專利名稱：激光刻劃跟隨除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
激光刻劃跟隨除塵裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及薄膜太陽能電池芯片制造技術(shù)，尤其是可排除廢氣和粉塵的除塵裝置。
背景技術(shù)：
隨著現(xiàn)代工業(yè)的高速發(fā)展，技術(shù)快速的更新?lián)Q代以及對能源的需求，現(xiàn)在能源結(jié) 構(gòu)正在發(fā)生著根本性的變革。傳統(tǒng)的能源煤炭、石油、天然氣使用量將在2020年-2040年 到達(dá)高峰，而在2050年后將會(huì)逐漸枯竭。替代能源，可再生能源(主要是太陽能)從2000 年開始迅猛發(fā)展，預(yù)計(jì)到2050年使用量將達(dá)到高峰。傳統(tǒng)太陽能電池是使用單晶硅或多晶 硅薄片，其硅材料應(yīng)用較多，浪費(fèi)嚴(yán)重，硅元素提純工藝復(fù)雜且成本太高。薄膜太陽能電池
使用非晶硅或其他材料，硅元素使用量很少或不使用硅材料，所以基本無原料瓶頸。尤其是 非晶硅薄膜太陽能電池，成本低，且工藝成熟，所以發(fā)展很快，成為目前薄膜太陽能電池最 成熟的產(chǎn)品之一。 如圖l所示，非晶硅薄膜太陽能電池是在低成本基板l(主要是玻璃)上沉積、濺 射薄膜而成，這種非晶硅薄膜太陽能電池在基板1上共有三層電極2、非晶硅(a-Si)3和 電極4。非晶硅薄膜太陽能電池芯片的刻劃是通過激光來實(shí)現(xiàn)的，激光刻劃是根據(jù)這種非晶 硅薄膜太陽能電池的制作工藝過程，分別在不同的工藝時(shí)段選用不同波長的激光設(shè)備進(jìn)行 刻劃，非晶硅薄膜太陽能電池共有三層，所以需要進(jìn)行三次刻劃才能完成整個(gè)制作過程。 每一次刻劃都會(huì)產(chǎn)生廢氣和灰塵，如果不能及時(shí)將這些廢氣和灰塵排除，就會(huì)發(fā) 生廢氣和灰塵污染薄膜太陽能電池芯片的現(xiàn)象，形成次品或廢品，既降低了生產(chǎn)效率又造 成浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可排除廢氣和粉塵的除塵裝置。 為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種激光刻劃跟隨除塵裝置，包括可對著 激光器并可與激光器同步運(yùn)動(dòng)的除塵口，除塵口與激光器分列太陽能電池芯片的兩側(cè)，除 塵口連接吸塵系統(tǒng)。 本實(shí)用新型適用于激光器位于玻璃基板背向薄膜的一側(cè)的情形。激光器刻劃玻璃 基板上的薄膜時(shí)，產(chǎn)生的廢氣和粉塵在玻璃基板背向激光器的一側(cè)，連接吸塵系統(tǒng)的除塵 口是對著激光器的，可及時(shí)將廢氣和灰塵排除。 在此基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地 為了保證除塵口排除廢氣和灰塵的良好效果，設(shè)置驅(qū)動(dòng)除塵口的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和可根 據(jù)激光器工作狀態(tài)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制機(jī)構(gòu)。這樣，可以在激光器準(zhǔn)備刻劃時(shí)再控制驅(qū)動(dòng) 機(jī)構(gòu)工作。 作為本實(shí)用新型的改進(jìn)，設(shè)置與控制機(jī)構(gòu)電性連接的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。在激光器移動(dòng)之 前就控制除塵口對準(zhǔn)激光器以使除塵口的中心軸線與激光器發(fā)出的激光束重合，這樣有利于提高吸塵效果。 作為一種具體形式，對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括感應(yīng)片和光電開關(guān)，光電開關(guān)與控制機(jī)構(gòu)電性
連接，感應(yīng)片和光電開關(guān)二者中的一個(gè)位置固定、另一個(gè)與除塵口同步運(yùn)動(dòng)。 可以設(shè)置承載除塵口的除塵口安裝板，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和動(dòng)力傳送件，動(dòng)力
傳送件分別與動(dòng)力源和除塵口安裝板形成傳動(dòng)配合。 動(dòng)力源可選用電機(jī)，動(dòng)力傳送件可選用同步帶或鏈條。 本實(shí)用新型的有益效果是在激光刻劃過程中及時(shí)跟隨除塵，降低廢氣和灰塵對 電池芯片造成污染的可能性，減少次品或廢品的發(fā)生率，提供生產(chǎn)效率，避免浪費(fèi)，降低生 產(chǎn)成本。


下面通過具體實(shí)施方式
并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明 圖1是太陽能電池芯片沿厚度方向的剖視示意圖； 圖2是本實(shí)用新型一種具體實(shí)施方式
的立體示意圖； 圖3是圖2的主視圖； 圖4是圖2所示除塵裝置在工作狀態(tài)下結(jié)合激光器200和太陽能電池芯片300的 示意圖。
具體實(shí)施方式
圖2和圖3示出了本實(shí)用新型的一種具體實(shí)施方式
。 如圖2所示，該除塵裝置包括控制單元(附圖中未示出)和機(jī)架100 ;機(jī)架100的 兩端分別固定有安裝板5，電機(jī)安裝板6位于機(jī)架100的一端，機(jī)架100的左端裝設(shè)有一個(gè) 同步帶輪7，安裝在電機(jī)安裝板6上的同步電機(jī)8的輸出軸上安裝有另一個(gè)同步帶輪7，同 步帶9與兩個(gè)同步帶輪7相配合；排煙管安裝板10的兩端固定有連接塊11，同步帶9的兩 端分別連接兩個(gè)連接塊ll，兩個(gè)排煙管12固定在排煙管安裝板10上，排煙管12的下端為 除塵口 121，排煙管12的上端與吸塵系統(tǒng)(附圖中未示出)連通，機(jī)架100上的導(dǎo)軌13對 排煙管安裝板10的運(yùn)動(dòng)起導(dǎo)向作用；機(jī)架100上設(shè)有兩個(gè)光電開關(guān)14，排煙管安裝板10上 固定有與光電開關(guān)14相適配的感應(yīng)片15 ;兩個(gè)光電開關(guān)14、同步電機(jī)8分別與控制單元電 性連接。 參見圖4，工作時(shí)，該除塵裝置和激光器200分別位于太陽能電池芯片300的兩側(cè)， 薄膜位于圖4中太陽能電池芯片300的上表面。激光器200在移動(dòng)前是位于其初始位置的， 兩個(gè)光電開關(guān)14的位置是根據(jù)激光器200的初始位置來設(shè)定的，當(dāng)感應(yīng)片15處于光電開 關(guān)14的位置時(shí)除塵口 121的中心軸線(亦即排煙管12豎直部分的中心軸線)與相應(yīng)激光 器200發(fā)出的激光束(201)重合。激光器200移動(dòng)前，如果感應(yīng)片15處于光電開關(guān)14的 位置則光電開關(guān)14向控制單元發(fā)送信號，表明除塵口 121的中心軸線與相應(yīng)激光器200發(fā) 出的激光束重合，此時(shí)除塵口 121處于與相應(yīng)激光器200對準(zhǔn)的狀態(tài)；如果感應(yīng)片15未處 于光電開關(guān)14的位置則光電開關(guān)14不向控制單元發(fā)送信號，控制單元控制同步電機(jī)8運(yùn) 轉(zhuǎn)使除塵口 121接近相應(yīng)的激光器200直至光電開關(guān)14向控制單元發(fā)送信號、控制單元控 制同步電機(jī)8停止，此時(shí)除塵口 121處于與相應(yīng)激光器200對準(zhǔn)的狀態(tài)。然后，激光器200
4向左(或右)運(yùn)動(dòng)時(shí)控制單元會(huì)得到相應(yīng)的信號，控制單元控制同步電機(jī)8運(yùn)轉(zhuǎn)，同步電機(jī) 8運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)排煙管安裝板10可與激光器200以同樣的速度沿導(dǎo)軌13運(yùn)動(dòng)，使得除塵口 121與 相應(yīng)激光器200同步運(yùn)動(dòng)，激光刻劃產(chǎn)生的廢氣和灰塵可以及時(shí)排除。 上述除塵裝置中設(shè)有兩個(gè)排煙管12及相應(yīng)的兩個(gè)除塵口 121，具體實(shí)施時(shí)可根據(jù) 需要設(shè)置一個(gè)或多個(gè)排煙管12及相應(yīng)的除塵口 121。 以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對本實(shí)用新型所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能 認(rèn)定本實(shí)用新型的具體實(shí)施只局限于這些說明。對于本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視 為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于包括可對著激光器并可與激光器同步運(yùn)動(dòng)的除塵口，所述除塵口與激光器分列太陽能電池芯片的兩側(cè)，所述除塵口連接吸塵系統(tǒng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于還包括驅(qū)動(dòng)所述除塵 口的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和可根據(jù)激光器工作狀態(tài)控制所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的控制機(jī)構(gòu)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于還包括與所述控制機(jī) 構(gòu)電性連接的對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于所述對準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括感 應(yīng)片和光電開關(guān)，所述光電開關(guān)與所述控制機(jī)構(gòu)電性連接，所述感應(yīng)片和光電開關(guān)二者中 的一個(gè)位置固定、另一個(gè)與所述除塵口同步運(yùn)動(dòng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2、3或4所述的激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于還包括承載所 述除塵口的除塵口安裝板，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括動(dòng)力源和動(dòng)力傳送件，所述動(dòng)力傳送件分別 與所述動(dòng)力源和除塵口安裝板形成傳動(dòng)配合。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光刻劃跟隨除塵裝置，其特征在于所述動(dòng)力源為電機(jī)，所 述動(dòng)力傳送件為同步帶或鏈條。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種激光刻劃跟隨除塵裝置，包括可對著激光器并可與激光器同步運(yùn)動(dòng)的除塵口，除塵口與激光器分列太陽能電池芯片的兩側(cè)，除塵口連接吸塵系統(tǒng)。采用本實(shí)用新型除塵裝置，在激光刻劃過程中及時(shí)跟隨除塵，降低廢氣和灰塵對電池芯片造成污染的可能性，減少次品或廢品的發(fā)生率，提供生產(chǎn)效率，避免浪費(fèi)，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號B23K26/42GK201439089SQ20092013329
公開日2010年4月21日 申請日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者倪鵬玉, 劉宇, 高云峰 申請人:深圳市大族激光科技股份有限公司