技術編號：2891905
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種準分子燈，其具備由二氧化硅玻璃構成的放電容 器，在夾著形成該放電容器的二氧化硅玻璃的狀態(tài)下設有一對電極， 在上述放電容器的內部產生準分子放電。背景技術近年來，開發(fā)了例如通過將波長200rnn以下的真空紫外光照射在 由金屬、玻璃及其它材料構成的被處理體上，而在該真空紫外光及由 此所生成的臭氧的作用下處理被處理體的技術，例如除去附著于被處 理體的表面的有機污染物質的清洗處理技術、或在被處理體的表面形 成氧化膜的氧化膜形成處理技術，并將這些技術實用...
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