技術編號：2864182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種顆粒材料表面等離子體處理裝置，包括外殼、電源、電極組件、震動盤和與所述震動盤連接的震動機構，所述外殼上方可拆卸設置有蓋體，所述外殼壁體上設置有用于反應氣體進入外殼內(nèi)的氣體入口和用于抽真空的抽氣口，所述外殼內(nèi)設置有反應腔室，所述電極組件設置于所述反應腔室內(nèi)并與所述電源連接，所述震動盤設置于所述反應腔室內(nèi)。本實用新型中電極組件通電形成高頻電場將反應氣體電離，顆粒材料在高頻電場中進行表面處理，并且結合震動盤震動，顆粒材料在震動下翻轉(zhuǎn)，可實現(xiàn)均勻...
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