專利名稱：：準分子燈的制作方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種準分子燈，其具備由二氧化硅玻璃構成的放電容器，在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設有一對電極，在上述放電容器的內(nèi)部產(chǎn)生準分子放電。
背景技術：
：近年來，開發(fā)了例如通過將波長200rnn以下的真空紫外光照射在由金屬、玻璃及其它材料構成的被處理體上，而在該真空紫外光及由此所生成的臭氧的作用下處理被處理體的技術，例如除去附著于被處理體的表面的有機污染物質(zhì)的清洗處理技術、或在被處理體的表面形成氧化膜的氧化膜形成處理技術，并將這些技術實用化。作為照射真空紫外光.的裝置，將例如通過準分子放電形成準分子分子、并利用從該準分子分子所放射的光的準分子燈作為光源，在此種準分子燈中，為了更有效率地放射更高強度的紫外線，進行了很多嘗試。具體的說，例如參照圖4加以說明，記載了如下準分子燈50:具備透射紫外線的由二氧化硅玻璃構成的放電容器51，在該放電容器51的內(nèi)側與外側分別設有電極55、56，其中，在曝露于放電容器51的放電空間S中的表面上，形成紫外線反射膜20。而作為紫外線反射膜，僅由二氧化硅粒子構成、及僅由氧化鋁粒子構成的紫外線反射膜被例示于實施例中(參照專利文獻l)。在該準分子燈50中，在放電容器51的一部分，未形成紫外線反射膜20，從而形成有出射在放電空間S內(nèi)產(chǎn)生的紫外線的光出射部58。根據(jù)此種構成的準分子燈50，通過在被曝露于放電容器51的放電空間S中的表面上設有紫外線反射膜，在設有紫外線反射膜的區(qū)域中，在放電空間S內(nèi)產(chǎn)生的紫外線由紫外線反射膜反射，因此不會入射至二氧化硅玻璃，而在構成光出射部58的區(qū)域中，'紫外線透射二氧化硅玻璃并放射至外部，所以基本上可以有效地利用在放電空間S內(nèi)產(chǎn)生的紫外線，而且可將構成光出射部58以外的區(qū).域的二氧化硅玻璃的紫外線應變所致的損壞抑制得較小，而可防止產(chǎn)生裂痕的情形。專利文獻1:日本專利第3580233號公報然而，在具備如上述的紫外線反射膜的準分子燈中，判明會產(chǎn)生放電容器的軸方向上的照度分布不均勻的問題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述問題，其目的在于提供一種即使長時間點燈時也可把紫外線反射膜的反射率降低的程度抑制得較小、且在放電容器的軸方向上可得到均勻的照度分布的準分子燈。本發(fā)明的準分子燈，包括具有放電空間的由二氧化硅玻璃構成的放電容器，在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設有一對電極，在上述放電容器的放電空間內(nèi)產(chǎn)生準分子放電，其特征在于，在上述放電容器的曝露于放電空間中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化鋁粒子形成的紫外線反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒徑的大小為上述氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上。在本發(fā)明的準分子燈中，紫外線反射膜中的氧化鋁粒子的含有比率，優(yōu)選是上述二氧化硅粒子和氧化鋁粒子的合計的5wt。/。以上，更優(yōu)選為10wt。/。以上。根據(jù)本發(fā)明的準分子燈，紫外線反射膜由二氧化硅粒子和氧化鋁粒子形成，通過使二氧化硅粒子相對于氧化鋁粒子的中心粒徑具有特定大小的中心粒徑，即使長時間點燈時，也不會使得粒界消失而可以維持，因此可有效率地擴散反射真空紫外光而可維持初期反射率，而且可將因二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的比重差所致的質(zhì)量差收斂在一定范圍內(nèi)，因此可使形成紫外線反射膜時調(diào)整的分散液中的二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的流動性一致，其結果，可使紫外線反射膜成為均勻地分散二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的狀態(tài)，且相對于放電容器的軸方向可得到均勻的照度分布。圖l是表示本發(fā)明的準分子燈的一例的構成概略的說明用截面圖，(a)是表示沿著放電容器的長度方向的截面的橫截面圖，(b)是表示(a)的A-A線截面圖。圖2是表示用于說明二氧化硅粒子及氧化鋁粒子的粒徑的定義的說明圖。圖3是表示在0-50wty。的范圍內(nèi)改變實驗例3的準分子燈的紫外線反射膜所含的氧化鋁粒子的比率時的反射光強度的圖表。圖4是表示本發(fā)明的準分子燈的其它例子的構成概略的說明用截面圖，(a)是表示沿著放電容器的長度方向的截面的橫截面圖，(b)是表示(a)的A-A線截面圖。圖5是表示本發(fā)明的準分子燈的另一例子的構成概略的說明用截面圖，(a)是表示沿著放電容器的長度方向的截面的橫截面圖，(b)是表示垂直于(a)的紙面的平面下的截面的截面圖。具體實施例方式圖1是表示本發(fā)明的準分子燈的一例的構成的概略的說明用截面圖，(a)是表示沿著放電容器的長度方向的截面的橫截面圖，(b)是表示(a)的A-A線截面圖。該準分子燈io具備兩端被氣密地封閉而在內(nèi)部形成有放電空間S的截面矩形狀的中空長條狀的放電容器11，在該放電容器11的內(nèi)部，作為放電用氣體例如封入有氤氣體、或混合氬與氯的氣體。放電容器11是由良好地透射真空紫外光的二氧化硅玻璃、例如合成石英玻璃構成，具有作為電介質(zhì)的功能。在放電容器11的長邊面的外表面，以在長度方向延伸的方式相對地配置有一對柵格狀電極、即作為高電壓供給電極發(fā)揮功能的一個電極15及作為接地電極發(fā)揮功能的另一個電極16，從而成為在一對電極15、16之間夾著作為電介質(zhì)發(fā)揮功能的放電容器11的狀態(tài)。此種電極例如可以通過將金屬構成的電極材料糊膏涂布于放電容器11上、或通過照片印刷形成。在該準分子燈10中，向一個電極15供給點燈電力時，經(jīng)由作為電介質(zhì)發(fā)揮的放電容器11的壁而在兩電極15、16間產(chǎn)生放電，從而形成有準分子分子，并且產(chǎn)生從該準分子分子放射真空紫外光的準分子放電，但為了有效率地利用通過該準分子放電所產(chǎn)生的真空紫外光，將由二氧化硅粒子和氧化鋁粒子形成的紫外線反射膜20設于放電容器11的內(nèi)表面。在此，作為放電用氣體使用氙氣體時，放出在波長172nm具有峰值的真空紫外線，而作為放電用氣體使用混合氟與氯的氣體時，則放射在波長175mn具有峰值的真空紫外線。紫外線反射膜20例如在放電容器11的長邊面的與作為高電壓供給電極發(fā)揮功能的一個電極15對應的內(nèi)表面區(qū)域、及與該區(qū)域連續(xù)的短邊面的內(nèi)表面區(qū)域的一部分上形成，而在放電容器11的長邊面的與作為接地電極發(fā)揮功能的另一個電極16對應的內(nèi)表面區(qū)域上，通過未形成有紫外線反射膜20來構成光出射部(孔徑部)18。紫外線反射膜20的膜厚例如優(yōu)選10~100pm。紫外線反射膜20具有重復產(chǎn)生反射與折射的"擴散反射"的功能，具體原理如下二氧化硅粒子及氧化鋁粒子自身具有高折射率從而具有真空紫外光透射性，因此到達二氧化硅粒子或氧化鋁粒子的真空紫外光的一部分在粒子表面被反射，同時其它的部分折射而入射至粒子內(nèi)部，進而入射至粒子內(nèi)部的大部分光被透射(一部分被吸收)，而再出射之際被折射。此外，紫外線反射膜20由二氧化硅粒子與氧化鋁粒子構成，即由陶瓷構成，具有不會產(chǎn)生雜質(zhì)氣體、且耐于放電的特性。構成紫外線反射膜20的二氧化硅粒子，例如可使用將二氧化硅玻璃粉末狀地作成細粒子后的物質(zhì)等。二氧化硅粒子的如下定義的粒徑例如在0.01~20pm的范圍內(nèi)，中心粒徑(數(shù)均粒徑的峰值)例如優(yōu)選為0.110pm，更優(yōu)選為0.3~3pm。此外，具有中心粒徑的二氧化硅粒子的比率優(yōu)選為50%以上。構成紫外線反射膜20的氧化鋁粒子的如下定義的粒徑例如在0.110^im的范圍內(nèi)，中心粒徑(數(shù)均粒徑的峰值)例如優(yōu)選為0.1~3pm，更優(yōu)選為0.3lfim。此外，具有中心粒徑的氧化鋁粒子的比率優(yōu)選為50%以上。構成紫外線反射膜20的二氧化硅粒子及氧化鋁粒子的"粒徑"是指將紫外線反射膜20在與其表面垂直的方向上切剖時的切剖面中的厚度方向的大約中間位置作為觀察范圍，通過掃描型電子顯微鏡(SEM)取得放大投影圖像，而以一定方向的兩條平行線夾著該放大投影圖像的任意粒子時的該平行線的間隔的費雷特(Feret)直徑。如圖2(a)所示地，具體上，在以單獨存在大約球狀的粒子A及具有粉碎粒子形狀的粒子B等的粒子時，將以朝著一定方向((例如紫外線反射膜20的厚度方向(Y軸方向))延伸的兩條平行線夾著該粒子時的對應平行線的間隔作為粒徑DA、DB。此外，對于具有初始材料的粒子熔融而接合的形狀的粒子C,如圖2(b)所示地，對于被判別為初始材料的粒子C1、C2的部分中的各球狀部分，測定由朝一定方向(例如紫外線反射膜20的厚度方向(Y軸方向))延伸的2條平線夾著時的該平行線的間隔，將此作為該粒子的粒徑DC1、DC2。構成紫外線反射膜20的二氧化硅粒子及氧化鋁粒子的"中心粒子"是指將如上得到的各粒子的粒徑的最大值和最小值的粒徑的范圍，例如以O.lpm的范圍分成多個區(qū)分、例如分成的15區(qū)分左右后，屬于各個區(qū)分的粒子個數(shù)(度數(shù))最大的區(qū)分的中心值。二氧化硅粒子及氧化鋁粒子具有與真空紫外光的波長相同程度的上述范圍的粒徑，因此可有效率地擴散反射真空紫外光。以上，上述準分子燈10的紫外線反射膜20所含的氧化鋁粒子的比率，優(yōu)選為二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的合計的5wt。/。以上70wt。/。以下，進一步優(yōu)選10wt。/。以上70wt。/。以上。從而，即使長時間點燈時，也可將紫外線反射膜20的反射率的降低程度抑制得較小，而可將準分子燈10的放電容器11的軸方向上的照度分布實質(zhì)上仍維持在點燈初期時的狀態(tài)。上述準分子燈10的紫外線反射膜20所含的二氧化硅粒子，使用其中心粒徑的大小為氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上的，優(yōu)選使用氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上IO倍以下的。紫外線反射膜如下所述例如可通過"流下法"形成，但由于二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的比重不相同，因此傾斜放電容器而澄干多余的涂液(分散液)之際，在比重小的二氧化硅粒子留在上端而比重大的氧化鋁粒子偏在下端的狀態(tài)下附著于放電容器中，仍以該狀態(tài)下干燥、燒成涂液以形成紫外線反射膜時，會產(chǎn)生二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的濃度坡度。因此，通過使二氧化硅粒子的中心粒徑相對于氧化鋁粒子的粒徑的中心粒徑成為一定范圍內(nèi)的大小，可以將因二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的比重差所致的質(zhì)量差控制在一定范圍內(nèi)，可使分散液中的二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的流動一致，可均勻地分散二氧化硅粒子與氧化鋁粒子。此種紫外線反射膜20例如可通過稱為"流下法"的方法形成。艮P，在組合了水與PEO樹脂(聚氧化乙烯)的具有粘性的溶劑中混合二氧化硅粒子及氧化鋁粒子來調(diào)配分散液，通過將該分散液流進放電容器11內(nèi)，在附著于放電容器11的內(nèi)表面的所定區(qū)域之后，利用干燥、燒成，把水與PEO樹脂予以蒸發(fā)，從而可形成紫外線反射膜20。在此，燒成溫度是例如為500-1IOO'C。即使紫外線反射膜為例如通過流下法所形成時，紫外線反射膜的二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的中心粒徑比也是作成初始材料的粒子的狀態(tài)的中心粒徑比被保持的狀態(tài)這一情況可如下得以確認例如在由二氧化硅玻璃形成的基材上形成紫外線反射膜后，從基材剝落該紫外線反射膜，并通過以下所示的方法，測定二氧化硅粒子與氧化鋁粒子各自的粒徑。二氧化硅粒子的粒徑的測定可以如下進行將從基材剝落的紫外線反射膜，放進例如85%磷酸與97%硫酸的混酸中"在微波爐中將氧化鋁粒子溶解，取出通過將該溶解液加熱蒸發(fā)后所剩余的二氧化硅粒子，以純水進行清洗，經(jīng)干燥之后，依據(jù)上述的方法，利用SEM進行測定。此外，氧化鋁粒子的粒徑的測定可以如下進行將從基材剝落的紫外線反射膜，使用例如47%氫氟酸將二氧化硅粒子溶解，取出通過將該溶解液加熱并使二氧化硅粒子與氫氟酸蒸發(fā)后所剩余的氧化鋁粒子，以純水進行清洗，經(jīng)干燥之后，依據(jù)上述的方法，利用SEM進行測定。形成紫外線反射膜20時所用的二氧化硅粒子及氧化鋁粒子的制造，可利用固相法、液相法、氣相法的任何方法，但其中，由于可確實地得到亞微細粒、微米尺寸的粒子，而優(yōu)選氣相法、尤其是化學蒸鍍法(CVD)。具體上，例如二氧化硅粒子可以通過將氯化硅與氧在900~1000°C予以反應而合成，氧化鋁粒子可以通過將原料的氯化鋁與氧在1000120(TC予以加熱反應而合成，粒徑可通過控制原料濃度、反應場所的壓力、反應溫度來調(diào)整。'一般，在準分子燈中，公知隨著準分子放電而產(chǎn)生等離子體，但在如上構成的準分子燈中，等離子體大約直角地入射于紫外線反射膜而施以作用，因此紫外線反射膜的溫度會局部地急劇上升，如果紫外線反射膜僅例如僅由二氧化硅粒子構成，則會通過等離子體的熱而使得二氧化硅粒子熔融從而粒界消失，因此無法擴散反射真空紫外光，反射率下降。然而，紫外線反射膜20由二氧化硅粒子與氧化鋁粒子構成，且二氧化硅粒子的中心粒徑的大小相對于氧化鋁粒子的中心粒徑在一定范圍內(nèi)，從而根據(jù)上述構成的準分子燈10，即使被曝露在由等離子體所產(chǎn)生的熱中時，由于具有熔點比二氧化硅粒子高的氧化鋁粒子不熔融，因此可防止在粒子之間結合著互相鄰接的二氧化硅粒子與氧化鋁粒子，粒界得到維持，因此即使長時間點燈時，也可有效率地擴散反射真空紫外光，從而可將反射率的降低程度抑制得較小，而且在形成紫外線反射膜時所調(diào)配的分散液中，因二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的比重差所致的質(zhì)量差被補償而成為收斂在一定范圍內(nèi)的狀態(tài)，可使二氧化硅粒子與氧化鋁粒子的流動性一致，因此可在二氧化硅粒子與氧化鋁粒子均勻地被分散的狀態(tài)下形成紫外線反射膜，相對于放電容器的軸方向(通過例如流下法形成紫外線反射膜時的傾斜方向)可得到均勻的照度分布。此外，氧化鋁粒子具有比二氧化硅粒子高的折射率，因此與僅由二氧化硅粒子形成的紫外線反射膜相比，可得到高反射率。此外，通過在被曝露在產(chǎn)生準分子發(fā)光的放電空間S中的放電容器11內(nèi)表面上形成有紫外線反射膜20，可將隨著放電空間S內(nèi)的真空紫外線入射于構成光出射部18以外區(qū)域的二氧化硅玻璃上產(chǎn)生的紫外線應變所致的損傷予以減小，而可防止產(chǎn)生裂痕。以下說明為了確認本發(fā)明的效果所進行的實驗例。(實驗例1)按照圖1所示的構成，制作除了紫外線反射膜中的二氧化硅粒子的中心粒徑Dl與氧化鋁粒子的中心粒徑D2的比Dl/D2依照下述表1進行變更以外，具有同一構成的8種的準分子燈。各準分子燈的基本構成如下所述。(準分子燈的構成)放電容器的尺寸是10x40x900mm，厚度為3mm。被封入在放電容器內(nèi)的放電用氣體是氙氣體，其封入量是50kPa。高電壓供給電極及接地電極的尺寸是30x800mm。準分子燈的發(fā)光長度是800mm。構成紫外線反射膜的二氧化硅粒子中具有中心粒徑的粒子比率為50%。氧化鋁粒子中具有中心粒徑的粒子比率為50%。在此，二氧化硅粒子及氧化鋁粒子的粒徑的測定如下進行使用曰本日立制的電場放射型掃描電子顯微鏡"S4100"，使加速電壓為20kV，使放大投影圖像的觀察倍率在粒徑0.1lpm的粒子的情況下為20000倍、在粒徑l~10|iim的粒子的情況下為2000倍。紫外線反射膜通過流下法并使燒成溫度為IIO(TC而得到，其膜厚是30nm，氧化鋁粒子的含有比率為10wt%。對于各準分子燈，在電極間的電壓差為10kV的條件下，通過連續(xù)點燈準分子燈1小時以上而使動作狀態(tài)穩(wěn)定后，在相對于光出射方向離開3mm的位置中相對于發(fā)光部間的放電容器的管軸方向每隔10mm間隔的位置上，測定波長172nm的氛準分子光的照度，調(diào)査通過[(最小照度/最大照度)]xioo(y。)表示的相對照度分布。結果示于下述表1中。[表l]<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>準分子燈的相對照度分布作為產(chǎn)品的規(guī)格被要求為70%以上，但由以上的結果可以確認，根據(jù)作為二氧化硅粒子混合了其中心粒徑為氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上的二氧化硅粒子而形成有紫外線反射膜的準分子燈1~6，可使相對照度分布為70%以上，且相對于管軸方向可得到均勻的照度分布。(實驗例2)除了將發(fā)光長度為1600mm以外，具有與實驗例1相同的構成，紫外線反射膜的二氧化硅粒子的中心粒徑Dl與氧化鋁粒子的中心粒徑D2之比D1/D2依照下述表2進行變更，來制造8種的準分子燈，進行與實驗例1同樣的實驗，調(diào)査各準分子燈的相對照度分布。結果示于下述表2中。表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>由以上結果可以確認，與準分子燈的發(fā)光長度的大小無關，根據(jù)作為二氧化硅粒子混合其中心粒徑為氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上的二氧化硅例子而形成紫外線反射膜的準分子燈9~14，可使相對照度分布成為70%以上，且相對于管軸方向可得到均勻的照度分布。(實驗例3)紫外線反射膜由中心粒徑(D1)為0.3(am的二氧化硅粒子、及中心粒徑(D2)為0.3|im的氧化鋁粒子(D1/D2^.00)形成，通過將使氧化鋁粒子的含有比率變更為Owt%、10wt%、33wt%、50wt。/。的紫外線反射膜以3(Hun膜厚形成于平板狀的二氧化硅玻璃制基材上，制作出4種試驗片。并且，針對于各試驗片，測定將紫外線反射膜加熱為IOO(TC時[圖3中以點劃線所示的直線(^)]、及加熱為1300'C時[圖3中以虛線所示的直線(口)]的各自的波長170nm的光的反射光強度。結果示于圖3中。在此，作為紫外線反射膜的加熱溫度的IOOO'C，是相當于形成紫外線反射膜時的燒成溫度的溫度，130(TC是相當于等離子體作用于紫外線反射膜時的加熱溫度的溫度。反射光強度的測定使用ACTONRESEARCH所制的"VM-502"，首先，針對不具有紫外線反射膜的基材，取得各波長的散射光的基準值，設置形成有紫外線反射膜的試驗片，針對各波長測定散射光，將由此得到的各測定值，用各波長的基準值(不具有紫外線反射膜的基材的測定)進行除算，得到反射光強度，通過從各種測定結果抽出特定波長的測定值，而得到波長170nm的光的反射光強度。由圖3所示的結果可知，紫外線反射膜的氧化鋁粒子的含有比率為0wt。/。時，即在不含氧化鋁粒子時，加熱為IOOO'C時的反射光強度是0.03以上的高值，而加熱為130(TC時反射光強度會大幅度地降低至大約0.01。由此，在實際的準分子燈，等離子體接觸紫外線反射膜的部位，反射光強度局部地降低，使得準分子燈的照度分布不均勻，當準分子燈長時間點燈時，推定等離子體接觸紫外線反射膜全體，反射率降低。另一方面確認了通過添加氧化鋁粒子，因熱所致的反射率降低被逐漸抑制。具體地加以說明如下，在添加10wt。/。氧化鋁粒子時，加熱為IOO(TC時的反射光強度低于僅由二氧化硅粒子構成時的反射光強度，例如降低成0.023，但加熱為130(TC時反射光強度為0.017而高于未添加氧化鋁粒子的情況，從而確認了可將因熱所致的紫外線反射膜的反射率的降低抑制大約70%。如此，隨著增加氧化鋁粒子的含有比率，可將因熱所致的紫外線反射膜的反射率降低的程度抑制得較小，例如在添加50wtY。的氧化鋁粒子時，加熱為IOOO'C時的反射光強度、及加熱為130(TC時的反射光強度一致，從而確認了可將因熱所致的紫外線反射膜的反射率的降低加以抑制。(實驗例4)除了在實驗例3中在從owt。/。到iowty。為止的范圍內(nèi)適當?shù)刈兏趸X粒子的含有比率以外，與實驗例3同樣，通過將紫外線反射膜以膜厚3(Him形成在平板狀的二氧化硅制基材上來制作多種試驗片，針對由此得到的各試驗片，與實驗例3同樣，通過測定將紫外線反射膜加熱為IOO(TC時及加熱為1300'C時的各自的波長170nm的光的反射光強度，來對紫外線反射膜的氧化鋁粒子的含有量的影響加以調(diào)査。結果示于下述表3中，在此，氧化鋁粒子的含有比率為Owty。時及氧化鋁粒子的含有比率為10wt。/。時的結果，在上述實驗例3中得到。波長170nm的光的反射光強度(a.u.)氧化鋁粒子的含有比率[wt。/。]011010000.0310駕00.02350.02313000.0100.0120.0160.017由實驗例4所示的結果可知，在添加lwtM的氧化鋁粒子時，雖然加熱為IOOO'C時的反射光強度低于僅由二氧化硅粒子形成時的反射光強度，此外在加熱為130(TC時反射光強度是0.012而高于未添加氧化鋁粒子時，但只能將因熱所致的紫外線反射膜的反射率的降低抑制大約32%。與此相對，在添加5wt。/。的氧化鋁粒子時，加熱為IOO(TC時的反射光強度低于僅由二氧化硅粒子形成時的反射光強度，例如降低成0.0235，而被加熱為1300。C時反射光強度是0.016而高于未添加氧化鋁粒子時，確認了可將因熱所致的紫外線反射膜的反射率的降低抑制大約68%。因此，在實際的準分子燈中，通過紫外線反射膜添加5wt。/。以上的氧化鋁粒子，即使準分子燈長時間點燈使得紫外線反射膜曝露于等離子體的熱中時，也可抑制二氧化硅粒子熔融所致的反射率降低，依照形成有此種紫外線反射膜的準分子燈，推定可長時間確實地維持相對于管軸方向得到均勻的照度分布的狀態(tài)。并且，通過使得紫外線反射膜添加10wt。/。以上的氧化鋁粒子者，可更確實地得到上述效果。以上，針對于本發(fā)明的實施方式加以說明，但本發(fā)明是并不被限定于上述實施方式，可進行各種變更。本發(fā)明是并不被限定于上述構成的準分子燈，也可適用于圖4所示的雙重管構造的準分子燈、或圖5所示的所謂"四方型"的準分子燈。圖4所示的準分子燈50，具有由二氧化硅玻璃形成的圓筒狀的外側管52、及在該外側管52內(nèi)沿其管軸配置的具有比該外側管52的內(nèi)徑小的外徑的例如由二氧化硅玻璃形成的圓筒狀內(nèi)側管53，外側管52與內(nèi)側管53在兩端部被熔融接合而在外側管52與內(nèi)側管53之間具備形成有環(huán)狀放電空間S的雙重管構造的放電容器51，例如由金屬形成的一個電極(高電壓供給電極)55密接設于內(nèi)側管53的內(nèi)周面，并且例如由金屬網(wǎng)等的導電性材料形成的另一個電極56密接設于外側管52的外周面，在放電空間S內(nèi)，例如填充有氙氣體等通過準分子放電形成準分子分子的放電用氣體。在此種構成的準分子燈50中，例如在放電容器51的內(nèi)側管53的內(nèi)表面的全周設有上述紫外線反射膜20，并且在外側管52的內(nèi)表面，除了形成光出射部58的一部分區(qū)域以外，設有上述紫外線反射膜20。此外，圖5所示的準分子燈40例如具備由合成二氧化硅玻璃構成的截面長方形的放電容器41，將由金屬構成的一對外側電極45、45以在放電容器41的管軸方向延伸的方式配設于放電容器41的彼此相對的外表面上，而且放電用氣體的例如氙氣體被填充于放電容器41內(nèi)。在圖5中，符號42是排氣管，符號43是由鋇形成的吸氣器。在此種構成的準分子燈40中，在放電容器41的內(nèi)表面中與各個外側電極45，45對應的區(qū)域及與該區(qū)域連續(xù)的一個內(nèi)面區(qū)域上，設有上述紫外線反射膜20，并通過不設置紫外線反射膜20而形成光出射部44。權利要求1.一種準分子燈，包括具有放電空間的由二氧化硅玻璃構成的放電容器，在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設有一對電極，在上述放電容器的放電空間內(nèi)產(chǎn)生準分子放電，其特征在于，在上述放電容器的曝露于放電空間中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化鋁粒子形成的紫外線反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒徑的大小為上述氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上。2.如權利要求l所述的準分子燈，其中，紫外線反射膜中的氧化鋁粒子的含有比率，是上述二氧化硅粒子和氧化鋁粒子的合計的5wt%以上。3.如權利要求l所述的準分子燈，其中，紫外線反射膜中的氧化鋁粒子的含有比率，是上述二氧化硅粒子和氧化鋁粒子的合計的10wtn/。以上。全文摘要本發(fā)明提供一種即使長時間點燈時也把紫外線反射膜的反射率降低的程度抑制得較小、而且在放電容器的軸方向可得到均勻的照度分布的準分子燈。本發(fā)明的準分子燈，包括具有放電空間的由二氧化硅玻璃構成的放電容器，在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設有一對電極，在上述放電容器的放電空間內(nèi)產(chǎn)生準分子放電，其中，在上述放電容器的曝露于放電空間中的表面上，形成由二氧化硅粒子和氧化鋁粒子形成的紫外線反射膜，上述二氧化硅粒子的中心粒徑的大小為上述氧化鋁粒子的中心粒徑的0.67倍以上。紫外線反射膜中的氧化鋁粒子的含有比率，優(yōu)選是二氧化硅粒子和氧化鋁粒子的合計的5wt％以上，更優(yōu)選10wt％以上。文檔編號H01J65/00GK101409206SQ200810169268公開日2009年4月15日申請日期2008年10月10日優(yōu)先權日2007年10月10日發(fā)明者森本幸裕,藤澤繁樹申請人:優(yōu)志旺電機株式會社