專利名稱：等離子體加工設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種等離子體加工設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)建設(shè)的快速發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)于各種微電子元件的需求量日益增大，由此便帶動(dòng)了微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展。等離子體加工設(shè)備是一種典型的微電子處理設(shè)備，廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。請(qǐng)參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種典型的等離子體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。一種典型的等離子體加工設(shè)備包括反應(yīng)腔室11，反應(yīng)腔室11的頂部支承有用于調(diào)節(jié)其內(nèi)部空間高度的調(diào)整支架13，該調(diào)整支架13的上表面支承有用于防止等離子體泄露的石英窗14，石英窗14上方懸有產(chǎn)生電磁場(chǎng)的金屬線圈，金屬線圈通過連接條連接有匹配器15，反應(yīng)腔室11的內(nèi)部固定安裝有下電極部分16，反應(yīng)腔室11的大體中間位置具有靜電卡盤(圖中未示出)，靜電卡盤用于支撐和固定被加工件(例如晶圓等)，被激發(fā)的等離子體直接作用在晶圓的上表面。等離子體加工設(shè)備工作時(shí)，通過機(jī)械夾持裝置或靜電卡盤將被加工件固定于反應(yīng)腔室11內(nèi)特定的工位上，同時(shí)通過干泵等真空獲得裝置在反應(yīng)腔室11中制造并維持接近真空的狀態(tài)。在此狀態(tài)下，通過氣體分配裝置向反應(yīng)腔室11中輸入工藝氣體，并在向反應(yīng)腔室11中輸入適當(dāng)?shù)纳漕l，從而激活工藝氣體，進(jìn)而在加工件的表面產(chǎn)生并維持等離子體環(huán)境。由于具有強(qiáng)烈的刻蝕以及淀積能力，等離子體可以與加工件發(fā)生刻蝕或者淀積等物理化學(xué)反應(yīng)，以獲得所需要的刻蝕圖形或者淀積層，反應(yīng)的副產(chǎn)物由真空獲得裝置從反應(yīng)腔室11中抽出。等離子體加工設(shè)備在工作過程中需要向反應(yīng)腔室11中輸送用于激勵(lì)工藝氣體的射頻電磁場(chǎng)，射頻電磁場(chǎng)通過固定于反應(yīng)腔室11上方的射頻電源、同軸電纜、匹配器15、線圈等器件產(chǎn)生。在等離子體加工設(shè)備中可以將上述調(diào)整支架13、石英窗14、匹配器15等需要位于反應(yīng)腔室11頂部的元器件安裝于殼體12中，并將上述各元器件以及殼體12的組件稱為上電極部分。在等離子體加工設(shè)備在使用一定時(shí)間后，需要對(duì)反應(yīng)腔室11的內(nèi)部進(jìn)行維護(hù)。在進(jìn)行一些類型的維護(hù)(例如清洗反應(yīng)腔室11內(nèi)石英陶瓷部件、更換靜電卡盤、調(diào)平等)時(shí)， 需要把整個(gè)上電極部分移除或升起；而在進(jìn)行另外一些類型的維護(hù)(例如更換石英窗14、 檢查噴嘴管路等)時(shí)，不要將調(diào)整支架13和石英窗14等部件移除，而只需要將上電極部分中的其他部分單獨(dú)移除或升起。通常在等離子體加工設(shè)備中使用電極開啟機(jī)構(gòu)來(lái)將上電極部分整體或者局部自反應(yīng)腔室11的頂部移除。請(qǐng)參考圖2、圖3以及圖4，圖2為一種典型的電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分未開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分整體開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖2所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。該電極開啟機(jī)構(gòu)包括固定安裝于調(diào)整支架13上的起吊柱17，調(diào)整支架13具有第一凸緣131，上述起吊柱17通過臺(tái)階定位螺栓181安裝于該第一凸緣131上，起吊柱17的螺紋段貫穿殼體12的第二凸緣121部分，并且通過鎖緊螺母182可選擇地將起吊柱17與殼體12的第二凸緣121鎖緊。當(dāng)上電極部分整體開啟時(shí)，將上述鎖緊螺母182旋緊，通過起吊柱17將殼體12和調(diào)整支架13固定連接，殼體12在外力的作用下移除時(shí)，同時(shí)帶動(dòng)調(diào)整支架13和調(diào)整支架13上的石英窗14自反應(yīng)腔室11的頂部移除，以實(shí)現(xiàn)上電極部分的整體開啟；而當(dāng)上電極部分局部開啟時(shí)，將上述鎖緊螺母182自起吊柱17上旋下，起吊柱 17與殼體12之間的固定連接關(guān)系解除，當(dāng)殼體12在外力的作用下移除時(shí)，調(diào)整支架13和石英窗14不會(huì)隨殼體12同步移除，從而實(shí)現(xiàn)了上電極部分的局部移除。但是，使用上述電極開啟機(jī)構(gòu)的上電極部分在開啟后再關(guān)閉時(shí)的定位準(zhǔn)確性無(wú)法保證，上述起吊柱17和鎖緊螺母182的連接方式屬于調(diào)節(jié)式連接，也即當(dāng)起吊柱17與殼體 12連接時(shí)，需分別旋緊周向的各個(gè)鎖緊螺母182，而各鎖緊螺母182的旋轉(zhuǎn)程度很難同步， 當(dāng)分布于殼體12周向各處的鎖緊螺母182分別鎖緊時(shí)，殼體12的外周很可能不在同一水平面上，導(dǎo)致重新關(guān)閉時(shí)反應(yīng)腔室11上的定位銷無(wú)法順利地進(jìn)入調(diào)整支架13的定位孔內(nèi)， 調(diào)整支架13發(fā)生偏斜或密封面損傷，甚至使得石英窗14與其它零部件發(fā)生撞擊而破損。同時(shí)，由于殼體12內(nèi)的維護(hù)空間有限，當(dāng)上電極部分局部開啟時(shí)，需要使用工具將鎖緊螺母 182旋下，操作過程中工具很容易撞擊石英窗14而使其發(fā)生損壞；另外，由于工具的使用空間很受限制，使得工具的使用較為不便，從而進(jìn)一步延長(zhǎng)了設(shè)備的維護(hù)時(shí)間。因此，如何提高上電極部分在重新關(guān)閉時(shí)的定位準(zhǔn)確性，同時(shí)避免其在開啟和關(guān)閉的過程中對(duì)零部件造成損壞，從而提高上電極開啟機(jī)構(gòu)的工作可靠性，就成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟須解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種等離子體加工設(shè)備，其電極開啟機(jī)構(gòu)能夠提高上電極部分在重新關(guān)閉時(shí)的定位準(zhǔn)確性，從而具有較高的工作可靠性。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種等離子體處理設(shè)備，包括腔室以及支承于所述反應(yīng)腔室上方的調(diào)整支架、上電極、下電極和包括起吊部件的電極開啟機(jī)構(gòu)，所述起吊部件的外側(cè)部安裝于所述等離子體處理設(shè)備的電極殼體的內(nèi)壁，且在所述電極殼體的帶動(dòng)下隨之在豎直方向上移動(dòng)，所述起吊部件的內(nèi)側(cè)部可選擇地與所述等離子體處理設(shè)備的調(diào)整支架在豎直方向上卡接或者脫離。優(yōu)選地，所述起吊部件為與所述調(diào)整支架同軸設(shè)置的起吊環(huán)，且所述起吊環(huán)的外側(cè)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地卡入所述電極殼體內(nèi)側(cè)的卡槽之中，所述起吊環(huán)的內(nèi)側(cè)部具有向內(nèi)凸出的第一弧形卡塊，所述調(diào)整支架的外側(cè)部具有向外凸出的第二弧形卡塊；所述第二弧形卡塊的外徑大于所述第一弧形卡塊的內(nèi)徑，并小于所述起吊環(huán)的內(nèi)徑；相鄰的兩所述第一弧形卡塊的周向距離大于或者等于所述第二弧形卡塊的周向長(zhǎng)度。優(yōu)選地，所述第一弧形卡塊的周向長(zhǎng)度大于所述第二弧形卡塊的周向長(zhǎng)度。優(yōu)選地，所述第一弧形卡塊和所述第二弧形卡塊的數(shù)目均為三個(gè)，且分別沿所述起吊環(huán)和所述調(diào)整支架的周向均勻設(shè)置。優(yōu)選地，還包括安裝于所述電極殼體上的固定部件，所述電極殼體的內(nèi)壁具有向內(nèi)凸出的支撐塊，所述支撐塊與所述固定部件之間具有軸向距離，所述起吊環(huán)卡接于所述支撐塊和所述固定部件形成的卡槽中。
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優(yōu)選地，所述固定部件朝向所述起吊環(huán)的表面開設(shè)有凹槽，所述起吊環(huán)朝向所述環(huán)形固定部件的表面開設(shè)有凸塊，所述凸塊可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述凹槽中。優(yōu)選地，所述固定部件為均勻安裝于所述電極殼體周向的多個(gè)弧形塊。優(yōu)選地，還包括安裝于所述起吊環(huán)上的旋轉(zhuǎn)手柄。優(yōu)選地，還包括可選擇地固定所述固定部件和所述起吊環(huán)的定位銷，且所述定位銷與所述固定部件之間安裝有回位彈簧。本發(fā)明所提供的等離子體加工設(shè)備包括腔室以及支承于反應(yīng)腔室上方的調(diào)整支架、上電極、下電極和電極開啟機(jī)構(gòu)，電極開啟機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括電極殼體、調(diào)整支架和起吊部件，其起吊部件的外側(cè)部安裝于等離子體加工設(shè)備的電極殼體的內(nèi)壁，且在電極殼體的帶動(dòng)下隨電極殼體在豎直方向上移動(dòng)，起吊部件的內(nèi)側(cè)部可選擇地與所述等離子體加工設(shè)備的調(diào)整支架在豎直方向上卡接或者脫離，當(dāng)起吊部件卡接于調(diào)整支架時(shí)，調(diào)整支架隨起吊部件的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，當(dāng)起吊部件脫離于調(diào)整支架時(shí)，調(diào)整支架不隨起吊部件的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。在等離子體加工設(shè)備處于正常工作狀態(tài)時(shí)，起吊部件卡接于調(diào)整支架上，或者不卡接于調(diào)整支架上；在需要對(duì)等離子體加工設(shè)備進(jìn)行某一些維護(hù)作業(yè)，而需要將整個(gè)上電極部分全部移除或者升起時(shí)，令起吊部件卡接于調(diào)整支架，實(shí)現(xiàn)兩者的可靠連接，由于起吊部件與電極殼體是固定連接，此時(shí)，電極殼體、起吊部件以及調(diào)整支架等部件固定連接，則吊裝設(shè)備將電極殼體自反應(yīng)腔體的上方吊起時(shí)，帶動(dòng)起吊部件在電極殼體的帶動(dòng)下在豎直方向上向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)調(diào)整支架與電極殼體同步移除或者上升，維護(hù)完畢，電極殼體、起吊部件和調(diào)整支架同步在豎直方向上向下運(yùn)動(dòng)，直至移回原位，調(diào)整支架與起吊部件重新實(shí)現(xiàn)卡接；在需要對(duì)等離子體加工設(shè)備需要進(jìn)行另一類維護(hù)而無(wú)需將調(diào)整支架等部件移除時(shí)， 解除調(diào)整支架與起吊部件之間的卡接連接，也即令調(diào)整支架與起吊部件相脫離，則起吊部件隨電極殼體運(yùn)動(dòng)時(shí)，調(diào)整支架固定不動(dòng)，當(dāng)維護(hù)完畢后，起吊部件隨電極殼體落回原位， 并令起吊部件與調(diào)整支架重新卡接。由于卡接對(duì)于相關(guān)部件的位置要求較為嚴(yán)格，起吊部件與調(diào)整支架必須處于預(yù)定的位置關(guān)系時(shí)，才能夠使得起吊部件與調(diào)整支架之間實(shí)現(xiàn)卡接，卡接后調(diào)整支架的底面是否是處于水平位置的，取決于調(diào)整支架和起吊部件的結(jié)構(gòu)關(guān)系，而不會(huì)受到安裝過程的影響，兩者卡接之前調(diào)整支架的底面是處于水平位置的，卡接過程中不會(huì)造成調(diào)整之間在豎直方向上的位置變化，從而避免了起吊部件與調(diào)整支架在重新連接的過程中造成的調(diào)整支架的傾斜，保證了調(diào)整支架起吊后重新落下后與反應(yīng)腔體之間的定位可靠性，進(jìn)而提高了上電極部分重新關(guān)閉時(shí)的定位可靠性；同時(shí)，卡接為不可調(diào)節(jié)的連接，無(wú)需通過周向的調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)調(diào)整支架和起吊部件的連接，從而保證了再次連接后調(diào)整支架的水平度，進(jìn)而提高了等離子體處理設(shè)備的工作性能。在一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，上述起吊部件為與調(diào)整支架同軸設(shè)置的起吊環(huán)，且起吊環(huán)的外側(cè)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地卡入電極殼體內(nèi)側(cè)的卡槽之中，起吊環(huán)的內(nèi)側(cè)部具有向內(nèi)凸出的第一弧形卡塊，調(diào)整支架的外側(cè)部具有向外凸出的第二弧形卡塊；第二弧形卡塊的外徑大于第一弧形卡塊的內(nèi)徑，并小于起吊環(huán)的內(nèi)徑；相鄰的兩第一弧形卡塊的周向距離大于或者等于第二弧形卡塊的周向長(zhǎng)度。這樣，由于起吊部件為環(huán)形結(jié)構(gòu)，當(dāng)其回落至調(diào)整支架的上表面時(shí)，起吊部件上的各處能夠同時(shí)回落，從而進(jìn)一步提高了電極開啟機(jī)構(gòu)的防傾斜性能； 同時(shí)，該結(jié)構(gòu)無(wú)需利用工具對(duì)起吊部件和調(diào)整支架重新連接，避免了工具對(duì)兩部件造成的損壞，從而提高了電極開啟機(jī)構(gòu)的工作可靠性，進(jìn)而進(jìn)一步提高了等離子體處理設(shè)備的工作性能。在另一種優(yōu)選的實(shí)施方式中，本發(fā)明所提供的電極開啟機(jī)構(gòu)還可以包括安裝于電極殼體上的固定部件，電極殼體的內(nèi)壁具有向內(nèi)凸出的支撐塊，支撐塊與固定部件之間具有軸向距離，起吊環(huán)卡接于支撐塊和固定部件形成的卡槽中。這樣，起吊環(huán)與固定部件之間為支撐與被支撐的關(guān)系，起吊環(huán)的上表面與固定部件相接觸，固定部件僅僅限制了起吊環(huán)在豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，而沒有限制起吊環(huán)在水平面上的運(yùn)動(dòng)，因此，起吊環(huán)能夠繞其自身的軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)，從而保證了起吊環(huán)的轉(zhuǎn)動(dòng)靈活性，提高了機(jī)構(gòu)的使用性能。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種典型的等離子體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為一種典型的電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分未開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分整體開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖2所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明所提供等離子體加工設(shè)備的電極開啟機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖；圖6為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分未開啟狀態(tài)時(shí)的剖視示意圖；圖7為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分整體開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分準(zhǔn)備局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明所提供的電極開啟部分中的定位機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖；圖11為本發(fā)明所提供的電極開啟部分中的鎖定機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的核心是提供一種等離子體加工設(shè)備，其電極開啟機(jī)構(gòu)能夠提高上電極部分在重新關(guān)閉時(shí)的定位準(zhǔn)確性，從而具有較高的工作可靠性。為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本發(fā)明方案，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖5和圖6，圖5為本發(fā)明所提供等離子體加工設(shè)備的電極開啟機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖；圖6為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分未開啟狀態(tài)時(shí)的剖視示意圖。在一種具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明所提供的等離子體加工設(shè)備，包括腔室0以及支承于反應(yīng)腔室0上方的調(diào)整支架23、上電極、下電極和電極開啟機(jī)構(gòu)，電極開啟機(jī)構(gòu)進(jìn)一步包括電極殼體22、調(diào)整支架23和起吊部件；其中，電極殼體22用于支撐和安裝電極部分， 調(diào)整支架23安裝于等離子體加工設(shè)備的反應(yīng)腔室0上方，且調(diào)整支架23的上方支撐有石英窗四；起吊部件安裝于調(diào)整支架23和電極殼體22之間，用于可選擇地帶動(dòng)調(diào)整支架23 隨電極殼體22的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，起吊部件的外側(cè)部安裝于等離子體加工設(shè)備的電極殼體22的內(nèi)壁，且在電極殼體22的帶動(dòng)下隨之在豎直方向上移動(dòng)，起吊部件的內(nèi)側(cè)部可選擇地與等離子體加工設(shè)備的調(diào)整支架23在豎直方向上卡接或者脫離。起吊部件可以具體為具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的起吊環(huán)21，該起吊環(huán)21與所述調(diào)整支架23 同軸設(shè)置，且起吊環(huán)21的外側(cè)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地卡入所述電極殼體22內(nèi)側(cè)的卡槽之中，起吊環(huán)21 的內(nèi)側(cè)部具有向內(nèi)凸出的第一弧形卡塊211，調(diào)整支架23的外側(cè)部具有向外凸出的第二弧形卡塊231 ；第二弧形卡塊231的外徑大于第一弧形卡塊211的內(nèi)徑，并小于起吊環(huán)21的內(nèi)徑；相鄰的兩第一弧形卡塊211的周向距離大于或者等于第二弧形卡塊231的周向長(zhǎng)度。 這樣，由于起吊部件為環(huán)形結(jié)構(gòu)，當(dāng)其回落至調(diào)整支架23的上表面時(shí)，起吊部件上的各處能夠同時(shí)回落，從而進(jìn)一步提高了電極開啟機(jī)構(gòu)的防傾斜性能；同時(shí)，該結(jié)構(gòu)無(wú)需利用工具對(duì)起吊部件和調(diào)整支架重新連接，避免了工具對(duì)兩部件造成的損壞，從而提高了電極開啟機(jī)構(gòu)的工作可靠性。具體地，上述第一弧形卡塊211和第二弧形卡塊231均可以為扇形凸緣的形式，且上述第一弧形卡塊211數(shù)目可以為四個(gè)，且大體均勻地設(shè)置于起吊環(huán)21的周向上，第一弧形卡塊211的強(qiáng)度在設(shè)計(jì)上能夠承受整個(gè)調(diào)整支架23以及之上的所有重物；相應(yīng)地，上述第二弧形卡塊231的數(shù)目也為四個(gè)，大體均勻地設(shè)置于調(diào)整支架23的周向上，同樣地，第二弧形卡塊231的強(qiáng)度在設(shè)計(jì)上也能夠承受調(diào)整支架23本身以及之上的所有重物。上述起吊環(huán)21的內(nèi)徑可以適當(dāng)?shù)卮笥谡{(diào)整支架23的外徑，具體地，在沒有其他阻擋的情況下，調(diào)整支架23能夠順利地從起吊環(huán)21的內(nèi)徑中脫出，同時(shí)，也不應(yīng)使兩者的距離過大，此時(shí)，上述第一弧形卡塊211相對(duì)于起吊環(huán)21向內(nèi)凸出，相應(yīng)地，第二弧形卡塊231 相對(duì)于調(diào)整支架23向外凸出；上述起吊環(huán)21的外徑也可以適當(dāng)?shù)匦∮谡{(diào)整支架23的內(nèi)徑，同樣的，兩者的徑向距離應(yīng)既能夠滿足兩者的分離，又不會(huì)使兩者的距離過大，此時(shí)，上述第一弧形卡塊211相對(duì)于起吊環(huán)21向外凸出，相應(yīng)地，上述第二弧形卡塊231相對(duì)于調(diào)整支架23向內(nèi)凸出。需要指出的是，上述向內(nèi)凸出是指向靠近圓心的方向延伸，相應(yīng)地，向外凸出是指向遠(yuǎn)離圓心的方向延伸。相鄰兩第一弧形卡塊211的周向距離大于第二弧形卡塊231的周向長(zhǎng)度，這樣才能保證電極部分的局部開啟。第一弧形卡塊211和第二弧形卡塊231的數(shù)目可以均為三個(gè)，且分別沿起吊環(huán)21 和調(diào)整支架23的周向均勻設(shè)置。以便進(jìn)一步保證起吊環(huán)21與調(diào)整支架23的安裝平穩(wěn)性。上述第一弧形卡塊211和第二弧形卡塊231的數(shù)量均不局限于三個(gè)，兩者的數(shù)量也可以為四個(gè)或者更多，只要能夠保證起吊后調(diào)整支架23的水平放置，并能夠滿足預(yù)定的強(qiáng)度要求，第一弧形卡塊211和第二弧形卡塊231的數(shù)量均不應(yīng)受到本說(shuō)明書的限制；同時(shí)，兩卡塊的結(jié)構(gòu)形式也不局限于扇形凸緣的形式，其也可以為卡塊與卡槽相配合或者方形凸緣的形式。上述起吊環(huán)21與調(diào)整支架23的材料可以為本領(lǐng)域中常規(guī)使用的各種金屬材料， 例如鑄鐵、不銹鋼等材料，也可以為符合預(yù)定強(qiáng)度要求的非金屬材料，例如硬質(zhì)塑料等；只要能夠滿足一定的強(qiáng)度要求，起吊環(huán)21和調(diào)整支架23的具體材料不應(yīng)受到本說(shuō)明書的限制。上述第一弧形卡塊211的周向長(zhǎng)度大于第二弧形卡塊231的周向長(zhǎng)度。具體地， 起吊環(huán)21每個(gè)第一弧形卡塊211部分在圓弧方向上的大小盡可能大于調(diào)整支架23每個(gè)第二弧形卡塊231在圓弧方向上的開口大小，以便保證調(diào)整支架23的設(shè)計(jì)強(qiáng)度。上述起吊環(huán)21的內(nèi)側(cè)是指遠(yuǎn)離電極殼體22內(nèi)壁的一側(cè)，相應(yīng)地，其外側(cè)部是指靠近電極殼體22內(nèi)壁的一側(cè)。上述起吊部件也不局限于環(huán)狀結(jié)構(gòu)的起吊環(huán)21，其也可以包括沿調(diào)整支架23周向設(shè)置的多個(gè)的扇形起吊塊，各扇形的圓心相互重合，并通過扇形的圓弧部分可選擇地與調(diào)整支架23卡接。顯然地，起吊部件并不局限于上述兩種具體實(shí)施方式
，只要能夠?qū)崿F(xiàn)起吊部件的一部分安裝于電極殼體22，另一部分可選擇地卡接于調(diào)整支架23即可，其具體結(jié)構(gòu)形式不應(yīng)受到本說(shuō)明書具體實(shí)施方式
的限制。例如，上述起吊部件可以為一端與電極殼體22鉸接的起吊臂，該起吊臂可以沿電極殼體22的周向均勻設(shè)置四個(gè)，各起吊臂與電極殼體22之間通過豎直設(shè)置的鉸接軸鉸接，以便起吊臂能夠繞鉸接軸在水平方向擺動(dòng)；當(dāng)電極部分整體開啟時(shí)，起吊臂擺動(dòng)至電極殼體22的內(nèi)部，并與調(diào)整支架23卡接，以便帶動(dòng)調(diào)整支架23等部件整體移除，當(dāng)電極部分局部開啟時(shí)，起吊臂擺動(dòng)至電極殼體22的外部，與調(diào)整支架脫離，此時(shí)，起吊臂不會(huì)帶動(dòng)調(diào)整支架23運(yùn)動(dòng)，以便實(shí)現(xiàn)電極部分的局部開啟。上述電極殼體22用于安裝和支撐電極部分的元器件，例如線圈等，電極殼體22也可以直接由線圈盒或者其他盒體充當(dāng)，當(dāng)電極開啟時(shí)，起重裝置將電極殼體22吊起(如果由線圈盒或者其他盒體充當(dāng)電極殼體22，則將充當(dāng)電極殼體22的線圈盒或者其他盒體吊起)。電極殼體22上可以設(shè)置有方便起重設(shè)備起吊的結(jié)構(gòu)，例如起吊板或者起吊耳等，起重設(shè)備通過連接部件固定于起吊板或者起吊耳上，以便更為方便地將電極殼體22吊起。請(qǐng)參考圖7、圖8以及圖9 ；圖7為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分整體開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分準(zhǔn)備局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為圖5所示電極開啟機(jī)構(gòu)在上電極部分局部開啟狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。當(dāng)起吊部件卡接于調(diào)整支架23時(shí)，調(diào)整支架23隨起吊部件的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，當(dāng)起吊部件脫離于調(diào)整支架23時(shí)，調(diào)整支架23不隨起吊部件的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)。在等離子體加工設(shè)備處于正常工作狀態(tài)時(shí)，起吊部件卡接于調(diào)整支架23上，或者不卡接于調(diào)整支架23上；在需要對(duì)等離子體加工設(shè)備進(jìn)行某一些維護(hù)作業(yè)，而需要將整個(gè)上電極部分全部移除或者升起時(shí)，令起吊部件卡接于調(diào)整支架23，實(shí)現(xiàn)兩者的可靠連接，由于起吊部件與電極殼體22 是固定連接，此時(shí)，電極殼體22、起吊部件以及調(diào)整支架23等部件固定連接，則吊裝設(shè)備將電極殼體22自反應(yīng)腔體的上方吊起時(shí)，起吊部件在電極殼體22的帶動(dòng)下在豎直方向上向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)調(diào)整支架23與電極殼體22同步移除或者上升，維護(hù)完畢，電極殼體22、起吊部件和調(diào)整支架23同步在豎直方向上向下運(yùn)動(dòng)，直至移回原位，調(diào)整支架23與起吊部件重新實(shí)現(xiàn)卡接；在需要對(duì)等離子體加工設(shè)備需要進(jìn)行另一類維護(hù)而無(wú)需將調(diào)整支架等部件移除時(shí)，解除調(diào)整支架23與起吊部件之間的卡接連接，也即令調(diào)整支架23與起吊部件相脫離，則起吊部件隨電極殼體22運(yùn)動(dòng)時(shí)，調(diào)整支架23固定不動(dòng)，當(dāng)維護(hù)完畢后，起吊部件隨電極殼體22落回原位，并令起吊部件與調(diào)整支架23重新卡接。由于卡接對(duì)于相關(guān)部件的位置要求較為嚴(yán)格，起吊部件與調(diào)整支架23必須處于預(yù)定的位置關(guān)系時(shí)，才能夠使得起吊部件與調(diào)整支架23之間實(shí)現(xiàn)卡接，卡接后調(diào)整支架23 的底面是否是處于水平位置的，取決于調(diào)整支架23和起吊部件的結(jié)構(gòu)關(guān)系，而不會(huì)受到安裝過程的影響，兩者卡接之前調(diào)整支架23的底面是處于水平位置的，卡接過程中不會(huì)造成調(diào)整之間在豎直方向上的位置變化，從而避免了起吊部件與調(diào)整支架23在重新連接的過程中造成的調(diào)整支架23的傾斜，保證了調(diào)整支架23起吊后重新落下后與反應(yīng)腔體之間的定位可靠性，進(jìn)而提高了上電極部分重新關(guān)閉時(shí)的定位可靠性；同時(shí)，卡接為不可調(diào)節(jié)的連接，無(wú)需通過周向的調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)調(diào)整支架23和起吊部件的連接，從而保證了再次連接后調(diào)整支架23的水平度。還可以對(duì)上述具體實(shí)施方式
進(jìn)行進(jìn)一步的改進(jìn)。請(qǐng)參考圖10，并請(qǐng)繼續(xù)參考圖5至圖9，圖10為本發(fā)明所提供的電極開啟部分中的定位機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖。本發(fā)明所提供的等離子體加工設(shè)備中的電極開啟機(jī)構(gòu)，還可以包括固定安裝于所述電極殼體22上的固定部件M，電極殼體22的內(nèi)壁具有向內(nèi)凸出的支撐塊221，所述支撐塊221與所述固定部件M之間具有軸向距離，所述起吊環(huán)21卡接于所述支撐塊221和所述固定部件M形成的卡槽中。這樣，起吊環(huán)21與固定部件M之間為支撐與被支撐的關(guān)系， 起吊環(huán)21的上表面與固定部件M相接觸，固定部件M僅僅限制了起吊環(huán)21在豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，而沒有限制起吊環(huán)21在水平面上的運(yùn)動(dòng)，因此，起吊環(huán)21能夠繞其自身的軸線自由轉(zhuǎn)動(dòng)，從而保證了起吊環(huán)21的轉(zhuǎn)動(dòng)靈活性，提高了機(jī)構(gòu)的使用性能。上述固定部件M為均勻安裝于所述電極殼體22周向的多個(gè)弧形塊。該弧形塊具體可以設(shè)置有四個(gè)。起吊環(huán)21的適當(dāng)位置上還可以安裝有旋轉(zhuǎn)手柄27?；⌒螇K對(duì)起吊環(huán)21壓力過緊時(shí)，通過旋轉(zhuǎn)手柄27可以很容易地旋轉(zhuǎn)起吊環(huán)21到合適的位置。另外，為了保證起吊環(huán) 21旋轉(zhuǎn)位置的準(zhǔn)確性，在起吊環(huán)21的側(cè)面可以設(shè)置兩個(gè)定位孔觀，保證整體或單獨(dú)開啟時(shí)起吊環(huán)21旋轉(zhuǎn)位置的準(zhǔn)確性。旋轉(zhuǎn)手柄27形狀可以為多種形狀，通過不同方式安裝在起吊環(huán)21的側(cè)面或上面。上述固定部件M也不局限于多個(gè)弧形塊的形式，也可以為與起吊環(huán)21大體同軸設(shè)置的固定環(huán)，且該固定環(huán)通過其外周固定于所述電極殼體22，該起吊環(huán)21以其上表面支承于固定環(huán)的外周。上述起吊環(huán)21通過該固定環(huán)支撐于電極殼體22，具體地，可以通過固定環(huán)的外周固定于電極殼體22，同時(shí)上述起吊環(huán)21以其上表面支承于固定環(huán)的外周。上述固定部件M朝向起吊環(huán)21的表面開設(shè)有卡槽，所述起吊環(huán)21朝向所述環(huán)形固定部件的表面開設(shè)有凸塊，所述凸塊可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述凹槽中。這樣，限制了起吊環(huán)21 在沿其徑向方向上的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而提高了機(jī)構(gòu)的工作可靠性。請(qǐng)參考圖11，圖11為本發(fā)明所提供的電極開啟部分中的定位機(jī)構(gòu)一種具體實(shí)施方式
的立體圖。本發(fā)明所提供的等離子體加工設(shè)備中的電極開啟機(jī)構(gòu)，還可以包括可選擇地插裝于固定環(huán)M和起吊環(huán)21上的定位銷25，且該定位銷25與固定環(huán)M之間安裝有回位彈簧 26。其中定位銷25在回位彈簧沈的作用下始終貼合于起吊環(huán)21的側(cè)面。當(dāng)起吊環(huán)21旋轉(zhuǎn)到合適的位置時(shí)，定位銷25在回位彈簧沈的作用下插入起吊環(huán)21的定位孔，把起吊環(huán) 21鎖死。當(dāng)換另外一種開啟方式時(shí)，手動(dòng)拔出位于定位孔內(nèi)的定位銷25后旋轉(zhuǎn)起吊環(huán)21， 當(dāng)旋轉(zhuǎn)到另外一個(gè)合適位置時(shí)，定位銷25在回位彈簧沈的作用下又進(jìn)入另外一個(gè)定位孔， 再次鎖死，從而進(jìn)一步提高機(jī)構(gòu)在工作時(shí)的定位可靠性。以上對(duì)本發(fā)明所提供的等離子體加工設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種等離子體處理設(shè)備，包括腔室(0)以及支承于所述反應(yīng)腔室(0)上方的調(diào)整支架(23)、上電極、下電極和包括起吊部件的電極開啟機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述起吊部件的外側(cè)部安裝于所述等離子體處理設(shè)備的電極殼體02)的內(nèi)壁，且在所述電極殼體02)的帶動(dòng)下隨之在豎直方向上移動(dòng)，所述起吊部件的內(nèi)側(cè)部可選擇地與所述等離子體處理設(shè)備的調(diào)整支架在豎直方向上卡接或者脫離。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，所述起吊部件為與所述調(diào)整支架同軸設(shè)置的起吊環(huán)(21)，且所述起吊環(huán)的外側(cè)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地卡入所述電極殼體02)內(nèi)側(cè)的卡槽之中，所述起吊環(huán)的內(nèi)側(cè)部具有向內(nèi)凸出的第一弧形卡塊011)， 所述調(diào)整支架的外側(cè)部具有向外凸出的第二弧形卡塊031)；所述第二弧形卡塊 (231)的外徑大于所述第一弧形卡塊011)的內(nèi)徑，并小于所述起吊環(huán)的內(nèi)徑；相鄰的兩所述第一弧形卡塊011)的周向距離大于或者等于所述第二弧形卡塊031)的周向長(zhǎng)度。
3.如權(quán)利要求2所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，所述第一弧形卡塊(211)的周向長(zhǎng)度大于所述第二弧形卡塊031)的周向長(zhǎng)度。
4.如權(quán)利要求3所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，所述第一弧形卡塊011)和所述第二弧形卡塊(231)的數(shù)目均為三個(gè)，且分別沿所述起吊環(huán)和所述調(diào)整支架03) 的周向均勻設(shè)置。
5.如權(quán)利要求2至4任一項(xiàng)所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，還包括安裝于所述電極殼體0 上的固定部件(M)，所述電極殼體0 的內(nèi)壁具有向內(nèi)凸出的支撐塊 021)，所述支撐塊021)與所述固定部件04)之間具有軸向距離，所述起吊環(huán)卡接于所述支撐塊021)和所述固定部件(24)形成的卡槽中。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，所述固定部件04)朝向所述起吊環(huán)的表面開設(shè)有凹槽，所述起吊環(huán)朝向所述環(huán)形固定部件的表面開設(shè)有凸塊，所述凸塊可旋轉(zhuǎn)地安裝于所述凹槽中。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，所述固定部件為均勻安裝于所述電極殼體02)周向的多個(gè)弧形塊。
8.如權(quán)利要求7所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，還包括安裝于所述起吊環(huán) (21)上的旋轉(zhuǎn)手柄07)。
9.如權(quán)利要求5所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，還包括可選擇地固定所述固定部件04)和所述起吊環(huán)的定位銷(25)，且所述定位銷0 與所述固定部件04) 之間安裝有回位彈簧06)。
10.如權(quán)利要求9所述的等離子體處理設(shè)備，其特征在于，具體為等離子體刻蝕設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種等離子體加工設(shè)備，其電極開啟機(jī)構(gòu)包括起吊部件，所述起吊部件的外側(cè)部安裝于所述等離子體加工設(shè)備的電極殼體(22)的內(nèi)壁，且在所述電極殼體(22)的帶動(dòng)下隨之在豎直方向上移動(dòng)，所述起吊部件的內(nèi)側(cè)部可選擇地與所述等離子體加工設(shè)備的調(diào)整支架(23)在豎直方向上卡接或者脫離。避免了起吊部件與調(diào)整支架(23)在重新連接的過程中造成的調(diào)整支架(23)的傾斜，保證了調(diào)整支架(23)起吊后重新落下后與反應(yīng)腔體(0)之間的定位可靠性，進(jìn)而提高了上電極重新關(guān)閉時(shí)的定位可靠性，提高了等離子體處理設(shè)備的工作性能。
文檔編號(hào)H01J37/02GK102243976SQ20101017812
公開日2011年11月16日 申請(qǐng)日期2010年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月14日
發(fā)明者張小昂 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司