的雙重檢查標(biāo)準(zhǔn)。然而，若比對(duì)結(jié)果不在上述的檢查標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)，就表示該蒸鍍網(wǎng)上的網(wǎng)孔在該些夾具拉伸該蒸鍍網(wǎng)的過(guò)程中發(fā)生變形或位移，此時(shí)就需要去調(diào)整該些夾具的拉伸力道，直到比對(duì)結(jié)果符合檢查標(biāo)準(zhǔn)為止。上述蒸鍍罩的制造方法不但步驟復(fù)雜，且在該些夾具拉伸該蒸鍍網(wǎng)的過(guò)程中，很容易導(dǎo)致該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔變形或位移，而需要花費(fèi)很多時(shí)間去調(diào)整該些夾具的拉伸力道。此外，在將該蒸鍍網(wǎng)焊接到該金屬框的過(guò)程中，該蒸鍍網(wǎng)的網(wǎng)孔也有可能會(huì)發(fā)生變形或位移，故焊接完成后還需要花費(fèi)許多工夫去執(zhí)行Total pitch檢查。由此可知，這種習(xí)知的AMOLED蒸鍍罩制造方法一直存在著制造效率差及良率低落的問(wèn)題而亟待解決。圖11為臺(tái)灣公開(kāi)第200526794號(hào)專(zhuān)利申請(qǐng)案所揭露的又一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。該制造方法是先將一金屬薄板91貼于一張網(wǎng)架92中間的網(wǎng)布920上，藉由該網(wǎng)布920使該金屬薄板91的表面維持水平。接著，利用鐳射切割在該金屬薄板91形成多個(gè)第二網(wǎng)孔910。再將一固定框93置于該金屬薄板91底部，并利用第一冶具94、第二冶具95將該固定框93及該金屬薄板91壓合，以進(jìn)行焊接作業(yè)，使得該固定框93與該金屬薄板91焊接在一起。最后，將該固定框93連同該金屬薄板91從該張網(wǎng)架92上裁切下來(lái)，以得到該蒸鍍罩。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種金屬屏蔽的制造方法及用于制造金屬屏蔽的儀射開(kāi)孔裝置，能夠有效提聞廣品良率。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:該制造方法包括執(zhí)行一金屬框入料作業(yè)，用以將一金屬框置于一工作臺(tái)上，該工作臺(tái)具有一支撐裝置，并使該金屬框套設(shè)于該支撐裝置外圍。接著，執(zhí)行一金屬薄板入料作業(yè)，用以將一金屬薄板平置于該金屬框與該支撐裝置所共構(gòu)的一頂面上。接下來(lái)，執(zhí)行一焊接作業(yè)，用以將該金屬薄板與該金屬框焊接在一起，以形成一屏蔽雛型。最后，藉由一鐳射開(kāi)孔裝置執(zhí)行一鐳射開(kāi)孔作業(yè)，用以在該屏蔽雛型的金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。其中，該鐳射開(kāi)孔裝置包括一機(jī)臺(tái)、能夠移動(dòng)設(shè)于該機(jī)臺(tái)上的一移載機(jī)構(gòu)、設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)的一鐳射頭及一計(jì)算機(jī)裝置。該計(jì)算機(jī)裝置用以控制該移載機(jī)構(gòu)連同該鐳射頭的移動(dòng)，并控制該鐳射頭執(zhí)行該雷射開(kāi)孔作業(yè)。較佳地，該鐳射開(kāi)孔裝置還包括一檢查裝置，該檢查裝置設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上。本發(fā)明的制造方法還包括藉由該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)及一校正作業(yè)。該計(jì)算機(jī)裝置在該鐳射頭進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)時(shí)，控制該檢查裝置執(zhí)行該檢查作業(yè)，以及對(duì)該鐳射頭執(zhí)行一校正作業(yè)，以使該金屬薄板上由該鐳射開(kāi)孔作業(yè)所制作出來(lái)的網(wǎng)孔能符合標(biāo)準(zhǔn)。另一方面，本發(fā)明的制造方法還包括藉由該檢查裝置執(zhí)行另一種檢查作業(yè)。該計(jì)算機(jī)裝置在該鐳射頭進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)之后，控制該檢查裝置執(zhí)行該檢查作業(yè)，用以檢查該金屬薄板上由該鐳射開(kāi)孔作業(yè)所制作出來(lái)的該些網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)。本發(fā)明的有益效果是:相較于先前技術(shù)，本發(fā)明是先將該金屬薄板平置于該金屬框上并與該金屬框焊接后，才進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔發(fā)生變形或位移的問(wèn)題，進(jìn)而提高該金屬屏蔽的良率。至于本發(fā)明的其它發(fā)明內(nèi)容與更詳細(xì)的技術(shù)及功能說(shuō)明，將揭露于隨后的說(shuō)明。


圖1為本發(fā)明所述有機(jī)發(fā)光二極管蒸鍍罩的制造方法流程圖；圖2為本發(fā)明所述金屬框置于一工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明所述金屬薄板平置于一金屬框架及一支撐裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明所述鐳射開(kāi)孔裝置的主視圖；圖5為本發(fā)明所述鐳射開(kāi)孔裝置的俯視圖；圖6為本發(fā)明所述鐳射開(kāi)孔作業(yè)示意圖；圖7為本發(fā)明所形成的一網(wǎng)孔的立體圖；圖8為圖7所示A-A剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖7所示B-B剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為現(xiàn)有技術(shù)中一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為現(xiàn)有技術(shù)中另一種AMOLED蒸鍍罩制造裝置的分解結(jié)構(gòu)示意圖。
結(jié)合附圖，作以下說(shuō)明:I——金屬框2——金屬薄板20——網(wǎng)孔3——錯(cuò)射開(kāi)孔裝置35——機(jī)臺(tái)350——軌道355——支撐條37——移載機(jī)構(gòu)371——第一活動(dòng)座372——第二活動(dòng)座39 儀射頭6 檢查頭7——工作臺(tái)71——支撐裝置80——蒸鍍網(wǎng)801——第一網(wǎng)孔82——金屬框91——金屬薄板910——第二網(wǎng)孔92——張網(wǎng)架920-網(wǎng)布93-固定框94——第一冶具95——第二冶具
具體實(shí)施例方式圖1為本發(fā)明所述的金屬屏蔽的制造方法的流程圖。在本發(fā)明中，該制造方法是用來(lái)制造一種有機(jī)發(fā)光二極管的蒸鍍罩(Fine Pitch Metal Mask，F(xiàn)MM)，但并不以此為限，該制造方法也可運(yùn)用于制造一般的金屬屏蔽，例如:用于制造觸控面板的印刷屏蔽或IC封裝作業(yè)中所使用的印刷屏蔽。該制造方法包括一金屬框入料作業(yè)S1、一金屬薄板入料作業(yè)S2、一焊接作業(yè)S3及一鐳射開(kāi)孔作業(yè)S4。其中，該金屬框入料作業(yè)S1、該金屬薄板入料作業(yè)S2及該焊接作業(yè)S3系在一張平機(jī)上進(jìn)行。如圖2所示，該張平機(jī)包括一工作臺(tái)7、設(shè)于該工作臺(tái)7頂面的一支撐裝置71及一焊接裝置(圖中未示)。該金屬框入料作業(yè)SI是將一金屬框I置于該工作臺(tái)7并套設(shè)于該支撐裝置71外。該支撐裝置71是包括多個(gè)支撐條710，但并不以此為限。參閱圖3，該金屬薄板入料作業(yè)S2是用以使一厚度僅約40 μ m的金屬薄板2平置于該金屬框I及該支撐裝置71所共構(gòu)的一頂面。該金屬薄板入料作業(yè)S2亦可采用其它方式，例如:拉伸，來(lái)使該金屬薄板2的頂面形成一平面。該焊接作業(yè)S3，是利用該焊接裝置(圖中未示)將該金屬薄板2與該金屬框I焊接在一起，以形成一蒸鍍罩雛型。該雷射開(kāi)孔作業(yè)S4是利用一鐳射開(kāi)孔裝置3，如圖4和圖5所示，在該金屬薄板2上進(jìn)行開(kāi)孔。該鐳射開(kāi)孔裝置3包括一機(jī)臺(tái)35、一移載裝置37、至少一鐳射頭39及一計(jì)算機(jī)裝置(圖中未示)。該機(jī)臺(tái)35是供承載焊接完成的該金屬薄板7及該金屬框1，該機(jī)臺(tái)35具有一支撐裝置，該支撐裝置包括多個(gè)支撐條355，供支撐該金屬薄板2，使其頂面保持水平。該移載裝置37包括一第一活動(dòng)座371及一第二活動(dòng)座372。該第一活動(dòng)座371設(shè)于該機(jī)臺(tái)35上的一組軌道350上，且可沿著該軌道350移動(dòng)。該第二活動(dòng)座372設(shè)于該第一活動(dòng)座371上，且可相對(duì)于該第一活動(dòng)座371移動(dòng)。

該鐳射頭39設(shè)于該移載裝置37的第二活動(dòng)座372上，用以在該金屬薄板2上進(jìn)行錯(cuò)射開(kāi)孔(laser opening)。優(yōu)選地,該錯(cuò)射開(kāi)孔裝置3包括多個(gè)錯(cuò)射頭39,該錯(cuò)射開(kāi)孔作業(yè)S4能夠同時(shí)控制該多個(gè)鐳射頭39在該金屬薄板2上進(jìn)行鐳射開(kāi)孔，以提升開(kāi)孔的速度。另一方面，該鐳射頭39能夠以垂直或傾斜的加工角度進(jìn)行鐳射開(kāi)孔，圖6顯示了該鐳射頭39以傾斜的加工角度進(jìn)行鐳射開(kāi)孔，進(jìn)而使得藉由上述步驟所制成的蒸鍍罩的每一網(wǎng)孔20的形狀由下而上漸縮，如圖7、8和9所示。如圖4和圖5所示，該計(jì)算機(jī)裝置用以控制該移載機(jī)構(gòu)37的移動(dòng)及控制該鐳射頭39對(duì)該金屬薄板2的執(zhí)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)S4。其中，該計(jì)算機(jī)裝置藉由一種能精密量測(cè)長(zhǎng)度的量測(cè)儀器(圖中未示)來(lái)控制該移載機(jī)構(gòu)37的運(yùn)作，而使該移載裝置37能將其上的鐳射頭39準(zhǔn)確地移載到目標(biāo)位置進(jìn)行開(kāi)孔。優(yōu)選地，如圖4和圖5所示，該鐳射開(kāi)孔裝置3還包括一檢查裝置6，其設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)37的第二活動(dòng)座372上，且該檢查裝置6具備一 CXD攝像組件。優(yōu)選地，本發(fā)明還包括藉由該檢查裝置6來(lái)執(zhí)行一檢查作業(yè)，該檢查作業(yè)在此可分為兩種形式，詳如后述。其中一種是在該鐳射頭39進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)S4的同時(shí)，藉由該鐳射開(kāi)孔裝置3的計(jì)算機(jī)裝置控制該檢查裝置6實(shí)時(shí)執(zhí)行該檢查作業(yè)，并根據(jù)該檢查作業(yè)的結(jié)果決定是否需要對(duì)該鐳射頭39進(jìn)行一校正作業(yè)，以使該金屬薄板2上由該鐳射開(kāi)孔作業(yè)S4所制作出來(lái)的網(wǎng)孔能符合標(biāo)準(zhǔn)，例如:符合開(kāi)孔精度小于±3 μ m的、網(wǎng)孔20的總間距誤差小于±5 μ m之標(biāo)準(zhǔn)，但并不以此為限。透過(guò)這種一邊開(kāi)孔一邊檢查的作業(yè)方式，即可確保所形成的蒸鍍罩的網(wǎng)孔是符合標(biāo)準(zhǔn)的。另外一種則是在該鐳射頭39進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)S4之后，藉由該計(jì)算機(jī)裝置控制該檢查裝置6執(zhí)行另一種檢查作業(yè)，用以檢查該金屬薄板上由該鐳射開(kāi)孔作業(yè)所所形成的蒸鍍罩的網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)，例如:符合開(kāi)孔精度小于±3 μ m的、網(wǎng)孔20的總間距誤差小于±5 μ m之標(biāo)準(zhǔn)，但并不以此為限。相較于先前技術(shù)，本發(fā)明所提供的金屬屏蔽的制造方法是先將整片未開(kāi)孔的金屬薄板平置并焊接到該金屬框上，再進(jìn)行開(kāi)孔的作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔在制造過(guò)程中發(fā)生變形或位移問(wèn)題，而不需花費(fèi)很多時(shí)間去調(diào)整該些夾具的拉伸力道，即可輕易地改善良率低落的問(wèn)題。無(wú)論如何，任何人都可以從上述說(shuō)明獲得足夠教導(dǎo)，并據(jù)而了解本發(fā)明內(nèi)容確實(shí)不同于先前技術(shù)，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用性，及足具進(jìn)步性。是本發(fā)明確已符合專(zhuān)利要件，并依法提出申請(qǐng)。
權(quán)利要求
1.一種制造屏蔽雛型的方法，其特征在于:包括: 將一金屬框套設(shè)于一支撐裝置的外圍； 將一金屬薄板平置于由該金屬框與該支撐裝置所共構(gòu)形成的一頂面上；及 將該金屬薄板焊接于該金屬框上。
2.一種制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:包括: 提供一屏蔽雛型，該屏蔽雛型包括一金屬框和焊接在該金屬框上的一金屬薄板；及 執(zhí)行一鐳射開(kāi)孔作業(yè)，用以在該金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:還包括在該鐳射開(kāi)孔作業(yè)期間，執(zhí)行一檢查作業(yè)和一校正作業(yè)，以使由該鐳射開(kāi)孔作業(yè)所形成的復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔符合標(biāo)準(zhǔn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制造金屬屏蔽的方法，其特征在于:還包括在該鐳射開(kāi)孔作業(yè)之后執(zhí)行一檢查作業(yè)，用以檢查該鐳射開(kāi)孔作業(yè)所制作出來(lái)的復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔是否符合標(biāo)準(zhǔn)。
5.一種鐳射開(kāi)孔裝置，其特征在于:包括: 一機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)供承載一屏蔽雛形，該屏蔽雛型包括一金屬框和焊接在該金屬框上的一金屬薄板，其中，該機(jī)臺(tái)還具有一供支撐該金屬薄板的支撐裝置； 一移載機(jī)構(gòu)，該移載機(jī)構(gòu)能夠移動(dòng)設(shè)于該機(jī)臺(tái)上； 一鐳射頭，該鐳射頭設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上，并對(duì)該金屬薄板進(jìn)行鐳射開(kāi)孔 '及 一計(jì)算機(jī)裝置，該計(jì)算機(jī)裝置能夠控制該移載機(jī)構(gòu)的移動(dòng)及控制該鐳射頭對(duì)該金屬薄板的鐳射開(kāi)孔作業(yè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鐳射開(kāi)孔裝置，其特征在于:還包括有一檢查裝置，該檢查裝置設(shè)于該移載機(jī)構(gòu)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鐳射開(kāi)孔裝置，其特征在于:該計(jì)算機(jī)裝置還能夠在該鐳射頭進(jìn)行鐳射開(kāi)孔作業(yè)時(shí)，控制該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)、以及對(duì)該鐳射頭執(zhí)行一校正作業(yè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鐳射開(kāi)孔裝置，其特征在于:該計(jì)算機(jī)裝置還能夠在該鐳射頭進(jìn)行鐳射開(kāi)孔作業(yè)之后，控制該檢查裝置執(zhí)行一檢查作業(yè)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種制造金屬屏蔽的方法，包括將一金屬框套設(shè)于一工作臺(tái)的支撐裝置外圍。接著，將一金屬薄板平置于該金屬框與該支撐裝置共構(gòu)的一頂面。接下來(lái)，將該金屬薄板與該金屬框焊接，以形成一屏蔽雛型。最后，藉由一鐳射開(kāi)孔裝置對(duì)該屏蔽雛型執(zhí)行一鐳射開(kāi)孔作業(yè)，用以在該金屬薄板上形成復(fù)數(shù)個(gè)網(wǎng)孔。相較于先前技術(shù)，本發(fā)明是先將該金屬薄板平置于該金屬框上并與該金屬框焊接后，才進(jìn)行該鐳射開(kāi)孔作業(yè)，故可避免該金屬屏蔽的網(wǎng)孔發(fā)生變形或位移的問(wèn)題，進(jìn)而提高該金屬屏蔽的良率。
文檔編號(hào)B23P15/00GK103182630SQ20121030910
公開(kāi)日2013年7月3日 申請(qǐng)日期2012年8月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月3日
發(fā)明者李松賢 申請(qǐng)人:旭東機(jī)械工業(yè)股份有限公司