專利名稱：制品運(yùn)送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在對(duì)半導(dǎo)體片、基板等電子部件或機(jī)械部件等制品進(jìn)行涂 敷處理、熱處理、化學(xué)處理、洗凈處理等處理、檢查、測(cè)定、機(jī)械加工、組裝 等各種作業(yè)時(shí)，保持制品以進(jìn)行搬運(yùn)及定位等的制品運(yùn)送裝置。
背景技術(shù)：
作為將半導(dǎo)體片等制品搬入及搬出檢查區(qū)域的以往的運(yùn)送裝置，例如一種 已為公眾所知的裝置，該裝置具有2條搬運(yùn)制品的搬運(yùn)道；2條將制品吸住 并可沿垂直于2條搬運(yùn)道的搬運(yùn)方向的水平橫向(左右方向)及鉛直方向往復(fù) 運(yùn)動(dòng)的搬運(yùn)帶；配置在2條搬運(yùn)道的中央部的檢査插口等，兩只搬運(yùn)手同時(shí)沿 左右方向移動(dòng)，通過(guò)檢査插口對(duì)制品進(jìn)行替換(例如日本專利特開(kāi)2002 — 148307號(hào)公報(bào))。
然而，該裝置中的搬運(yùn)帶是在鉛直面內(nèi)對(duì)制品進(jìn)行二次元性的搬運(yùn)的裝 置，而不是在水平面內(nèi)進(jìn)行二次元性的搬運(yùn)的搬運(yùn)帶。
另一方面，作為在水平面內(nèi)對(duì)制品進(jìn)行二次元性的搬運(yùn)的裝置，有一種已 為公眾所知的裝置，該裝置具有分別在左右兩側(cè)沿前后方向伸長(zhǎng)地形成有2 條移動(dòng)道；配置在裝置的前方的制品(集成電路片)存放部；配置在裝置的后 方對(duì)制品(集成電路片)進(jìn)行試驗(yàn)的測(cè)試部；被引導(dǎo)至左側(cè)的移動(dòng)道且沿前后 方向往復(fù)移動(dòng)來(lái)將制品(集成電路片)搬入的裝載機(jī)構(gòu)；被引導(dǎo)至右側(cè)的移動(dòng) 道且沿前后方向往復(fù)移動(dòng)來(lái)將制品(集成電路片)搬出的卸載機(jī)構(gòu)等，裝載機(jī) 構(gòu)將未檢測(cè)的制品從制品存放部搬入測(cè)試部，卸載機(jī)構(gòu)將完成檢測(cè)的制品搬出 至制品存放部(例如日本專利特開(kāi)2002—174658號(hào)公報(bào))。
然而，在此裝置中，裝載機(jī)構(gòu)為搬運(yùn)制品而移動(dòng)的區(qū)域僅為左側(cè)區(qū)域，卸 載機(jī)構(gòu)為搬運(yùn)制品而移動(dòng)的區(qū)域僅為右側(cè)區(qū)域。也就是說(shuō)，裝載機(jī)構(gòu)和卸載機(jī)
構(gòu)以不相互干涉的狀態(tài)在水平方向上隔開(kāi)一定間距配置的區(qū)域(左側(cè)區(qū)域、右 側(cè)區(qū)域)中移動(dòng)，因此使裝載機(jī)構(gòu)及卸載機(jī)構(gòu)向中央聚集配置是很困難的，因 而要將該裝置設(shè)置于半導(dǎo)體制造流水線等需要較寬的空間。另外，由于導(dǎo)致其 大型化，使得用于搬運(yùn)制品的移動(dòng)距離也變長(zhǎng)，因此，將制品搬入檢査區(qū)域后 實(shí)施規(guī)定的檢査，并將完成檢查的制品再次搬出至規(guī)定區(qū)域所需的時(shí)間也會(huì)變 長(zhǎng)，使生產(chǎn)性的提高具有一定的困難。
發(fā)明公開(kāi)
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種使結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略化、各機(jī)構(gòu)集中 化、裝置整體小型化、設(shè)置面積的空間節(jié)省化、搬運(yùn)制品所需時(shí)間的縮短化、 使對(duì)半導(dǎo)體片、基板等電子部件或機(jī)械部件等制品進(jìn)行涂敷、熱處理、化學(xué)處 理、洗凈處理等處理、檢查、測(cè)定、機(jī)械加工、組裝等各種作業(yè)可高效地進(jìn)行， 從而提高生產(chǎn)性的制品運(yùn)送裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第l觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置中，包含沿前后 方向伸長(zhǎng)且設(shè)置在左右兩邊的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器；在移動(dòng)導(dǎo)向器上各自獨(dú)立地移 動(dòng)、且可在相對(duì)的左右方向上從互不干涉的收縮位置至相互交迭的伸長(zhǎng)位置之 間伸縮自如的一對(duì)直動(dòng)臂；配置于夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域內(nèi)且對(duì) 制品進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)部；以及為了在規(guī)定位置與作業(yè)部間搬運(yùn)制品或?yàn)榱?在搬運(yùn)后進(jìn)行作業(yè)而分別安裝在一對(duì)直動(dòng)臂上的制品工具。
若使用該結(jié)構(gòu)，一對(duì)直動(dòng)臂在利用制品工具保持制品并在規(guī)定位置與作業(yè) 部間搬運(yùn)時(shí)，在被各自的移動(dòng)導(dǎo)向器引導(dǎo)并沿前后方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)可收縮 以防止在交錯(cuò)時(shí)互相干涉，因此，可進(jìn)行無(wú)相互約束的自由的搬運(yùn)動(dòng)作。另外， 一對(duì)直動(dòng)臂采用直動(dòng)(沿直線運(yùn)動(dòng))類型，因此，與使臂彎曲或旋轉(zhuǎn)的類型相 比，可更快地進(jìn)行回避干涉的動(dòng)作，從而提高搬運(yùn)效率以提高制品的生產(chǎn)性。 另外， 一對(duì)直動(dòng)臂在沿左右方向伸長(zhǎng)后會(huì)互相交迭，即一對(duì)直動(dòng)臂的移動(dòng)范圍 在夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域內(nèi)交迭，因此可使結(jié)構(gòu)集中化，實(shí)現(xiàn)裝 置在左右方向上的寬度狹窄化、小型化。另外，只要在一對(duì)直動(dòng)臂交迭可移動(dòng) 的范圍即作業(yè)區(qū)域內(nèi)，可將作業(yè)部配置于任何位置，若配置多個(gè)作業(yè)部，則可
進(jìn)行多種作業(yè)。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中，可使制品工具包含可裝卸地分別安裝在一對(duì)直 動(dòng)臂上的本體部；以及可相對(duì)于本體部升降地連結(jié)、且用以把持制品的升降夾 爪。
若使用該結(jié)構(gòu)，使直動(dòng)臂沿前后方向及左右方向移動(dòng)來(lái)將制品工具定位于 規(guī)定位置后，可使升降夾爪相對(duì)于本體部升降從而將制品取出或釋放，因此可 進(jìn)行圓滑的直線性的快速動(dòng)作，以縮短搬運(yùn)時(shí)間。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中，可使制品工具包含可裝卸地分別安裝在一對(duì)直 動(dòng)臂上的本體部；以及可相對(duì)于本體部升降地連結(jié)、且在保持制品的同時(shí)進(jìn)行 作業(yè)的作業(yè)工具部。
若使用該結(jié)構(gòu)，使直動(dòng)臂沿前后方向及左右方向移動(dòng)來(lái)將保持制品的制品 工具定位于作業(yè)部后，作業(yè)工具部(例如，使螺栓嵌合從而吸住保持的插口等) 相對(duì)于本體部下降，(通過(guò)驅(qū)動(dòng)源)起動(dòng)，從而對(duì)制品進(jìn)行作業(yè)(例如螺栓的 連結(jié)等)，因此可在搬運(yùn)動(dòng)作后進(jìn)行所需的作業(yè)，從而實(shí)現(xiàn)從搬運(yùn)至作業(yè)的處 理時(shí)間的縮短化。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中，可設(shè)有與作業(yè)區(qū)域相鄰、且為了將制品搬入及搬 出而暫時(shí)收容制品的制品收容區(qū)域。
若使用該結(jié)構(gòu)，一對(duì)直動(dòng)臂能夠以利用制品工具保持制品的狀態(tài)在制品收 容區(qū)域和作業(yè)部間搬運(yùn)未作業(yè)的制品及完成作業(yè)的制品。
在上述結(jié)構(gòu)的裝置中，可在制品收容區(qū)域中設(shè)置使制品沿前后方向移動(dòng)的 前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及使制品沿左右方向移動(dòng)的左右移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
若使用該結(jié)構(gòu)，在制品收容區(qū)域中，可利用前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)及左右移動(dòng)機(jī)構(gòu) 將制品(或收容有多個(gè)制品的托盤(pán))沿前后方向及左右方向替換，因此可通過(guò) 對(duì)未作業(yè)的制品(或收容有多個(gè)未作業(yè)的制品的托盤(pán))與完成作業(yè)的制品(或 收容有多個(gè)完成作業(yè)的制品的托盤(pán))的交換來(lái)進(jìn)行的制品(或托盤(pán))的保管、 等待、或篩選等容易進(jìn)行。
在上述結(jié)構(gòu)的裝置中，可將制品收容區(qū)域相對(duì)于作業(yè)區(qū)域配置于前后方向 的一端側(cè)。
若使用該結(jié)構(gòu)，例如作業(yè)者在使存放制品的托盤(pán)等進(jìn)出制品收容區(qū)域時(shí)， 可相對(duì)于作業(yè)區(qū)域從前后方向的一端側(cè)進(jìn)行該進(jìn)出作業(yè)。
在上述結(jié)構(gòu)的裝置中，可使制品收容區(qū)域包含將未作業(yè)的制品搬入并收 容的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容完成作業(yè)后欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域， 制品搬入?yún)^(qū)域和制品搬出區(qū)域分別配置在作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)。
若使用該結(jié)構(gòu)，一對(duì)直動(dòng)臂能夠以利用制品工具保持制品的狀態(tài)分別進(jìn)行 獨(dú)立的搬運(yùn)動(dòng)作，從而將未作業(yè)的制品從制品搬入?yún)^(qū)域搬入至作業(yè)部，或?qū)⑼?成作業(yè)的制品從作業(yè)部搬出至制品搬出區(qū)域。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中，可設(shè)置工具收容區(qū)域，該工具收容區(qū)域與作業(yè)區(qū) 域相鄰，且可交換地收容有對(duì)應(yīng)于各種制品的各種制品工具。
若使用該結(jié)構(gòu)，例如在替換制品類型使得保持形態(tài)變化時(shí)， 一對(duì)直動(dòng)臂可 移動(dòng)至工具收容區(qū)域來(lái)更換為與該制品對(duì)應(yīng)的制品工具。由此，在將多個(gè)副制 品安裝到主制品上的作業(yè)中，首先，利用一個(gè)制品工具將主制品搬入作業(yè)部， 然后對(duì)制品工具進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕粨Q，將副制品搬入作業(yè)部，從而進(jìn)行組裝作業(yè)。 像這樣，可利用一臺(tái)裝置進(jìn)行對(duì)制品進(jìn)行全作業(yè)工程。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中， 一對(duì)直動(dòng)臂包含分別在移動(dòng)引導(dǎo)器上沿前后方 向移動(dòng)的第1臂；以及相對(duì)于第1臂可沿左右方向伸縮的至少一條伸縮臂。
若使用該結(jié)構(gòu)，在使一對(duì)直動(dòng)臂沿前后方向移動(dòng)時(shí)，只要使伸縮臂收縮就 可防止相互的千涉，因此可使直動(dòng)臂整體進(jìn)行圓滑的動(dòng)作。另外， 一對(duì)直動(dòng)臂 由第1臂和至少一條伸縮臂構(gòu)成，因此可實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。
上述構(gòu)成的裝置中，可在伸縮臂上設(shè)有多個(gè)制品工具。
若使用該結(jié)構(gòu)，在多個(gè)制品工具為同一種類時(shí)可一次對(duì)多個(gè)同種的制品進(jìn) 行搬運(yùn)，另一方面，在多個(gè)制品工具為不同種類時(shí)可同時(shí)對(duì)多個(gè)不同種類的制 品進(jìn)行搬運(yùn)，或者，僅使用對(duì)應(yīng)于制品或收容制品的規(guī)定位置的制品工具僅搬 運(yùn)相應(yīng)的制品。另外，在同時(shí)對(duì)不同種類的制品(例如主制品及多個(gè)副制品) 進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)，無(wú)需針對(duì)每個(gè)制品返回制品收容區(qū)域，可將副制品依次連續(xù)地組 裝到主制品上，從而實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)時(shí)間及作業(yè)時(shí)間的縮短化，高效化。
在上述結(jié)構(gòu)的裝置中，伸縮臂上設(shè)有圓板狀的旋轉(zhuǎn)盤(pán)，旋轉(zhuǎn)盤(pán)上沿周向設(shè)
有多個(gè)制品工具。
若使用該結(jié)構(gòu)，通過(guò)使旋轉(zhuǎn)盤(pán)旋轉(zhuǎn)，可選擇制品與作業(yè)部的位置關(guān)系或制 品與制品工具的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)進(jìn)行定位，因此可進(jìn)行圓滑的搬運(yùn)作業(yè)。
在上述結(jié)構(gòu)的裝置中，一對(duì)直動(dòng)臂的一方中所包含的伸縮臂與一對(duì)直動(dòng)臂 的另一方中所包含的伸縮臂配置于鉛直方向上的不同高度的位置。
若使用該結(jié)構(gòu)，在一對(duì)直動(dòng)臂沿前后方向移動(dòng)而交錯(cuò)時(shí)，即使不使伸縮臂 完全收縮至收縮位置也可防止相互的干涉。因此，可完全或部分地不進(jìn)行防止 干涉的收縮動(dòng)作，從而使搬運(yùn)動(dòng)作更圓滑。
上述第l觀點(diǎn)的裝置中，作業(yè)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有沿周向排列的 多個(gè)制品保持部，旋轉(zhuǎn)臺(tái)以規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)，從而將制品保持部同時(shí)定位于以下 位置直動(dòng)臂將制品搬入的制品搬入位置；對(duì)制品進(jìn)行作業(yè)的制品作業(yè)位置； 以及直動(dòng)臂將制品搬出的制品搬出位置。
若使用該結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)作為分度工作臺(tái)發(fā)揮作用，使得向制品搬入位置、 制品作業(yè)位置、制品搬出位置的定位動(dòng)作都同時(shí)進(jìn)行，因此無(wú)等待時(shí)間，從而 進(jìn)一步提高生產(chǎn)性(高產(chǎn)量化)。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置中，包含作業(yè)單元 和連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，該作業(yè)單元包含沿前后方向伸長(zhǎng)且設(shè)置在左右兩邊的一對(duì) 移動(dòng)導(dǎo)向器；在移動(dòng)導(dǎo)向器上各自獨(dú)立地移動(dòng)、且可在相對(duì)的左右方向上從互 不干涉的收縮位置至相互交迭的伸長(zhǎng)位置之間伸縮自如的一對(duì)直動(dòng)臂；配置于 夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域內(nèi)且對(duì)制品進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)部；與作業(yè) 區(qū)域相鄰配置、且為了將制品搬入及搬出而暫時(shí)收容制品的制品收容區(qū)域；以 及為了在制品收容區(qū)域與作業(yè)部間搬運(yùn)制品或?yàn)榱嗽诎徇\(yùn)后進(jìn)行作業(yè)而分別 安裝在一對(duì)直動(dòng)臂上的制品工具，該連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)在作業(yè)單元排列有多個(gè)的狀 態(tài)下將相鄰的作業(yè)單元連結(jié)來(lái)搬運(yùn)制品。
若使用該結(jié)構(gòu)，利用連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將制品從上游側(cè)的作業(yè)單元依次搬運(yùn)至 下游側(cè)的作業(yè)單元，從而可對(duì)制品連續(xù)進(jìn)行一系列的相關(guān)作業(yè)，因此可實(shí)現(xiàn)作 業(yè)的自動(dòng)化，以提高生產(chǎn)性。
上述第2觀點(diǎn)的裝置中，作業(yè)單元沿前后方向排列有多個(gè)，連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)
將作業(yè)單元彼此直列連接。
若使用該結(jié)構(gòu)，可將多個(gè)作業(yè)單元沿前后方向(移動(dòng)引導(dǎo)器的伸長(zhǎng)方向) 排列，且對(duì)作業(yè)單元間可利用一個(gè)直線的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)連結(jié)，因此可實(shí)現(xiàn)裝置 的寬度狹窄化、集中化。
在上述直列連接的結(jié)構(gòu)的裝置中，制品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容 的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū) 域和制品搬出區(qū)域分別配置在作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)，連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將 位于上游側(cè)的作業(yè)單元的制品搬出區(qū)域和位于下游側(cè)的作業(yè)單元的制品搬入 區(qū)域連結(jié)。
若使用該結(jié)構(gòu)，在上游側(cè)的作業(yè)單元中完成作業(yè)的制品從該制品搬出區(qū)域 通過(guò)連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)被運(yùn)送至下游側(cè)的作業(yè)單元的制品搬入?yún)^(qū)域，進(jìn)行該作業(yè)單 元中的作業(yè)。像這樣，通過(guò)連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，可將制品從上游側(cè)的作業(yè)單元依次 向下游側(cè)的作業(yè)單元搬運(yùn)，同時(shí)對(duì)制品進(jìn)行一系列的作業(yè)。
上述第2觀點(diǎn)的裝置中，作業(yè)單元沿前后方向直接連結(jié)且排列有多個(gè)，作 業(yè)單元各自所含的一對(duì)直動(dòng)臂兼任連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。
若使用該結(jié)構(gòu)，作業(yè)單元各自所含的一對(duì)直動(dòng)臂兼任對(duì)制品進(jìn)行交接的連 結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，即可轉(zhuǎn)移至其它的作業(yè)單元，因此無(wú)需專用的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，從 而可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)裝置的集中化，小型化等。
上述第2觀點(diǎn)的裝置中，作業(yè)單元沿前后方向直接連結(jié)且排列有多個(gè)，制 品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容欲搬出的 制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū)域和制品搬出區(qū)域分別配置在作業(yè)區(qū)域的 前后方向的兩端側(cè)，制品搬入?yún)^(qū)域或制品搬出區(qū)域兼?zhèn)溆羞B結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。
若使用該結(jié)構(gòu)，作業(yè)單元各自所含的制品搬入?yún)^(qū)域或制品搬出區(qū)域兼?zhèn)溆?對(duì)制品進(jìn)行交接的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，因此無(wú)需專用的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，從而可簡(jiǎn)化 結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)裝置的集中化，小型化等。
上述第2觀點(diǎn)的裝置中，作業(yè)單元沿左右方向排列有多個(gè)，連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu) 將作業(yè)單元彼此并列連結(jié)。
若使用該結(jié)構(gòu)，可將多個(gè)作業(yè)單元沿左右方向(直動(dòng)臂的伸縮方向)排列，
同時(shí)將連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)配置在作業(yè)單元的前側(cè)及/或后側(cè)，因此可靈活地進(jìn)行布 置。
在上述并列連結(jié)的結(jié)構(gòu)的裝置中，制品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容 的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū) 域和制品搬出區(qū)域分別配置在作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)，連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包 含將相鄰的作業(yè)單元的制品搬入?yún)^(qū)域彼此連結(jié)的連結(jié)搬入機(jī)構(gòu)；以及將相鄰 的作業(yè)單元的制品搬出區(qū)域彼此連結(jié)的連結(jié)搬出機(jī)構(gòu)。
若使用該結(jié)構(gòu)，在利用各自的作業(yè)單元進(jìn)行相同的作業(yè)時(shí)，可將制品從連 結(jié)搬入機(jī)構(gòu)搬入各自的作業(yè)單元，從完成作業(yè)的作業(yè)單元的制品開(kāi)始依次通過(guò) 連結(jié)搬出機(jī)構(gòu)將制品搬出。由此，可在整體上進(jìn)行有效的作業(yè)及搬運(yùn)，從而提 高生產(chǎn)性。另外，可根據(jù)產(chǎn)量的增減來(lái)增減作業(yè)單元的設(shè)置個(gè)數(shù)，進(jìn)行高效的 生產(chǎn)，以降低生產(chǎn)的成本。


圖1是說(shuō)明本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置的一實(shí)施方式的俯視圖。 圖2是圖1所示的制品運(yùn)送裝置的主視圖。 圖3是圖1所示的制品運(yùn)送裝置的右視圖。
圖4是表示圖1的制品運(yùn)送裝置的一對(duì)直動(dòng)臂移動(dòng)后的狀態(tài)的俯視圖。
圖5是表示將本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置應(yīng)用于無(wú)塵室的狀態(tài)的主視圖。
圖6是表示本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置的其它實(shí)施方式的俯視圖。
圖7是表示本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式的俯視圖。
圖8A、圖8B、圖8C是分別表示不同的制品工具的側(cè)視圖。
圖9A及圖9B是表示直動(dòng)臂的其它實(shí)施方式的局部俯視圖。
圖10是采用圖9A所示的直動(dòng)臂的制品運(yùn)送裝置的主視圖。
圖IIA及圖11B是表示直動(dòng)臂的別的實(shí)施方式的局部俯視圖。
圖12是表示直動(dòng)臂的別的其它實(shí)施方式的制品運(yùn)送裝置的主視圖。
圖13是表示本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式的俯視圖。
圖14是將圖13所示的制品運(yùn)送裝置中所含的作業(yè)部放大的放大俯視圖。
圖15是表示本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式的俯視圖。 圖16是說(shuō)明本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的一實(shí)施方式的俯視圖。
圖17是說(shuō)明本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的其它實(shí)施方式的俯視圖。 圖18是說(shuō)明本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式的俯視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的最佳實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
該制品運(yùn)送裝置如圖1至圖4所示，包括大致矩形的基座10;在基座
10上的左側(cè)Ly及右側(cè)Ry沿前后方向X伸長(zhǎng)設(shè)置的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'; 在各移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'上獨(dú)立地移動(dòng)的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30';配置于夾在 一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'間的作業(yè)區(qū)域40內(nèi)的大致中央(通過(guò)中心線L的領(lǐng) 域)的作業(yè)部41;與作業(yè)區(qū)域40鄰接且配置于基座10的前側(cè)Fx的制品收容 區(qū)域50;以及分別安裝在一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'上的制品工具60、 60'等。
一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20，分別將一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'獨(dú)立地沿前后方向 X引導(dǎo)。由此，作為移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'，只要是沿前后方向X伸長(zhǎng)并引導(dǎo)直 動(dòng)臂30、 30'的構(gòu)件，可采用導(dǎo)軌、導(dǎo)桿、引導(dǎo)槽等各種結(jié)構(gòu)。
另外，在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'的兩端設(shè)有限制直動(dòng)臂30、 30'移動(dòng)
的制動(dòng)器(未圖示)。
一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'包括沿左右方向Y伸長(zhǎng)形成規(guī)定的長(zhǎng)度且直接被 移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20，引導(dǎo)的第1臂31、 31，；相對(duì)于第1臂31、 31，可沿左 右方向Y伸縮的伸縮臂32、 32'。
而且， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30，分別在移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'上沿前后方向X 獨(dú)立地移動(dòng)，且可在相對(duì)的左右方向Y上從互不干涉的收縮位置(例如，如圖 4所示的收縮位置)伸縮自如地變?yōu)榻坏纳扉L(zhǎng)位置(例如，如圖2所示的伸 長(zhǎng)位置)，使設(shè)置在前端的制品工具60、 60'沿作業(yè)區(qū)域40的大致全域移動(dòng)。
另外，伸縮臂32、 32'并不限定為一條臂，也可使多條臂以多段伸縮來(lái) 形成。
在此，作為使一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'沿前后方向X移動(dòng)或沿左右方向Y伸
縮的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，可采用使用直流馬達(dá)、步進(jìn)馬達(dá)等的電磁致動(dòng)器、絲杠等的 各種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
作業(yè)區(qū)域40形成于夾在基座10上的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'間的領(lǐng)域 內(nèi)，含有對(duì)制品W進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的至少一個(gè)作業(yè)部41。作業(yè)部41如圖1所示， 配置在通過(guò)中心線L的大致中央位置(前后方向X及左右方向Y的中央位置)。
另外，作業(yè)部41的配置場(chǎng)所，雖不限定于中央領(lǐng)域，但為了使各直動(dòng)臂 30、 30'可以最短的距離搬運(yùn)制品W，最好配置在中央領(lǐng)域。
制品收容區(qū)域50如圖1所示，配置在與作業(yè)區(qū)域40相鄰的前側(cè)Fx、且 載有制品W的多個(gè)托盤(pán)T可沿左右方向Y排列。在此，制品收容區(qū)域50相對(duì) 于作業(yè)區(qū)域40配置在前后方向X的前側(cè)Fx (—端側(cè))，因此，例如在作業(yè)者 使存放有制品W的托盤(pán)T進(jìn)出制品收容區(qū)域50時(shí)，可容易地從前側(cè)Fx進(jìn)行該 出入作業(yè)。
制品工具60、 60'如圖1至3所示，包括可裝卸地安裝于直動(dòng)臂30、 30'的伸縮臂32、 32'的前端領(lǐng)域的本體部61、 61，；以及可相對(duì)于本體部 61、 61'沿鉛直方向升降地連結(jié)、且在下端把持并保持制品W的升降夾爪(或 可相對(duì)于本體部61、 61'沿鉛直方向升降地連結(jié)、且在保持制品的同時(shí)進(jìn)行作 業(yè)的作業(yè)工具部及其驅(qū)動(dòng)源)62、 62'。
而且，直動(dòng)臂30、 30'沿前后方向X及左右方向Y移動(dòng)，使制品工具60、 60，定位于制品收容區(qū)域50或作業(yè)部41，且使升降夾爪(或作業(yè)工具部)62、 62，相對(duì)于本體部61、 61'進(jìn)行適當(dāng)?shù)纳底鳂I(yè)，從而將未作業(yè)的制品W從制 品收容區(qū)域50內(nèi)的托盤(pán)T取出并保持，在直動(dòng)臂30、 30'的搬入動(dòng)作中使制 品W維持不脫落的保持狀態(tài)地搬運(yùn)至作業(yè)部41中并定位于規(guī)定位置(或在定 位的同時(shí)進(jìn)行作業(yè))。另一方面，升降夾爪62、 62'將完成作業(yè)的制品W從作 業(yè)部41取出并保持，在直動(dòng)臂30、 30'的搬出作業(yè)中使制品W維持保持狀態(tài) 地搬運(yùn)至制品收容區(qū)域50內(nèi)的托盤(pán)T中收容并解除保持。由此，可進(jìn)行圓滑 的直線性的快速動(dòng)作，以縮短搬運(yùn)時(shí)間。
另外，作為具有升降夾爪62、 62'的制品工具60、 60'，只要是能夠可
靠地保持制品W的裝置，并不限定為對(duì)制品W進(jìn)行夾持的類型的夾爪，可采用
吸住制品W的吸附墊等各種結(jié)構(gòu)，另外，作為具有作業(yè)制品部62、 62'的制品 工具60、 60'，只要是能夠可靠地保持制品W并在作業(yè)部41中進(jìn)行規(guī)定作業(yè) (例如緊固、組裝等)的裝置，可采用使螺栓或螺母等嵌合或吸附保持來(lái)連 結(jié)的插口、螺絲刀等各種結(jié)構(gòu)。
以下對(duì)本裝置的動(dòng)作的一例進(jìn)行說(shuō)明， 一方的直動(dòng)臂30將未作業(yè)的制品 W從制品收容區(qū)域50內(nèi)的托盤(pán)T取出并利用制品工具60保持，將該制品W搬 入作業(yè)部41并定位于作業(yè)位置后釋放，在作業(yè)部41的附近等待。
而且，在作業(yè)完成后， 一方的直動(dòng)臂30利用制品工具60將完成作業(yè)的制 品W從作業(yè)部41取出并保持同時(shí)搬出至制品收容區(qū)域50，并將其收容于完成 作業(yè)用的托盤(pán)T并釋放。另一方面，在作業(yè)部41的附近等待的另一方的直動(dòng) 臂30'將保持的未作業(yè)的制品W搬入作業(yè)部41并定位于作業(yè)位置后釋放。
一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'連續(xù)重復(fù)該搬運(yùn)程序，對(duì)作為對(duì)象的制品W進(jìn)行搬 入及搬出。
在該制品收容區(qū)域50與作業(yè)部41間進(jìn)行的搬運(yùn)(搬入及搬出)動(dòng)作中， 在一對(duì)直動(dòng)臂30、 30，被各自的移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20，引導(dǎo)而沿前后方向X往 復(fù)運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，可如圖4所示那樣收縮以防止交錯(cuò)時(shí)互相干涉，因此，可進(jìn)行 無(wú)相互約束的自由的搬運(yùn)動(dòng)作，使得搬運(yùn)時(shí)間(運(yùn)送所需的時(shí)間)縮短化，提 高搬運(yùn)效率，其結(jié)果提高進(jìn)行作業(yè)的制品的生產(chǎn)性。
另外， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'在沿左右方向Y伸長(zhǎng)后會(huì)互相交迭，即一對(duì) 直動(dòng)臂30、 30'的移動(dòng)范圍在夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'間的作業(yè)區(qū)域40 內(nèi)交迭，因此可使結(jié)構(gòu)集中化，實(shí)現(xiàn)裝置在左右方向Y上的寬度狹窄化、小型 化。另外，只要在一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'在交迭狀態(tài)下可移動(dòng)的范圍即作業(yè)區(qū)域 40內(nèi)，可將作業(yè)部41配置于任何位置，若配置多個(gè)作業(yè)部41，則可進(jìn)行多種 作業(yè)。
上述的運(yùn)送裝置可應(yīng)用于在對(duì)電子部件或機(jī)械部件等各種制品W進(jìn)行處 理、檢查、測(cè)定、加工等各種作業(yè)時(shí)，在規(guī)定位置(制品收容區(qū)域50)與作業(yè) 部41間搬運(yùn)制品W的時(shí)候。
圖5表示了將該制品運(yùn)送裝置應(yīng)用于作為一例的半導(dǎo)體制造流水線的無(wú)
塵室CR的情況。也就是說(shuō)，該裝置如圖5所示，配置在具有潔凈過(guò)濾器CRF
的無(wú)塵室CR內(nèi)，為了對(duì)制品W (在此為半導(dǎo)體部件)進(jìn)行半導(dǎo)體制造用的各種
處理，在規(guī)定位置與作業(yè)部間有效地搬運(yùn)制品W。
由此，可實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造流水線的集中化，小空間化，從而提高生產(chǎn)性。 圖6表示了本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的其它實(shí)施方式。該裝置中，
如圖6所示，夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'間的作業(yè)區(qū)域40內(nèi)，設(shè)有2個(gè)作
業(yè)部41、 41，。
也就是說(shuō)，該裝置可同時(shí)對(duì)2個(gè)制品W進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)， 一方的直動(dòng)臂 30在制品收容區(qū)域50與一方的作業(yè)部41間以及制品收容區(qū)域50與另一方的 作業(yè)區(qū)域40'間進(jìn)行制品W的搬運(yùn)(搬入及搬出)動(dòng)作，另外，另一方的直 動(dòng)臂30，與該搬運(yùn)動(dòng)作不相關(guān)地獨(dú)立地在制品收容區(qū)域50與一方的作業(yè)部41 間以及制品收容區(qū)域50與另一方的作業(yè)區(qū)域40'間進(jìn)行制品W的搬運(yùn)(搬入 及搬出)動(dòng)作。像這樣，可將2個(gè)以上的作業(yè)部41配置在一對(duì)直動(dòng)臂30、 30' 在交迭狀態(tài)下的移動(dòng)范圍內(nèi)，因此可根據(jù)需要適當(dāng)進(jìn)行多種作業(yè)，從而提高生 產(chǎn)性。
另外，在這些搬運(yùn)動(dòng)作中， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30，可分別在沿左右方向Y 進(jìn)行適當(dāng)伸縮的同時(shí)沿前后方向X往復(fù)運(yùn)動(dòng)，以防止在交錯(cuò)時(shí)互相干涉，且在 制品收容區(qū)域50與作業(yè)部41、 41'間以最短距離移動(dòng)從而高效地對(duì)制品W進(jìn)
行搬運(yùn)。
圖7表示了本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式，與所述 實(shí)施方式的不同在于設(shè)有工具收容區(qū)域70。
也就是說(shuō)，該裝置如圖7所示，沿基座10上的前后方向X，與作業(yè)區(qū)域 40的前側(cè)Fx相鄰地配置有制品收容區(qū)域50，與作業(yè)區(qū)域40的后側(cè)Rx相鄰地 配置有工具收容區(qū)域70。 '
工具收容區(qū)域70中，設(shè)有多個(gè)工具保持部71，收容有多個(gè)不同種類的制 品工具60、 60'。作為這些制品工具60、 60',既可預(yù)先準(zhǔn)備如圖8A至圖8C 所示的具有與制品W的寬度尺寸對(duì)應(yīng)的升降夾爪62 (62')的制品工具，也可
預(yù)先準(zhǔn)備具有與制品W對(duì)應(yīng)的作業(yè)工具部(未圖示)的制品工具。
像這樣，通過(guò)設(shè)置與作業(yè)區(qū)域40相鄰且可交換地收容有對(duì)應(yīng)于各種制品
W的各種制品工具60、 60'的工具收容區(qū)域70，例如在替換制品W類型使得保 持形態(tài)變化時(shí)， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'可移動(dòng)至工具收容區(qū)域70當(dāng)即更換與該 制品W對(duì)應(yīng)的制品工具60、 60'。
由此，在將多個(gè)副制品W安裝到主制品W上的作業(yè)中，首先，利用一個(gè)制 品工具60、 60，將主制品W搬入作業(yè)部41，然后對(duì)制品工具60、 60，進(jìn)行適 當(dāng)?shù)慕粨Q，將副制品W搬入作業(yè)部41，從而進(jìn)行組裝作業(yè)。像這樣，可利用一 臺(tái)裝置對(duì)制品進(jìn)行全作業(yè)工程。
圖9A、圖9B、圖10表示了對(duì)構(gòu)成本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的一部 分的制品工具的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了變更的其它實(shí)施方式，圖10是采用圖9A所示的實(shí) 施方式的結(jié)構(gòu)的裝置的主視圖。
在圖9A及圖IO所示的裝置中，可在伸縮臂32、 32'的一側(cè)面上安裝多 個(gè)(在此為4個(gè))制品工具60、 60，。在圖9B所示的裝置中，可在伸縮臂32、 32，的兩側(cè)面上安裝多個(gè)(在此為8個(gè))制品工具60、 60'。
像這樣，通過(guò)在伸縮臂32、 32'上設(shè)置多個(gè)制品工具60、 60'，在多個(gè) 制品工具60、 60'為同一種類時(shí)可一次對(duì)多個(gè)同種的制品W進(jìn)行搬運(yùn)。另一方 面，在多個(gè)制品工具60、 60'為不同種類時(shí)可同時(shí)對(duì)不同種類的制品W進(jìn)行搬 運(yùn)。
另外，也可不同時(shí)使用全部的制品工具60、 60'，而僅選擇(使用)特 定的制品工具60、 60'僅搬運(yùn)相應(yīng)的制品W，該特定的制品工具60、 60'可 容易地對(duì)應(yīng)于制品W或收容有制品W的制品收容區(qū)域50的位置。
而且，若同時(shí)對(duì)不同種類的制品W (例如主制品及多個(gè)副制品)進(jìn)行搬運(yùn)， 就無(wú)需針對(duì)每個(gè)制品W返回制品收容區(qū)域50，可將副制品依次連續(xù)地組裝到主 制品上，從而實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)時(shí)間及作業(yè)時(shí)間的縮短化，高效化。
圖11A及11B表示了對(duì)構(gòu)成本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的一部分的一 對(duì)直動(dòng)臂的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了變更的其它實(shí)施方式。該裝置的伸縮臂32、 32'如圖 11A及11B所示，其前端設(shè)有可繞鉛直線旋轉(zhuǎn)的圓板狀的旋轉(zhuǎn)盤(pán)33。而且，該
旋轉(zhuǎn)盤(pán)33上可沿周向設(shè)有多個(gè)(在此為8個(gè))制品工具60、 60'。
像這樣，通過(guò)設(shè)置可在保持多個(gè)制品工具60、 60'的同時(shí)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)盤(pán) 33，使旋轉(zhuǎn)盤(pán)33適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而可選擇制品W與作業(yè)部41的位置關(guān)系 或制品W與制品工具60、 60'的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)進(jìn)行定位，因此可進(jìn)行圓滑的搬運(yùn) 作業(yè)。
圖12表示了對(duì)構(gòu)成本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的一部分的一對(duì)直動(dòng) 臂的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了變更的別的其它實(shí)施方式。該裝置中， 一方的直動(dòng)臂30中所 包含的伸縮臂32與另一方的直動(dòng)臂30'中所包含的伸縮臂32'配置于鉛直方 向Z上的不同高度的位置。而且，在位于上側(cè)的伸縮臂32上設(shè)有制品工具60， 該制品工具60具有移動(dòng)行程較長(zhǎng)的升降夾爪(或作業(yè)工具部)62，在位于下 側(cè)的伸縮臂32'上設(shè)有制品工具60'，該制品工具60'具有移動(dòng)行程較短的 升降夾爪(或作業(yè)工具部)62'。
像這樣，通過(guò)將伸縮臂32、 32'配置于不同高度的位置，在一對(duì)直動(dòng)臂 30、 30，沿前后方向X移動(dòng)而交錯(cuò)時(shí)，即使不使伸縮臂32、 32，完全收縮至收 縮位置也可防止相互的干涉。因此，可完全或部分地不進(jìn)行防止干涉的收縮動(dòng) 作，從而使搬運(yùn)動(dòng)作更圓滑。
圖13及圖14表示了本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方 式，與所述圖l所示的實(shí)施方式的不同在于，采用旋轉(zhuǎn)臺(tái)141作為作業(yè)部，在 制品收容區(qū)域50中設(shè)有前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)51及左右移動(dòng)機(jī)構(gòu)52。
該裝置中，制品收容區(qū)域50中如圖13所示，設(shè)有使載有制品W的托盤(pán) T沿前后方向X移動(dòng)的前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)51;以及使載有制品W的托盤(pán)T沿左右方 向Y移動(dòng)的左右移動(dòng)機(jī)構(gòu)52。而且，可利用前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)51使載有制品W的 托盤(pán)T沿前后方向X移動(dòng)以進(jìn)行替換，并利用左右移動(dòng)機(jī)構(gòu)52使載有制品W 的托盤(pán)T沿左右方向Y移動(dòng)以進(jìn)行替換。
由此，可使例如通過(guò)對(duì)未作業(yè)的制品W和完成作業(yè)的制品W的交換來(lái)進(jìn)行 的制品W的保管、等待、或篩選等容易進(jìn)行。
另外，在作業(yè)區(qū)域40中，設(shè)有作為作業(yè)部的旋轉(zhuǎn)臺(tái)141，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)141 具有沿周向排列的多個(gè)(在此為6個(gè))制品保持部141a。旋轉(zhuǎn)臺(tái)141可旋轉(zhuǎn)地
支撐在基座10上，以規(guī)定角度(在此為60度)的間距逐步旋轉(zhuǎn)。另外，在基
座10上，如圖14所示，在旋轉(zhuǎn)臺(tái)141的對(duì)應(yīng)于以等間隔配置的3個(gè)制品保持 部141a的固定位置上，設(shè)定有直動(dòng)臂30、 30，將制品W搬入的制品搬入位 置Pin;對(duì)制品W進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)的制品作業(yè)位置Pw;以及直動(dòng)臂30、 30，將 制品W搬出的制品搬出位置Pout 。
而且，通過(guò)使旋轉(zhuǎn)臺(tái)141以60度間距旋轉(zhuǎn)，使制品保持部141a同時(shí)定位 于制品搬入位置Pin、制品作業(yè)位置Pw、制品搬出位置Pout，從而對(duì)制品W 進(jìn)行定位。
也就是說(shuō)，旋轉(zhuǎn)臺(tái)141作為分度工作臺(tái)發(fā)揮作用，使得向制品搬入位置 Pin、制品作業(yè)位置Pw、制品搬出位置Pout的制品W定位動(dòng)作都同時(shí)進(jìn)行，因 此無(wú)等待時(shí)間，從而進(jìn)一步提高生產(chǎn)性(高產(chǎn)量化)。另外，若至少使向制品 搬入位置Pin和制品搬出位置Pout的制品W定位動(dòng)作同時(shí)進(jìn)行，則可提高作 業(yè)效率。
圖15表示了本發(fā)明第1觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式，與所 述圖13所示的實(shí)施方式的不同在于，對(duì)制品收容區(qū)域進(jìn)行了變更。
該裝置中，在基座10上的前后方向X上，在前側(cè)Fx配置有作為制品收容 區(qū)域的將未作業(yè)的制品W搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域53，在后側(cè)Rx配置有用 以收容完成作業(yè)后欲搬出的制品W的制品搬出區(qū)域54。也就是說(shuō)，制品搬入?yún)^(qū) 域53和制品搬出區(qū)域54在隔著作業(yè)區(qū)域40的狀態(tài)下彼此分離地分別配置在 前后方向X的兩端側(cè)。
而且， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'在利用制品工具60、 60'保持制品W的同時(shí)， 進(jìn)行各自獨(dú)立的搬運(yùn)動(dòng)作，從而將未作業(yè)的制品W從制品搬入?yún)^(qū)域53搬入作 業(yè)部(旋轉(zhuǎn)臺(tái))141，并將完成作業(yè)的制品W從作業(yè)部(旋轉(zhuǎn)臺(tái))141搬入制品 搬出區(qū)域54。
像這樣，通過(guò)將制品搬入?yún)^(qū)域53及制品搬出區(qū)域54配置在前后方向X 的兩端側(cè)，形成沿搬入一作業(yè)一搬出這樣的制品W流程的配置結(jié)構(gòu)，使一對(duì)直 動(dòng)臂30、 30，的搬入動(dòng)作及搬出過(guò)可圓滑地進(jìn)行，從而提高生產(chǎn)性。
圖16表示了本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的一實(shí)施方式。該裝置中，
如圖16所示，由與上述相同的基座IO、 一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'、 一對(duì)直動(dòng) 臂30、 30'、包含作業(yè)部41的作業(yè)區(qū)域40、作為制品收容區(qū)域的制品搬入?yún)^(qū) 域53及制品搬出區(qū)域54、制品工具60、 60'等形成一個(gè)作業(yè)單元U。
而且，該作業(yè)單元U沿前后方向X (移動(dòng)引導(dǎo)器20、 20'的伸長(zhǎng)方向)排 列有多個(gè)，利用連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)100將相鄰的作業(yè)單元U彼此直列連接，在上游 側(cè)的作業(yè)單元U與下游側(cè)的作業(yè)單元U間對(duì)制品W進(jìn)行交接。
該裝置中，在上游側(cè)的作業(yè)單元U中完成作業(yè)后， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30' 將完成作業(yè)的制品W保持并搬運(yùn)至制品搬出區(qū)域54中暫時(shí)收容。由此，連結(jié) 搬運(yùn)機(jī)構(gòu)100將該制品W搬運(yùn)至下游側(cè)的作業(yè)單元U的制品搬入?yún)^(qū)域53。然后， 該作業(yè)單元U所含的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'將制品W從制品搬入?yún)^(qū)域53取出并 帶入作業(yè)部41，作業(yè)部41對(duì)制品W進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)。作業(yè)完成后， 一對(duì)直動(dòng) 臂30、 30，將該制品W搬運(yùn)至制品搬出區(qū)域54并暫時(shí)收容。然后，下游側(cè)的 連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)100將該制品W搬運(yùn)至更下游側(cè)的作業(yè)單元U的制品搬入?yún)^(qū)域53 并重復(fù)以下的程序。即通過(guò)連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)100將制品W從上游側(cè)的作業(yè)單元U 依次搬運(yùn)至下游側(cè)的作業(yè)單元U，同時(shí)對(duì)制品W連續(xù)進(jìn)行一系列的相關(guān)作業(yè)。
由此，通過(guò)預(yù)先在各作業(yè)單元U中分配必須的作業(yè)工序，將制品W從上游 側(cè)的作業(yè)單元U依次搬運(yùn)至下游側(cè)的作業(yè)單元U，從而對(duì)制品W連續(xù)進(jìn)行所分 配的一系列的相關(guān)作業(yè)，因此可實(shí)現(xiàn)作業(yè)的自動(dòng)化，以提高生產(chǎn)性。另外，像 這樣，在將作業(yè)單元U作為基本結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，通過(guò)對(duì)制品工具60、 60'或作 業(yè)部41進(jìn)行變更，可形成對(duì)應(yīng)于作業(yè)種類的專用的作業(yè)單元U，從而提供一種 在實(shí)現(xiàn)設(shè)備費(fèi)用降低的同時(shí)可進(jìn)行各種專用作業(yè)的裝置。
圖17表示了本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的其它實(shí)施方式，其中取消 了上述圖16所示的實(shí)施方式中所含的專用的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)100。
如圖17所示，該裝置中，該作業(yè)單元U沿前后方向X鄰接地排列有多個(gè) 且直接直列連接， 一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'伸長(zhǎng)至基座10的前端及后端，拆 除兩端的制動(dòng)器。
此時(shí)，各作業(yè)單元U所含的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20'處于沿前后方向X 連接為一直線的排列狀態(tài)，各作業(yè)單元U所含的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'可轉(zhuǎn)移
至與其相鄰的其它的作業(yè)單元U。
也就是說(shuō)，各作業(yè)單元U所含的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30，兼任對(duì)相鄰的作業(yè) 單元U之間進(jìn)行連結(jié)以搬運(yùn)制品W的連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。因此，無(wú)需專用的連結(jié)搬 運(yùn)機(jī)構(gòu)，從而可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)裝置的集中化，小型化等。
該裝置中，在上游側(cè)的作業(yè)單元U中的作業(yè)完成后， 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30' 將完成作業(yè)的制品W保持并搬運(yùn)至制品搬出區(qū)域54中暫時(shí)收容。然后，使下 游側(cè)的作業(yè)單元U所含的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'轉(zhuǎn)移至上游側(cè)的作業(yè)單元U中來(lái) 對(duì)收容在制品搬出區(qū)域54中的制品W予以保持，然后返回下游側(cè)的作業(yè)單元U 將制品W交接至制品搬入?yún)^(qū)域53。另外，也可對(duì)上游側(cè)的作業(yè)單元U所含的一 對(duì)直動(dòng)臂30、 30'進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使其轉(zhuǎn)移至下游側(cè)的作業(yè)單元U來(lái)對(duì)制品W進(jìn)行 交接。
也就是說(shuō)，通過(guò)可轉(zhuǎn)移至相鄰的其它作業(yè)區(qū)域U的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'， 可將制品W從上游側(cè)的作業(yè)單元U依次向下游側(cè)的作業(yè)單元U搬運(yùn)，同時(shí)對(duì)制 品W進(jìn)行一系列的作業(yè)。
由此，通過(guò)預(yù)先在各作業(yè)單元U中分配必須的作業(yè)工序，將制品W從上游 側(cè)的作業(yè)單元U依次搬運(yùn)至下游側(cè)的作業(yè)單元U，從而對(duì)制品W連續(xù)進(jìn)行所分 配的一系列的相關(guān)作業(yè)，因此可實(shí)現(xiàn)作業(yè)的自動(dòng)化，以提高生產(chǎn)性。
另外，也可不將各作業(yè)單元U所含的一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'作為連結(jié)搬運(yùn) 機(jī)構(gòu)利用，而是采用使各作業(yè)單元U所含的制品搬入?yún)^(qū)域53或制品搬出區(qū)域 54兼?zhèn)溆羞B結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)。此時(shí)，作業(yè)單元U各自所含的制品搬入?yún)^(qū)域 53或制品搬出區(qū)域54為了對(duì)制品W進(jìn)行交接，與上述同樣的不設(shè)置專用的連 結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，從而可簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)裝置的集中化，小型化等。另外，也可 取消上游側(cè)的制品搬出區(qū)域54和下游側(cè)的制品搬入?yún)^(qū)域53中的任一方，采用 上游側(cè)與下游側(cè)共通的區(qū)域。
圖18表示了本發(fā)明第2觀點(diǎn)的制品運(yùn)送裝置的別的其它實(shí)施方式。
該裝置中，如圖18所示，由與上述相同的基座IO、 一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器20、 20，、 一對(duì)直動(dòng)臂30、 30'、包含作業(yè)部41的作業(yè)區(qū)域40、作為制品收容區(qū) 域的制品搬入?yún)^(qū)域53及制品搬出區(qū)域54、制品工具60、 60'等形成一個(gè)作業(yè)
單元U。
而且，該作業(yè)單元U沿左右方向Y (直動(dòng)臂30、 30'的伸縮方向)排列有 多個(gè)，相鄰的作業(yè)單元u間利用作為連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的連結(jié)搬入機(jī)構(gòu)110及連結(jié) 搬出機(jī)構(gòu)120并列連結(jié)。也就是說(shuō)，連結(jié)搬入機(jī)構(gòu)IIO將相鄰的作業(yè)單元U的 制品搬入?yún)^(qū)域53彼此連接并將制品W搬入，連結(jié)搬出機(jī)構(gòu)120將相鄰的作業(yè) 單元U的制品搬出區(qū)域54彼此連接并將制品W搬出。
該裝置中，在各自的作業(yè)單元U中進(jìn)行相同的作業(yè)時(shí)，將制品W從連結(jié)搬 入機(jī)構(gòu)110搬入各自的作業(yè)單元U。然后，在各自的作業(yè)單元U中對(duì)制品W進(jìn) 行作業(yè)，從完成作業(yè)的作業(yè)單元U依次通過(guò)連結(jié)搬出機(jī)構(gòu)120將制品W搬出。 由此，可在整體上進(jìn)行有效的作業(yè)及搬運(yùn)，從而提高生產(chǎn)性。另外，該裝置中， 可將連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)配置在作業(yè)單元U的前側(cè)及/或后側(cè)，因此可靈活地進(jìn)行布 置。而且，可根據(jù)產(chǎn)量的增減來(lái)增減作業(yè)單元U的設(shè)置個(gè)數(shù)，進(jìn)行高效的生產(chǎn)， 以降低生產(chǎn)的成本。
如上所述，利用本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置，可實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)略化、各機(jī)構(gòu)集中 化、裝置整體小型化、設(shè)置面積的空間節(jié)省化、搬運(yùn)制品所需時(shí)間的縮短化等， 使對(duì)半導(dǎo)體片、基板等電子部件或機(jī)械部件等制品進(jìn)行涂敷、熱處理、化學(xué)處
理、洗凈處理等處理、檢查、測(cè)定、機(jī)械加工、組裝等各種作業(yè)可高效地進(jìn)行， 從而提高生產(chǎn)性。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
如上所述，本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置，可有效地應(yīng)用于在對(duì)制品進(jìn)行各種作 業(yè)時(shí)必須對(duì)制品進(jìn)行搬運(yùn)及定位等的鄰域，例如，半導(dǎo)體制造的鄰域，汽車(chē)或 其零件的生產(chǎn)流水線、電子設(shè)備或其零件的生產(chǎn)流水線、以及其它機(jī)械或電子 零件等相關(guān)領(lǐng)域。
權(quán)利要求
1、一種制品運(yùn)送裝置，其特征在于，包含沿前后方向伸長(zhǎng)且設(shè)置在左右兩邊的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器；在所述移動(dòng)導(dǎo)向器上各自獨(dú)立地移動(dòng)、且可在相對(duì)的左右方向上從互不干涉的收縮位置至相互交迭的伸長(zhǎng)位置之間伸縮自如的一對(duì)直動(dòng)臂；配置于夾在所述一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域內(nèi)且對(duì)制品進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)部；以及為了在規(guī)定位置與所述作業(yè)部間搬運(yùn)制品或?yàn)榱嗽诎徇\(yùn)后進(jìn)行作業(yè)而分別安裝在所述一對(duì)直動(dòng)臂上的制品工具。
2、 如權(quán)利要求l所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品工具包含可裝卸地分別安裝在所述一對(duì)直動(dòng)臂上的本體部；以 及可相對(duì)于所述本體部升降地連結(jié)、且用以把持制品的升降夾爪。
3、 如權(quán)利要求l所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品工具包含可裝卸地分別安裝在所述一對(duì)直動(dòng)臂上的本體部；以 及可相對(duì)于所述本體部升降地連結(jié)、且在保持制品的同時(shí)進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)工具 部。
4、 如權(quán)利要求l所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，設(shè)有與所述作業(yè)區(qū)域相鄰、且為了將制品搬入及搬出而暫時(shí)收容制品的制 品收容區(qū)域。
5、 如權(quán)利要求4所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品收容區(qū)域中設(shè)有使制品沿前后方向移動(dòng)的前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)；以及 使制品沿左右方向移動(dòng)的左右移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
6、 如權(quán)利要求4所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于， 所述制品收容區(qū)域相對(duì)于所述作業(yè)區(qū)域配置于前后方向的一端側(cè)。
7、 如權(quán)利要求4所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品收容區(qū)域包含將未作業(yè)的制品搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域；以 及用以收容完成作業(yè)后欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域， 所述制品搬入?yún)^(qū)域和所述制品搬出區(qū)域分別配置在所述作業(yè)區(qū)域的前后 方向的兩端側(cè)。
8、 如權(quán)利要求l所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，設(shè)有工具收容區(qū)域，該工具收容區(qū)域與所述作業(yè)區(qū)域相鄰，且可交換地收 容有對(duì)應(yīng)于各種制品的各種所述制品工具。
9、 如權(quán)利要求l所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述一對(duì)直動(dòng)臂包含分別在所述移動(dòng)引導(dǎo)器上沿前后方向移動(dòng)的第1 臂；以及相對(duì)于所述第1臂可沿左右方向伸縮的至少一條伸縮臂。
10、 如權(quán)利要求9所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述伸縮臂上設(shè)有多個(gè)所述制品工具。
11、 如權(quán)利要求9所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述伸縮臂上設(shè)有圓板狀的旋轉(zhuǎn)盤(pán)，所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)上沿周向設(shè)有多個(gè)所述制 品工具。
12、 如權(quán)利要求9所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于， 所述一對(duì)直動(dòng)臂的一方中所包含的伸縮臂與所述一對(duì)直動(dòng)臂的另一方中所包含的伸縮臂配置于鉛直方向上的不同高度的位置。
13、 如權(quán)利要求1所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于， 所述作業(yè)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)臺(tái)，該旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有沿周向排列的多個(gè)制品保持部， 所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)以規(guī)定角度旋轉(zhuǎn)，從而將所述制品保持部同時(shí)定位于以下位置所述直動(dòng)臂將制品搬入的制品搬入位置；對(duì)制品進(jìn)行作業(yè)的制品作業(yè)位置； 以及所述直動(dòng)臂將制品搬出的制品搬出位置D
14、 一種制品運(yùn)送裝置，其特征在于，包含作業(yè)單元和連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，該 作業(yè)單元包含沿前后方向伸長(zhǎng)且設(shè)置在左右兩邊的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器；在所述 移動(dòng)導(dǎo)向器上各自獨(dú)立地移動(dòng)、且可在相對(duì)的左右方向上從互不干涉的收縮位 置至相互交迭的伸長(zhǎng)位置之間伸縮自如的一對(duì)直動(dòng)臂；配置于夾在所述一對(duì) 移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域內(nèi)且對(duì)制品進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)部；與所述作業(yè)區(qū)域 相鄰配置、且為了將制品搬入及搬出而暫時(shí)收容制品的制品收容區(qū)域；以及為 了在所述制品收容區(qū)域與所述作業(yè)部間搬運(yùn)制品或?yàn)榱嗽诎徇\(yùn)后進(jìn)行作業(yè)而 分別安裝在所述一對(duì)直動(dòng)臂上的制品工具，該連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)在所述作業(yè)單元排列有多個(gè)的狀態(tài)下將相鄰的作業(yè)單元 連結(jié)來(lái)搬運(yùn)制品。
15、 如權(quán)利要求14所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述作業(yè)單元沿前后方向排列有多個(gè)， 所述連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將所述作業(yè)單元彼此直列連接。
16、 如權(quán)利要求15所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收 容欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū)域和制品搬出區(qū)域分別配置在 所述作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)，所述連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將位于上游側(cè)的所述作業(yè)單元的制品搬出區(qū)域和位于 下游側(cè)的所述作業(yè)單元的制品搬入?yún)^(qū)域連結(jié)。
17、 如權(quán)利要求14所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述作業(yè)單元沿前后方向直接連結(jié)地排列有多個(gè)， 所述作業(yè)單元各自所含的一對(duì)直動(dòng)臂兼任所述連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。
18、 如權(quán)利要求14所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于， 所述作業(yè)單元沿前后方向直接連結(jié)且排列有多個(gè)，所述制品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū)域和制品搬出區(qū)域分別配置在 所述作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)，所述制品搬入?yún)^(qū)域或制品搬出區(qū)域兼?zhèn)溆兴鲞B結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)。
19、 如權(quán)利要求14所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于， 所述作業(yè)單元沿左右方向排列有多個(gè)， 所述連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)將所述作業(yè)單元彼此并列連結(jié)。
20、 如權(quán)利要求19所述的制品運(yùn)送裝置，其特征在于，所述制品收容區(qū)域包含將制品搬入并收容的制品搬入?yún)^(qū)域、以及用以收容欲搬出的制品的制品搬出區(qū)域，該制品搬入?yún)^(qū)域和制品搬出區(qū)域分別配置在 所述作業(yè)區(qū)域的前后方向的兩端側(cè)， 所述連結(jié)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)包含將相鄰的所述作業(yè)單元的制品搬入?yún)^(qū)域彼此連結(jié) 的連結(jié)搬入機(jī)構(gòu)；以及將相鄰的所述作業(yè)單元的制品搬出區(qū)域彼此連結(jié)的連結(jié) 搬出機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明的制品運(yùn)送裝置，包含沿前后方向(X)伸長(zhǎng)且設(shè)置在左右兩邊的一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器(20、20’)；在移動(dòng)導(dǎo)向器上各自獨(dú)立地移動(dòng)、且可在相對(duì)的左右方向(Y)上從互不干涉的收縮位置至相互交疊的伸長(zhǎng)位置之間伸縮自如的一對(duì)直動(dòng)臂(30、30’)；配置于夾在一對(duì)移動(dòng)導(dǎo)向器間的作業(yè)區(qū)域(40)內(nèi)且對(duì)制品進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的作業(yè)部(41)；為了在制品收容區(qū)域(50)與作業(yè)部(41)間搬運(yùn)制品或?yàn)榱嗽诎徇\(yùn)后進(jìn)行作業(yè)而分別安裝在一對(duì)直動(dòng)臂(30、30’)上的制品工具(60、60’)。由此，可使裝置集中化、寬度狹窄化，小型化、從而縮短對(duì)制品進(jìn)行各種作業(yè)所需的搬運(yùn)時(shí)間，以提高生產(chǎn)性。
文檔編號(hào)B23Q7/04GK101115582SQ200580047779
公開(kāi)日2008年1月30日 申請(qǐng)日期2005年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月15日
發(fā)明者平田耕也 申請(qǐng)人:平田機(jī)工株式會(huì)社