技術(shù)編號：2896157
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子，特別涉及一種等離子體加工設(shè)備。 背景技術(shù)隨著我國經(jīng)濟(jì)建設(shè)的快速發(fā)展，市場對于各種微電子元件的需求量日益增大，由此便帶動了微電子技術(shù)的迅猛發(fā)展。等離子體加工設(shè)備是一種典型的微電子處理設(shè)備，廣泛應(yīng)用于微電子。請參考圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種典型的等離子體加工設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。一種典型的等離子體加工設(shè)備包括反應(yīng)腔室11，反應(yīng)腔室11的頂部支承有用于調(diào)節(jié)其內(nèi)部空間高度的調(diào)整支架13，該調(diào)整支架13的上表面支承有用于防止等離子體泄露的石英窗14，石...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。