技術(shù)編號：3001299
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在對半導(dǎo)體片、基板等電子部件或機械部件等制品進行涂 敷處理、熱處理、化學(xué)處理、洗凈處理等處理、檢查、測定、機械加工、組裝 等各種作業(yè)時，保持制品以進行搬運及定位等的制品運送裝置。背景技術(shù)作為將半導(dǎo)體片等制品搬入及搬出檢查區(qū)域的以往的運送裝置，例如一種 已為公眾所知的裝置，該裝置具有2條搬運制品的搬運道；2條將制品吸住 并可沿垂直于2條搬運道的搬運方向的水平橫向(左右方向)及鉛直方向往復(fù) 運動的搬運帶；配置在2條搬運道的中央部的檢査插口等，兩只...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。