專利名稱：雙列直插式紫外光電管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種光電管，特別涉及一種雙列直插式紫外光電管。
背景技術(shù)：
紫外探測技術(shù)是繼紅外和激光技術(shù)之后發(fā)展起來的又一重要的光電探測技術(shù)，其在醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、軍事等領(lǐng)域的應(yīng)用前景廣闊，對一個國家的國防和國民經(jīng)濟建設(shè)均有重要的意義，可以廣泛應(yīng)用在航空器、火箭等的尾焰探測、導(dǎo)彈探測及制導(dǎo)、紫外保密通信、火災(zāi)報警等方面。目前的紫外光電管都是采用透紫玻璃或石英玻璃作為外殼和光窗，利用鉬、鎳等金屬材料作為光電子發(fā)射陰極，用玻殼把陰陽極封裝在光電管里邊，然后通過排氣之后再充入工作氣體，像制作燈泡一樣制作完成。申請?zhí)枮?00810044571. X的中國發(fā)明專利公開了一種紫外火焰?zhèn)鞲衅骷捌渲谱鞣椒?，包括透紫玻璃片；網(wǎng)狀陽極，該陽極層制作在透紫玻璃片上；陰極襯底玻璃片；光電陰極，該層制作在陰極襯底玻璃片上面；玻璃環(huán)，該玻璃環(huán)制作在陰極和陽極中間；抽真空口，該抽真空口制作在玻璃環(huán)上；塑封底座，該底座制作在陰極襯底玻璃下面；陰極和陽極引出線，該引出線粘接在塑封底座上，分別與陰極和陽極引出線相連接；塑料外殼，該外殼制作在塑封底座、玻璃環(huán)和玻璃片周圍。該發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、尺寸小、強度高、靈敏度高。但是，在制作紫外火焰?zhèn)鞲衅鬟^程中，玻璃環(huán)與帶電極的紫外玻璃片粘接形成玻璃腔體時，難以保證陰極和陽極之間的極間距離和平行度，影響器件工作時間和使用壽命，產(chǎn)品的成品率和一致性低。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述不足，提供一種確保陰極和陽極之間極間距離和平行度的雙列直插式紫外光電管，該雙列直插式紫外光電管靈敏度高 、體積小、生產(chǎn)自動化程度高、抗震性好，產(chǎn)品成品的一致性和優(yōu)品率高。為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案一種雙列直插式紫外光電管，包括管帽和管座，所述管帽與管座抽真空封裝成一體，所述管帽內(nèi)對應(yīng)設(shè)有臺階，所述由透紫材料制成的光窗設(shè)置在該臺階上，所述光窗下表面連接陽極，所述管座上表面設(shè)有陰極，所述管座兩側(cè)設(shè)有陽極引腳和陰極引腳，所述陽極和陰極分別連接到陽極引腳和陰極引腳。所述臺階的加工精度達到微米數(shù)量級，陰極和陽極分別位于所述臺階上下平面處，臺階確保了陽極和陰極的極間距離和平行度，極間距離和平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，提高了器件工作時間和使用壽命。作為優(yōu)選，所述陽極為金屬膜，且為絲狀結(jié)構(gòu)或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)的陽極透光率好，可增強光電效應(yīng)強度。進一步的，所述陽極采用金屬膜附著于光窗背面形成一體結(jié)構(gòu)。陽極不易散架，提高了器件使用壽命。作為優(yōu)選，所述光窗下表面是平面，上表面或為平面或為凸面，上表面為凸面時可
3增加外部通光量，提高探測靈敏度。作為優(yōu)選，所述陰極采用陶瓷基體表面鍍金屬膜形成一體結(jié)構(gòu)，該金屬膜為陰極。 陰極為面電極，擴大了光電子接觸面積，提高探測靈敏度。作為優(yōu)選，所述管帽和管座為陶瓷材料，陶瓷絕緣性好，熱膨脹系數(shù)小。作為優(yōu)選，所述臺階上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，以確保陽極和陰極的極間距離和平行度。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果1、本實用新型采用在管帽上設(shè)置一內(nèi)置臺階，其加工精度達到微米數(shù)量級，其上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，確保了陽極和陰極之間的極間距離和和平行度，極間距離和平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，提高器件工作時間和使用壽命；2、本實用新型采用透紫材料制作的絲狀或網(wǎng)狀陽極的透光率好，陰極為面電極， 擴大了光電子接觸面積，光電效應(yīng)響應(yīng)速度快、靈敏度高；3、本實用新型采用固體封裝結(jié)構(gòu)，封接為成品后所有零件成為一個剛體，以保證在一定的震動沖擊下，管子的零件和相對位置不變，抗沖擊震動性好。


圖1是本實用新型的雙列直插式紫外光電管結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實用新型的雙列直插式紫外光電管俯視圖；圖3是本實用新型的雙列直插式紫外光電管的網(wǎng)狀陽極圖；圖4是本實用新型的雙列直插式紫外光電管的絲狀陽極圖；圖中標(biāo)記1-光窗，2-管帽，3-陽極引腳，4-管座，5-陽極，6-陰極，7-陰極引腳， 8-金屬化釬焊層。
具體實施方式
下面結(jié)合試驗例及具體實施方式
對本實用新型作進一步的詳細描述。但不應(yīng)將此理解為本實用新型上述主題的范圍僅限于以下的實施例，凡基于本實用新型內(nèi)容所實現(xiàn)的技術(shù)均屬于本實用新型的范圍。實施例如圖1、圖2所示，一種雙列直插式紫外光電管，包括管帽2和管座4，管，2和管座4為陶瓷材料，陶瓷絕緣性好，熱膨脹系數(shù)小，所述管帽2與管座4抽真空封裝成一體，所述管帽2內(nèi)對應(yīng)設(shè)有臺階。所述由透紫材料制成的光窗1設(shè)置在該臺階上，所述光窗1下表面是平面，上表面或為平面或為凸面，上表面為凸面時可增加外部通光量，提高探測靈敏度。所述透紫材料為石英玻璃或藍寶石，這兩種材料透紫外光效果好。所述光窗1下表面連接陽極5，所述陽極5為金屬膜，且為絲狀結(jié)構(gòu)或網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，如圖3、圖4所示，這種結(jié)構(gòu)的陽極5透光率好，進一步的，所述陽極5采用金屬膜附著于光窗1背面形成一體結(jié)構(gòu)，陽極 5不易散架，提高了器件使用壽命。所述管座4上表面設(shè)有陰極4，所述陰極6采用陶瓷基體表面鍍金屬膜形成一體結(jié)構(gòu)，該金屬膜為陰極6。陰極6為面電極，擴大了光電子接觸面積，提高探測靈敏度。所述管座4兩側(cè)設(shè)有陽極引腳3和陰極引腳7，所述陽極5和陰極6 分別連接到陽極引腳3和陰極引腳7。陰極6和陽極5分別位于所述臺階上下平面處，所述臺階上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，以確保陽極5和陰極6的極間距
4離和平行度，極間距離和平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，提高了器件工作時間和使用壽命、靈敏度高。一種雙列直插式紫外光電管的制作方法，所述方法包括1)通過真空鍍膜工藝將透紫材料的一面鍍金、鎳、鎢、鉬和可伐等金屬膜，并通過光刻、掩膜、腐蝕工藝制作成絲狀或網(wǎng)狀的陽極5和光窗1，所述陽極5附著在光窗1背面形成一體結(jié)構(gòu)，使陽極牢固附著于光窗背面，不易散架；以陶瓷為基體制作出管座4，通過陶瓷金屬化工藝在管座4上表面鍍鎳或鉬金屬膜制作陰極6 ；在管帽2上加工出一個內(nèi)置臺階，加工精度控制在微米數(shù)量級，所述臺階上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum 以內(nèi)，用以確保陽極和陰極之間的極間距離和平行度，延長器件工作時間，提高靈敏度；2)通過金屬化工藝把已制成的附著陽極5的一體結(jié)構(gòu)的光窗1和管帽2需焊接的部分預(yù)先進行金屬化形成金屬化釬焊層8，然后將該光窗1置于管帽2臺階上并與管帽2 焊接封裝為一體，制作成帶光窗1的管帽2 ；通過集成電路的加工工藝和方法在管座4兩側(cè)制作陽極引腳3和陰極引腳7，再通過真空鍍金、鎳、鎢、鉬或可伐等金屬膜、光刻、腐蝕工藝刻線將陽極5與陽極引腳3連接，陰極6與陰極引腳7相連；3)將管帽2與管座4抽真空封裝連接為一體。本實用新型的雙列直插式紫外光電管采用在管帽上設(shè)置一個內(nèi)置臺階，加工精度達到微米數(shù)量級，其上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)，確保了陽極和陰極之間的極間距離和平行度，提高器件工作時間、使用壽命和靈敏度；本實用新型采用透紫材料制作的絲狀或網(wǎng)狀陽極的透光率好，光照量越多，越容易產(chǎn)生光電效應(yīng)，靈敏度提高； 本實用新型采用固體封裝結(jié)構(gòu)，封接為成品后所有零件成為一個剛體，以保證在一定的震動沖擊下，管子的零件和相對位置不變，抗沖擊震動性好；本實用新型采用集成電路的加工工藝的制作方法，制作的雙列直插式紫外光電管體積小、生產(chǎn)自動化程度高、成品率和優(yōu)品率提高。
權(quán)利要求1.一種雙列直插式紫外光電管，包括管帽和管座，其特征在于，所述管帽與管座抽真空封裝成一體，所述管帽設(shè)有內(nèi)置臺階，所述臺階上設(shè)置有由透紫材料制成的光窗，所述光窗下表面連接陽極，所述管座上表面設(shè)有陰極，所述管座兩側(cè)設(shè)有陽極引腳和陰極引腳，所述陽極和陰極分別連接到陽極引腳和陰極引腳。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述陽極為金屬膜，且為絲狀結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述陽極為金屬膜，且為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3任意一項所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述陽極采用金屬膜附著于光窗背面形成一體結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述光窗下表面是平面，上表面或為平面或為凸面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述陰極為金屬膜結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述管帽和管座為陶瓷管帽和管座。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的雙列直插式紫外光電管，其特征在于所述臺階上平面和下平面的平行度公差范圍控制在IOum以內(nèi)。
專利摘要本實用新型公開了一種雙列直插式紫外光電管，包括管帽和管座，所述管帽與管座抽真空封裝成一體，所述管帽設(shè)有內(nèi)置臺階，所述臺階上設(shè)置有由透紫材料制成的光窗，所述光窗下表面連接陽極，所述管座上表面設(shè)有陰極，所述管座兩側(cè)設(shè)有陽極引腳和陰極引腳，所述陽極和陰極分別連接到陽極引腳和陰極引腳。本實用新型的雙列直插式紫外光電管確保了陽極和陰極之間的極間距離和和平行度，提高器件工作時間和使用壽命，提高產(chǎn)品的成品率和一致性，填補了紫外光敏管在封裝方式上的空白，提高了器件在封裝及電路設(shè)計、應(yīng)用的兼容性。本實用新型的雙列直插式紫外光電管適用于需要紫外光輻射檢測的領(lǐng)域。
文檔編號H01J40/02GK202196740SQ201120343890
公開日2012年4月18日 申請日期2011年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月14日
發(fā)明者張列平, 張皎, 李志貴 申請人:成都凱邁科技有限公司