一種顆粒材料表面等離子體處理裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種顆粒材料表面等離子體處理裝置，包括外殼、電源、電極組件、震動盤和與所述震動盤連接的震動機構(gòu)，所述外殼上方可拆卸設(shè)置有蓋體，所述外殼壁體上設(shè)置有用于反應氣體進入外殼內(nèi)的氣體入口和用于抽真空的抽氣口，所述外殼內(nèi)設(shè)置有反應腔室，所述電極組件設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)并與所述電源連接，所述震動盤設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)。本實用新型中電極組件通電形成高頻電場將反應氣體電離，顆粒材料在高頻電場中進行表面處理，并且結(jié)合震動盤震動，顆粒材料在震動下翻轉(zhuǎn)，可實現(xiàn)均勻處理，處理效果好。
【專利說明】 一種顆粒材料表面等離子體處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及等離子體處理裝置，尤其涉及一種顆粒材料表面等離子體處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫等離子體技術(shù)作為一種新的表面改性手段，能快速、高效、無污染地改善材料的表面性能，賦予新的特征，同時又不改變材料的本體特點，已經(jīng)越來越被世界各國的研究人員所重視，等離子體表面處理是利用氣體放電產(chǎn)生的等離子體對材料表面進行物理和化學反應。參與反應的有激發(fā)態(tài)粒子、自由基和離子，也包括等離子體輻射紫外線的作用。通過表面反應有可能在表面引入特定官能團，產(chǎn)生表面活化和刻蝕，形成交聯(lián)結(jié)構(gòu)或生成表面自由基。這些作用一般不是單一的，往往某種作用為主，幾種作用并存。正是這些作用決定了等離子體表面處理的有效性。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用平板電極作為電極組件，材料在電極組件之間進行表面處理，待處理材料處于靜止狀態(tài)，在針對顆粒材料，由于顆粒材料的堆積特性，容易造成材料堆積，導致材料處理不均勻，處理效果不理想。
[0004]因此，亟需一種顆粒材料表面等離子體處理裝置。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種顆粒材料表面等離子體
處理裝置。
[0006]實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是:一種顆粒材料表面等離子體處理裝置，包括外殼、電源、電極組件、震動盤和與所述震動盤連接的震動機構(gòu)，所述外殼上方可拆卸設(shè)置有蓋體，所述外殼壁體上設(shè)置有用于反應氣體進入外殼內(nèi)的氣體入口和用于抽真空的抽氣口，所述外殼內(nèi)設(shè)置有反應腔室，所述電極組件設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)并與所述電源連接，所述震動盤設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)。
[0007]進一步的，所述蓋體為玻璃蓋體。
[0008]進一步的，所述電極組件為一對豎直設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)的平板電極，所述震動盤設(shè)置于兩個平板電極之間。
[0009]本實用新型具有積極的效果:本實用新型中電極組件通電形成高頻電場將反應氣體電離，顆粒材料在高頻電場中進行表面處理，并且結(jié)合震動盤震動，顆粒材料在震動下翻轉(zhuǎn)，可實現(xiàn)均勻處理，處理效果好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中:
[0011]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0012]其中:1、震動機構(gòu)，2、震動盤，3、反應腔室，4、蓋體，5、電極組件，6、外殼。
【具體實施方式】
[0013]實施例1
[0014]如圖1所示，本實用新型第一實施例提供一種顆粒材料表面等離子體處理裝置，包括外殼6、電源(圖中未示出)、電極組件5、震動盤2和與震動盤2連接的震動機構(gòu)1，外殼6上方可拆卸設(shè)置有蓋體4，外殼6壁體上設(shè)置有用于反應氣體進入外殼內(nèi)的氣體入口和用于抽真空的抽氣口，外殼6內(nèi)設(shè)置有反應腔室3，電極組件5為一對豎直設(shè)置于反應腔室3內(nèi)的平板電極，該對平板電極分別與電源連接，震動盤2設(shè)置于反應腔室3內(nèi)并設(shè)置于兩個平板電極之間。
[0015]本實施例中平板電極通電形成高頻電場將反應氣體電離，顆粒材料在高頻電場中進行表面處理，并且結(jié)合震動盤2震動，顆粒材料在震動下翻轉(zhuǎn)，可實現(xiàn)均勻處理，處理效果好。
[0016]實施例2
[0017]作為優(yōu)選實施例，其余與實施例1相同，不同之處在于，本實施例提供的蓋體4為玻璃蓋體，可方便查看顆粒材料在處理過程中的工作情況。
[0018]以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種顆粒材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，包括外殼、電源、電極組件、震動盤和與所述震動盤連接的震動機構(gòu)，所述外殼上方可拆卸設(shè)置有蓋體，所述外殼壁體上設(shè)置有用于反應氣體進入外殼內(nèi)的氣體入口和用于抽真空的抽氣口，所述外殼內(nèi)設(shè)置有反應腔室，所述電極組件設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)并與所述電源連接，所述震動盤設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述蓋體為玻璃蓋體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的顆粒材料表面等離子體處理裝置，其特征在于，所述電極組件為一對豎直設(shè)置于所述反應腔室內(nèi)的平板電極，所述震動盤設(shè)置于兩個平板電極之間。
【文檔編號】H01J37/32GK203562393SQ201320755495
【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年11月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月27日
【發(fā)明者】沈文凱, 王紅衛(wèi) 申請人:蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司