專利名稱：準(zhǔn)分子燈照明裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于準(zhǔn)分子燈照明裝置，特別是關(guān)于在被照射物與準(zhǔn)分子燈之間有窗部的準(zhǔn)分子燈照明裝置的窗部的加熱方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，半導(dǎo)體的制造工序或液晶基板的洗凈等，大多是采用準(zhǔn)分子燈照明裝置，準(zhǔn)分子燈照明裝置采用有強(qiáng)大的光能量又能有效放射單一波長(zhǎng)的光的準(zhǔn)分子燈。將準(zhǔn)分子燈作為紫外線光源來(lái)使用的準(zhǔn)分子燈照明裝置，一般是設(shè)有用來(lái)把紫外線透過(guò)的窗部。
例如，在配置有多個(gè)準(zhǔn)分子燈的燈室與被照射物之間配置有石英玻璃制的窗部的準(zhǔn)分子燈照明裝置，已知在日本專利特開(kāi)平8-85861號(hào)公報(bào)中已有記載。
但是，在燈室與被照射物之間配置有窗部的準(zhǔn)分子燈照明裝置會(huì)有在窗部的被照射物側(cè)附著有被準(zhǔn)分子光所光分解的反應(yīng)生成物的問(wèn)題。因此防止該反應(yīng)生成物的附著的技術(shù)，在日本專利特開(kāi)平11-295500號(hào)公報(bào)中記載有借助于在窗部設(shè)置厚膜加熱器或線狀加熱器來(lái)防止附著的技術(shù)。
圖6為表示現(xiàn)有技術(shù)的準(zhǔn)分子燈照明裝置的概略構(gòu)成圖。
該準(zhǔn)分子燈照明裝置是在燈室21內(nèi)，設(shè)有用來(lái)將準(zhǔn)分子燈22所放射的準(zhǔn)分子光有效聚集到準(zhǔn)分子燈22的背面?zhèn)鹊姆瓷溏R23，而從準(zhǔn)分子燈22及反射鏡所放射的準(zhǔn)分子光，從設(shè)置在燈室21的窗部24放射至被照射物25側(cè)。再則，窗部24的加熱裝置則是在窗部24的準(zhǔn)分子燈側(cè)，形成有網(wǎng)版印刷導(dǎo)電性發(fā)熱糊狀物而成的厚膜加熱器26。另外，除了厚膜加熱器以外，加熱裝置也能采用線狀加熱器等的電阻加熱。該厚膜加熱器26由設(shè)置在燈室外部的直流電源或商用電源等電源27來(lái)提供電力，對(duì)厚膜加熱器26通電而進(jìn)行加熱。
專利文獻(xiàn)1日本專利特開(kāi)平8-85861號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本專利特開(kāi)平11-295500號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容但是，如同上述現(xiàn)有技術(shù)的準(zhǔn)分子燈照明裝置，為了要將窗部24加熱而借助于厚膜加熱器26等來(lái)通電加熱，除了要有用來(lái)使準(zhǔn)分子燈照明裝置點(diǎn)燈的高頻高壓電源以外，還必須要有直流電源或商用電源等的電源27，而會(huì)有準(zhǔn)分子燈照明裝置中的電源電路既復(fù)雜又大型化的問(wèn)題。另外，厚膜加熱器26等經(jīng)常有斷線的危險(xiǎn)性，而會(huì)有一部分?jǐn)嗑€就無(wú)法整體加熱的問(wèn)題。
鑒于上述的問(wèn)題點(diǎn)，本發(fā)明的目的是提供雖在用來(lái)把準(zhǔn)分子光透過(guò)的窗部，設(shè)有用來(lái)抑制被照射物側(cè)附著有所生成的反應(yīng)性生成物的加熱機(jī)構(gòu)，卻不致于使電力供應(yīng)給加熱機(jī)構(gòu)的電源電路變復(fù)雜又大型化，結(jié)果是使裝置上電路的構(gòu)成簡(jiǎn)單化的準(zhǔn)分子燈照明裝置。
本發(fā)明為了解決上述的課題而采用了以下的裝置。
第1裝置是一種準(zhǔn)分子燈照明裝置，具有將稀有氣體封裝在放電空間的準(zhǔn)分子燈；將該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源；內(nèi)部配置有該準(zhǔn)分子燈的燈室；以及使在該燈室中從準(zhǔn)分子燈所放射的準(zhǔn)分子光透過(guò)的玻璃制的窗部，其特征在于，在前述窗部，設(shè)有由前述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源所供電的感應(yīng)加熱線圈和借助于該感應(yīng)加熱線圈來(lái)感應(yīng)加熱，形成為準(zhǔn)分子光可從前述窗部透過(guò)，并將前述窗部加熱的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體。
第2裝置如同第1裝置，其中前述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體為沿著前述準(zhǔn)分子燈側(cè)的前述窗部面所配置的多個(gè)金屬環(huán)路。
第3裝置如同第1裝置，其中前述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體為混入在前述窗部的金屬體。
第4裝置如同第1、2或3的裝置中的任意一種裝置，其中設(shè)有當(dāng)前述準(zhǔn)分子燈熄燈的時(shí)候，由前述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源供電給前述感應(yīng)加熱用線圈的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)。
依據(jù)本發(fā)明的第1裝置，因是一種具備有將稀有氣體封裝在放電空間的準(zhǔn)分子燈、將該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源、內(nèi)部配置有該準(zhǔn)分子燈的燈室、以及使在該燈室中從準(zhǔn)分子燈所放射的準(zhǔn)分子光透過(guò)的玻璃制的窗部的準(zhǔn)分子燈照明裝置，在前述窗部，設(shè)有由前述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源所供電的感應(yīng)加熱線圈和借助于該感應(yīng)加熱線圈來(lái)感應(yīng)加熱，形成為準(zhǔn)分子光可從前述窗部透過(guò)，并將前述窗部加熱的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體，所以能將電力供應(yīng)給將窗部加熱的感應(yīng)加熱線圈的電力供應(yīng)電源和準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源共享化，而能使準(zhǔn)分子燈照明裝置的電路構(gòu)成簡(jiǎn)單化，結(jié)果是能使準(zhǔn)分子燈照明裝置小型化。
依據(jù)本發(fā)明的第2裝置，因是以沿著前述準(zhǔn)分子燈側(cè)的前述窗部面所配置的多個(gè)金屬環(huán)路來(lái)構(gòu)成前述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體，且感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路配置在形成窗部的玻璃面上，所以窗部的加熱效率良好，又能將窗部脫離金屬環(huán)路來(lái)加以清洗。
依據(jù)本發(fā)明的第3裝置，因前述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體為，混入在前述窗部的金屬體，所以可以將感應(yīng)加熱用導(dǎo)體與窗部構(gòu)成為一體，因而可以更進(jìn)一步簡(jiǎn)化準(zhǔn)分子燈照明裝置的構(gòu)成。
依據(jù)本發(fā)明的第4裝置，因設(shè)有當(dāng)前述準(zhǔn)分子燈熄燈的時(shí)候，由前述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源供電給前述感應(yīng)加熱用線圈的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)，所以能確實(shí)切換準(zhǔn)分子燈及感應(yīng)加熱線圈的電力供應(yīng)，而能只在準(zhǔn)分子燈熄燈時(shí)確實(shí)加熱感應(yīng)加熱線圈的窗部，且能有效活用輸入電力。


圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈照明裝置的構(gòu)成圖。
圖2為表示從圖1所示的準(zhǔn)分子燈5側(cè)來(lái)看的感應(yīng)加熱線圈6和感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71、72的具體構(gòu)成圖。
圖3為表示圖2a所示的感應(yīng)加熱線圈6和感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71的具體構(gòu)成圖的主視圖。
圖4為表示取代圖1所示的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71，改而在窗部8混入金屬粉末73來(lái)作為感應(yīng)加熱用導(dǎo)體時(shí)的具體構(gòu)成圖的主視圖。
圖5為表示取代圖1所示的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71，改而在窗部8鑲嵌金屬片74來(lái)作為感應(yīng)加熱用導(dǎo)體時(shí)的具體構(gòu)成圖的主視圖。
圖6為表示現(xiàn)有技術(shù)的準(zhǔn)分子燈裝置的構(gòu)成圖。
具體實(shí)施例方式
用圖1至圖3說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。
圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈照明裝置的構(gòu)成圖。
圖1中，1為使高頻電壓產(chǎn)生的變頻器，2為將變頻器1的輸出切換至升壓變壓器3或是加熱線圈變壓器4的切換器，3為為了要將變頻器1的輸出升壓到準(zhǔn)分子燈5的用來(lái)點(diǎn)燈的高頻電壓的升壓變壓器，4為將變頻器1的輸出調(diào)整到用以施加給感應(yīng)加熱線圈6的電壓的加熱線圈變壓器，5為配置在燈室9內(nèi)的多個(gè)準(zhǔn)分子燈，6為施加由加熱線圈變壓器4所輸出的電壓來(lái)產(chǎn)生感應(yīng)磁場(chǎng)的感應(yīng)加熱線圈，7為交鏈由感應(yīng)加熱線圈6所產(chǎn)生的感應(yīng)磁場(chǎng)來(lái)使感應(yīng)電流流通并發(fā)熱而將窗部8加熱的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體，8為設(shè)置在燈室9，用來(lái)將準(zhǔn)分子燈5或反射鏡(未圖示)所放射的準(zhǔn)分子光透過(guò)，照射到被照射物(未圖示)的玻璃制的窗部，9為收納準(zhǔn)分子燈5、感應(yīng)加熱線圈6、感應(yīng)加熱用導(dǎo)體7等的燈室，10為溫度檢測(cè)電路，11為A/D轉(zhuǎn)換器，12為電壓波形檢測(cè)電路，13為A/D轉(zhuǎn)換器，14為電流波形檢測(cè)電路，15為A/D轉(zhuǎn)換器，16為運(yùn)算器(CPU)，17為柵極驅(qū)動(dòng)器，18為EEPROM。
圖2a和圖2b為分別表示從圖1所示的準(zhǔn)分子燈5側(cè)來(lái)看的感應(yīng)加熱線圈6和作為感應(yīng)加熱用導(dǎo)體7的感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71、72的具體構(gòu)成圖；圖3為表示圖2a所示的感應(yīng)加熱線圈6和從感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71的正面來(lái)看的具體構(gòu)成圖。
如這些圖所示，感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71、72交鏈感應(yīng)加熱線圈6所產(chǎn)生的感應(yīng)磁場(chǎng)來(lái)使感應(yīng)電流流通并發(fā)熱而將窗部8加熱。
另外，感應(yīng)加熱用導(dǎo)體7也可以只在窗面配置金屬網(wǎng)來(lái)取代圖3所示的感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71。還可以如圖4所示，在玻璃制的窗部8內(nèi)混入金屬粉末73，在該金屬粉末73產(chǎn)生渦流電流而發(fā)熱。此處，金屬粉末73最好是例如鋁、鎢等融點(diǎn)為1600℃以上的金屬，金屬粉末73的顆粒徑為1μm～數(shù)mm程度?；烊氲牧吭O(shè)為開(kāi)口率(ApertureRatio)90％以上，也就是設(shè)成沒(méi)有混入的玻璃制的窗部8與有混入的玻璃制的窗部8對(duì)被照射物有降低10％以下的照度的量。例如，顆粒徑1μm的大致球形的材料含有10ppm程度則開(kāi)口率(Aperture Ratio)為90％程度。
另外，也可以如圖5所示，將許多金屬片74鑲嵌配置在玻璃制的窗部8面上，再用SiO2來(lái)涂敷金屬片，而作為感應(yīng)加熱用導(dǎo)體。
其次，用圖1和圖2說(shuō)明準(zhǔn)分子燈照明裝置的動(dòng)作。
該裝置的動(dòng)作由點(diǎn)燈動(dòng)作模式及感應(yīng)加熱模式所組成，各模式則是以切換器來(lái)進(jìn)行切換。點(diǎn)燈動(dòng)作模式中，高頻電壓由變頻器1施加給升壓變壓器3，再?gòu)纳龎鹤儔浩?輸出高頻電壓。該高頻電壓施加給準(zhǔn)分子燈5，準(zhǔn)分子燈5就會(huì)點(diǎn)燈。另外，借助于切換器來(lái)進(jìn)行切換，準(zhǔn)分子燈熄燈的時(shí)候，即是感應(yīng)加熱模式，則高頻電壓(例如10kHz～100kHz)經(jīng)由加熱線圈變壓器4施加給感應(yīng)加熱線圈6，感應(yīng)加熱線圈6所感應(yīng)出來(lái)的感應(yīng)磁場(chǎng)與感應(yīng)加熱用導(dǎo)體7相交鏈，也就是與圖2所示的感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71或72相交鏈，而在感應(yīng)加熱用金屬環(huán)路71或72流通感應(yīng)電流并發(fā)熱，就能將窗部8加熱。
另外，溫度檢測(cè)電路10為檢測(cè)窗部8的溫度的電路，將溫度轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，進(jìn)行預(yù)定的電平轉(zhuǎn)換，經(jīng)由A/D轉(zhuǎn)換器11轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后輸入至運(yùn)算器(CPU)16。
電壓波形檢測(cè)電路12為檢測(cè)供應(yīng)至準(zhǔn)分子燈5的電壓波形的電路，將電壓波形進(jìn)行預(yù)定的電平轉(zhuǎn)換，經(jīng)由A/D轉(zhuǎn)換器13轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后輸入至運(yùn)算器(CPU)16。
電流波形檢測(cè)電路14將供應(yīng)至準(zhǔn)分子燈5的電流轉(zhuǎn)換成預(yù)定的電平，經(jīng)由A/D轉(zhuǎn)換器15轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)后輸入至運(yùn)算器(CPU)16。
運(yùn)算器(CPU)16運(yùn)算來(lái)自A/D轉(zhuǎn)換器11、13、15的信號(hào)，將控制信號(hào)輸送給使變頻器1作動(dòng)的柵極驅(qū)動(dòng)器17。運(yùn)算器(CPU)16具備有用來(lái)保存各運(yùn)算結(jié)果或比較結(jié)果的EEPROM18。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子燈照明裝置，具有將稀有氣體封裝在放電空間的準(zhǔn)分子燈；將該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源；內(nèi)部配置有該準(zhǔn)分子燈的燈室；以及使在該燈室中從準(zhǔn)分子燈所放射的準(zhǔn)分子光透過(guò)的玻璃制的窗部，其特征在于，在所述窗部，設(shè)有由所述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源所供電的感應(yīng)加熱線圈和借助于該感應(yīng)加熱線圈來(lái)感應(yīng)加熱，形成為準(zhǔn)分子光可從所述窗部透過(guò)，將所述窗部加熱的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體。
2.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈照明裝置，其中，所述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體為沿著所述準(zhǔn)分子燈側(cè)的所述窗部面所配置的多個(gè)金屬環(huán)路。
3.如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)分子燈照明裝置，其中，所述感應(yīng)加熱用導(dǎo)體為混入在所述窗部的金屬體。
4.如權(quán)利要求1至3中的任意一項(xiàng)所述的準(zhǔn)分子燈照明裝置，其中，設(shè)有當(dāng)所述準(zhǔn)分子燈熄燈的時(shí)候，由所述準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源供電給所述感應(yīng)加熱用線圈的開(kāi)關(guān)機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明是提供一種不會(huì)使將電力供應(yīng)給加熱機(jī)構(gòu)的電源電路變復(fù)雜又大型化，且裝置的電路構(gòu)成簡(jiǎn)單化的準(zhǔn)分子燈照明裝置。該準(zhǔn)分子燈照明裝置具有將稀有氣體封裝至放電空間的準(zhǔn)分子燈(5)、將準(zhǔn)分子燈(5)點(diǎn)燈的準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源(1，3)、內(nèi)部配置有準(zhǔn)分子燈(5)的燈室(9)、以及使燈室(9)中準(zhǔn)分子燈(5)所放射的準(zhǔn)分子光透過(guò)的玻璃制的窗部(8)，其特征在于，在窗部(8)設(shè)有從準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈用電源(1)所供電的感應(yīng)加熱線圈(6)和借助于感應(yīng)加熱線圈(6)來(lái)感應(yīng)加熱，形成為準(zhǔn)分子光可從窗部(8)透過(guò)，將窗部(8)加熱的感應(yīng)加熱用導(dǎo)體(7)。
文檔編號(hào)H01J65/00GK1741247SQ20051009656
公開(kāi)日2006年3月1日 申請(qǐng)日期2005年8月25日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月25日
發(fā)明者中村雅規(guī), 山森賢治 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社