專利名稱：準(zhǔn)分子燈的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在放電容器內(nèi)配置吸氣劑而成的準(zhǔn)分子燈及準(zhǔn)分子燈裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為放電燈，知道有多種構(gòu)成，在一部分由電介質(zhì)構(gòu)成的放電容器內(nèi)，填充合適的放電用氣體，在該放電容器內(nèi)由電介質(zhì)壁壘放電生成準(zhǔn)分子，放出該準(zhǔn)分子光的準(zhǔn)分子燈為公知。例如，在日本特開平1-144560號(hào)公報(bào)中記載著在至少一部分由作為電介質(zhì)的石英玻璃構(gòu)成的中空圓筒狀放電容器內(nèi)填充放電用氣體而形成的準(zhǔn)分子燈。
在如此的準(zhǔn)分子燈中，在放電容器內(nèi)，例如存在氧、氫、一氧化碳、水等不純氣體的話，則隨時(shí)間經(jīng)過放射光的強(qiáng)度會(huì)容易減低，因而配合必要程度，在放電容器內(nèi)設(shè)置吸收這些不純氣體的吸氣劑。如此的吸氣劑若位于主要放電路徑上則無法取得穩(wěn)定的放電特性，因而通常，電極或用以保持電極的導(dǎo)線棒在固定狀態(tài)下被配置在放電容器內(nèi)。
最近，在準(zhǔn)分子燈中，為了對應(yīng)于被處理物的液晶基板的大面積化而加長燈的全長，但是，為了減少無塵室的占有面積，要求裝置本身小型化，作為燈要求非發(fā)光部領(lǐng)域的比例小。
例如，例如在專利文獻(xiàn)1(日本特開平6-338302號(hào)公報(bào))等公知的準(zhǔn)分子燈，在延長放電容器而設(shè)置吸氣劑部件配置用區(qū)劃區(qū)域的燈中，有非發(fā)光部比例大的問題。
因?yàn)闊舻娜L加長化，如施加振動(dòng)沖擊的話，有容易壞的問題。
另一方面，記載在專利文獻(xiàn)2(日本特開平7-272694號(hào)公報(bào))的準(zhǔn)分子燈(參照該公報(bào)中圖12)，因在內(nèi)側(cè)電極的外周上保持有吸氣劑材料，因而無法設(shè)置吸氣劑用的區(qū)劃區(qū)域，與專利文獻(xiàn)1公開的準(zhǔn)分子燈相比可減少非發(fā)光部領(lǐng)域，較有利，而且是暴露在放電中的構(gòu)造(配置在放電路徑上)，因而吸氣劑加熱后可適宜進(jìn)行不純氣體的吸附。但是，在該燈中，因吸氣劑材料暴露在放電中而產(chǎn)生濺射從而污染放電容器的內(nèi)壁，有使光透過性降低的問題。
在專利文獻(xiàn)3(日本特開平2001-43832號(hào)公報(bào)(參照圖13))中記載著在內(nèi)側(cè)電極的中心軸附近設(shè)置吸氣劑的準(zhǔn)分子燈。依據(jù)于此，因吸氣劑不是配置在形成于內(nèi)側(cè)電極與外側(cè)電極的間的放電路徑上，因而吸氣劑不易產(chǎn)生濺射，放電容器的內(nèi)壁不易污染。但是，吸氣劑因不暴露在放電中而無法得到加熱效果，無法取得充分的吸氣劑作用。
專利文獻(xiàn)1)日本特開平6-338302號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2)日本特開平7-272694號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本特開2001-43832號(hào)公報(bào)在準(zhǔn)分子燈中，用以提高工作處理效率而要求更高輸出化與長壽化，希望作為其中一種手段是由吸氣劑提高不純氣體的吸收效率。
長時(shí)間使用的話，有點(diǎn)燈中從石英玻璃等釋出氧或水等不純氣體而使放射照度降低的狀況。

發(fā)明內(nèi)容
在此，本發(fā)明的課題是提供一種準(zhǔn)分子燈，其具備吸氣劑，謀求提高吸氣劑的功能并防止照度維持率降低，可謀求燈的長壽化的準(zhǔn)分子燈。
本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，具有至少有一部份由使紫外線透過的電介質(zhì)材料構(gòu)成且內(nèi)部封入放電氣體的放電容器、在該放電容器內(nèi)部的長度方向上延伸并且氣密地被封止在放電容器端部的封止部中的內(nèi)側(cè)電極、以及配置在放電容器的外面的外側(cè)電極，其特征在于在上述放電容器內(nèi)配置由電介質(zhì)而形成的內(nèi)側(cè)管，使上述內(nèi)側(cè)電極插入上述內(nèi)側(cè)管內(nèi)，并且在該內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部配置吸氣劑。
并且，其特征在于，在內(nèi)側(cè)電極的外周部上配置上述吸氣劑。
并且，其特征在于，上述內(nèi)側(cè)電極至少包含鈦、鈕、鋯、鋇的一種以上而構(gòu)成，該內(nèi)側(cè)電極具有吸氣劑的功能。
更進(jìn)一步，其特征在于，具備內(nèi)側(cè)電極的加熱裝置。
再者，本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的特征在于，具備內(nèi)側(cè)管的兩個(gè)端部為開放的上述準(zhǔn)分子燈、以及使該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的點(diǎn)燈電源，使上述準(zhǔn)分子燈的管軸保持在相對于水平面為傾斜的狀態(tài)，使該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈。
發(fā)明效果依據(jù)本發(fā)明，因吸氣劑被配置在放電容器內(nèi)的內(nèi)側(cè)管內(nèi)，熱會(huì)通過電介質(zhì)被封阻而可促進(jìn)吸氣劑的高溫化，可謀求提高吸氣劑的效率。然后，就算吸氣劑材料發(fā)生濺射，因吸氣劑配置在電介質(zhì)內(nèi)部，因而可避免放電容器的內(nèi)壁被污染，可長時(shí)間維持高照度。而且，因無需在放電容器設(shè)置吸氣劑用的區(qū)劃區(qū)域，因而可壓抑非發(fā)光部區(qū)域的形成。
所以，壓低非發(fā)光部領(lǐng)域的比例的同時(shí)可謀求提高吸氣劑的功能，并且可防止照度維持率的降低，提供壽命長的準(zhǔn)分子燈。
并且，在內(nèi)側(cè)電極的外周部上設(shè)置上述吸氣劑，暴露在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部產(chǎn)生的放電中，由此促進(jìn)該吸氣劑的加熱，可謀求提高作用。
更進(jìn)一步，通過使用內(nèi)側(cè)電極兼吸氣劑部件的構(gòu)成，從而可得到零件件數(shù)少、構(gòu)成簡單的準(zhǔn)分子燈。
又更進(jìn)一步，具備內(nèi)側(cè)電極的加熱裝置，在使用燈時(shí)使電流流入內(nèi)電極而加熱電極，從而可維持吸氣劑表面的活性狀態(tài)，進(jìn)而可恢復(fù)吸收雜質(zhì)的能力。
又更進(jìn)一步，開放內(nèi)側(cè)管的兩端，使燈相對于水平方向傾斜而點(diǎn)燈，從而因放電容器內(nèi)部的氣體由對流而被搬運(yùn)而流過吸氣劑附近，因而可謀求吸氣劑作用的高效率化。


圖1說明本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)，(a)是準(zhǔn)分子燈的管軸方向剖面圖，(b)是準(zhǔn)分子燈的與管軸垂直方向的剖面圖。
圖2是表示放大圖1的準(zhǔn)分子燈的吸氣劑附近的說明圖。
圖3是表示圖2的實(shí)施形態(tài)的圖，其是準(zhǔn)分子燈的管軸方向剖面圖。
圖4是表示第3實(shí)施形態(tài)的圖，其是準(zhǔn)分子燈的管軸方向剖面圖。
圖5是表示具備內(nèi)側(cè)電極加熱裝置的電路圖的例子的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖6是表示具備與上述不同的內(nèi)側(cè)電極加熱裝置的電路圖的例子的電路結(jié)構(gòu)圖。
圖7是本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈裝置的管軸方向剖面圖。
圖8是表示使實(shí)施例1的準(zhǔn)分子燈A1及比較例1的準(zhǔn)分子燈B1點(diǎn)燈時(shí)的照度分布變化的圖。
圖9是表示使實(shí)施例2的準(zhǔn)分子燈A2及比較例2的準(zhǔn)分子燈B2點(diǎn)燈時(shí)的照度分布變化的圖。
(主要元件符號(hào)說明)10 放電容器11 外側(cè)管12a、12b 封止部13 內(nèi)側(cè)電極14a、14b 導(dǎo)線部15a、15b 金屬箔16a、16b 外部導(dǎo)線棒17 內(nèi)側(cè)管
17a 一端17b 另一端 18 吸氣劑H 放電空間 S 主要的放電具體實(shí)施方式
以下，說明本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的實(shí)施形態(tài)。圖1說明本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)，(a)是準(zhǔn)分子燈的管軸方向剖面圖，(b)是準(zhǔn)分子燈的與管軸垂直方向的剖面圖。該準(zhǔn)分子燈具備由電介質(zhì)材料形成的圓筒狀的外側(cè)管11而成，在兩端形成封止部12a、12b而密封，從而構(gòu)成放電容器10。如此的放電氣體，例如在封入有氙氣的放電容器10內(nèi)部的放電空間H封入有放電氣體、例如氙氣，與通過電介質(zhì)材料中的放電而形成準(zhǔn)分子，并且從該準(zhǔn)分子放射真空紫外光。作為構(gòu)成放電容器10的電介質(zhì)材料，可使用對于放電容器10內(nèi)放出的準(zhǔn)分子光有透過性的材料、例如合成石英玻璃。
由金屬絲網(wǎng)等導(dǎo)電性材料構(gòu)成的網(wǎng)狀外側(cè)電極13與外周面密接地設(shè)置在放電容器10的外側(cè)管11上。
在放電空間H內(nèi)配置內(nèi)側(cè)電極14。在圖1中內(nèi)側(cè)電極14為線圈狀，但是，此外也可采用線狀、桿狀、管狀等合適的形狀。內(nèi)側(cè)電極14的軸的位置大致與外側(cè)管11的軸同軸，在該內(nèi)側(cè)電極14的兩端形成直線狀導(dǎo)線部14a、14b，在如此的導(dǎo)線部14a、14b的外端部連接金屬箔15a、15b。然后，上述金屬箔15a、15b連接外部導(dǎo)線棒16a、16b，該金屬箔15a、15b被埋設(shè)在放電容器10的封止部12a、12b，內(nèi)側(cè)電極14以懸架狀態(tài)被設(shè)置在放電容器10中。
內(nèi)側(cè)電極14被插入到由管狀電介質(zhì)材料構(gòu)成的內(nèi)側(cè)管17內(nèi)。此內(nèi)側(cè)管17的一端17a及另一端17b是開放的，被配置成覆蓋內(nèi)側(cè)電極14全長，最好是延伸至比外側(cè)電極13的兩端長的方向的外方并覆蓋導(dǎo)線部14a、14b的一部分。內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)徑比內(nèi)側(cè)電極14的外徑稍大，在內(nèi)側(cè)管17內(nèi)部內(nèi)側(cè)電極14可自由移動(dòng)。
上述外側(cè)電極13及內(nèi)側(cè)電極14與由高頻電源構(gòu)成的電源裝置(圖示省略)相連接，在電極(13、14)之間施加電壓的話，則會(huì)貫通外側(cè)電極13與內(nèi)側(cè)電極14相對配置的部分，在內(nèi)側(cè)管14的外周面及外側(cè)管11的內(nèi)周面之間形成放電。
如圖1所示，在內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)部配置吸氣劑18。此吸氣劑18通過使線狀吸氣劑材料圍繞固定在內(nèi)側(cè)電極14的外周上，而配置在內(nèi)側(cè)管17與內(nèi)側(cè)電極14之間。
構(gòu)成吸氣劑18的材質(zhì)可使用例如鋯、鉭、鈦、鋁-鋯合金、鋇、鋇合金等金屬。
此吸氣劑18材料一般依據(jù)其形態(tài)大致分別為(1)非蒸發(fā)吸氣劑及(2)蒸發(fā)型吸氣劑。本發(fā)明是可適用任一種，以下，簡單說明吸氣劑的種類與作用。
(1)非蒸發(fā)吸氣劑由鋯、鉭、鈦等金屬或鋯-鋁合金、鋯-釩-鐵合金等構(gòu)成，有板狀、線狀等的合適形狀的個(gè)體。該非蒸發(fā)吸氣劑，提高溫度使吸附在表面的不純氣體在吸氣劑內(nèi)部擴(kuò)散，在表面形成干凈面(使活性化)，在該面吸附不純氣體。在活性化后的使用中，吸氣劑材料的溫度高的話，則因使雜質(zhì)在吸氣劑內(nèi)部擴(kuò)散，因而表面成干凈狀態(tài)，有不降低吸附能力的特征。
(2)作為蒸發(fā)型吸氣劑可舉出鋇、鈦等，此種物質(zhì)在合適的部件種由蒸鍍而設(shè)置成膜狀。由蒸鍍而形成干凈面(容易吸附的活性面)，形成此干凈面時(shí)吸附不純氣體，使放電容器內(nèi)清潔干凈。此蒸發(fā)型吸氣劑具有表面積大、吸氣劑作用的效率良好的特征。如此的蒸發(fā)型吸氣劑在本發(fā)明種被采用時(shí)，可設(shè)置在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)面上或內(nèi)電極表面上。
以上的吸氣劑材料對O2、N2、CO等氣體，在表面的干凈面(活性面)形成氧化物、氮化物、碳化物等并吸附。水等是在吸氣劑表面分解并吸附。因任一個(gè)溫度高的一方都可促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)或分解反應(yīng)，因而吸附能力會(huì)變高。
在此，參照附圖來說明本發(fā)明的吸氣劑的作用。在此的說明是使用非蒸發(fā)型吸氣劑的例子。
圖2是表示放大圖1的準(zhǔn)分子燈的吸氣劑附近的說明圖。
點(diǎn)燈的話，則在內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)部在內(nèi)側(cè)電極14的周圍形成放電(s1)。該放電的原因并不確定，推斷如下。
內(nèi)側(cè)電極14僅插通內(nèi)側(cè)管17內(nèi)部而兩者并未固定，因此由內(nèi)側(cè)管17的自重所致的垂下等而接觸內(nèi)側(cè)電極14的一部分。內(nèi)側(cè)電極14在接觸內(nèi)側(cè)管17的部分的附近因電場變強(qiáng)而產(chǎn)生放電s1。在內(nèi)側(cè)管17及內(nèi)側(cè)電極14之間具有空間的部分，通過放電s1所放出的電子或光電效果感生而產(chǎn)生放電s2。
如此的放電，即使內(nèi)側(cè)電極14為線圈狀、線或棒狀，無論其形狀怎樣，同樣會(huì)產(chǎn)生放電，這一點(diǎn)已被本發(fā)明者們確認(rèn)。
然后，內(nèi)側(cè)管17的放電的同時(shí)，在內(nèi)側(cè)管17的外周面與外側(cè)管11之間形成主要的放電S，而生成準(zhǔn)分子并放出準(zhǔn)分子光。
依據(jù)上述第1的實(shí)施形態(tài)的準(zhǔn)分子燈，與外側(cè)電極13相對的內(nèi)側(cè)電極14被配置在放電容器10內(nèi)由管狀電介質(zhì)構(gòu)成的內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)部，因此通過該內(nèi)側(cè)管17封閉熱，吸氣劑18可保持高溫，使雜質(zhì)的吸附作用可高效率進(jìn)行。
然后，在吸氣劑18發(fā)生濺射時(shí)，也因是在內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)部，因此放電容器10的內(nèi)壁并不因?yàn)R射而被污染，可防止光輸出的降低。
然后，在不純氣體中，在點(diǎn)燈時(shí)暴露在內(nèi)側(cè)管17內(nèi)部所產(chǎn)生的放電等離子中，而被分解并易與吸氣劑18結(jié)合，因此吸氣劑18本身維持高溫互相作用而較容易擴(kuò)散并侵入到吸氣劑18的內(nèi)部，而可維持吸氣劑18表面活性的狀態(tài)。
其結(jié)果，可得到雜質(zhì)的合適的吸附作用，就算在長時(shí)間點(diǎn)燈使用的情況下也可維持照度高的狀態(tài)。
吸氣劑18被配置在內(nèi)側(cè)電極14的外周部上以外、例如配置在線圈狀電極的內(nèi)周部上時(shí)也可得到如此的效果。
更進(jìn)一步，在上述第1實(shí)施形態(tài)中，因吸氣劑18被配置在內(nèi)側(cè)電極14的外周部上，因此加上上述基本的作用效果，在點(diǎn)燈時(shí)，該吸氣劑18暴露在內(nèi)側(cè)管17內(nèi)部所產(chǎn)生的放電等離子中，由此而加熱，因此雜質(zhì)的吸附作用更高效率地進(jìn)行，可有效除去放電容器10內(nèi)的雜質(zhì)。
圖3是表示第2實(shí)施形態(tài)的圖，基本的構(gòu)造與圖1相同。即，由電介質(zhì)材料構(gòu)成的圓筒狀外側(cè)管11的兩端部形成封止部12a、12b從而構(gòu)成放電容器10，外側(cè)管11的外周網(wǎng)狀外側(cè)電極13與外周面密接而設(shè)置，而在放電空間H內(nèi)配置內(nèi)側(cè)電極14。內(nèi)側(cè)電極14在此以簡略化記載，例如與圖1相同為線圈狀。當(dāng)然，也可使用其他線狀、桿狀、管狀等合適形狀的電極。
此實(shí)施形態(tài)與第1實(shí)施形態(tài)的不同點(diǎn)是吸氣劑18以涂鍍的形態(tài)配置在內(nèi)側(cè)電極14或內(nèi)側(cè)管17上這一點(diǎn)。在此實(shí)施形態(tài)中，吸氣劑18由上述蒸發(fā)吸氣劑構(gòu)成。作為具體的涂鍍方法，使蒸發(fā)源的吸氣劑材料插入內(nèi)側(cè)電極14與內(nèi)側(cè)管17之間的間隙或內(nèi)側(cè)電極14的線圈的內(nèi)部，以高頻感應(yīng)加熱或光加熱等手段加熱，使其蒸發(fā)涂鍍在內(nèi)側(cè)電極14或內(nèi)側(cè)管17表面上。
在此實(shí)施狀態(tài)中，從內(nèi)側(cè)電極14至內(nèi)側(cè)管17之間所發(fā)生的放電通過吸氣劑18的膜，因而吸氣劑18暴露在放電等離子中而被加熱，并且被配置在內(nèi)側(cè)管17的內(nèi)部，由該內(nèi)側(cè)管17封閉熱而可保持吸氣劑18的高溫。其結(jié)果，由吸氣劑可使雜質(zhì)的吸附作用高效率地進(jìn)行，可取得與上述同樣的效果。
圖4是表示第3實(shí)施形態(tài)的圖，基本構(gòu)造與圖1相同。在此實(shí)施形態(tài)中，內(nèi)側(cè)電極14兼作吸氣劑18。此內(nèi)側(cè)電極至少包含鈦、鉭、鋯、鋇中一種以上而構(gòu)成。內(nèi)側(cè)電極14的形態(tài)與上述實(shí)施形態(tài)相同，線圈狀、線狀、桿狀、管狀等為適合的形態(tài)。在此實(shí)施形態(tài)中，以鈦、鉭等高融點(diǎn)金屬構(gòu)成的非蒸發(fā)吸氣劑特別合適。
根據(jù)此實(shí)施形態(tài)，內(nèi)側(cè)電極14與內(nèi)側(cè)管17之間產(chǎn)生放電，內(nèi)側(cè)電極14本身加熱，作為吸氣劑的作用也提高。由內(nèi)側(cè)管17封閉熱，因而內(nèi)側(cè)電極14的溫度升高，可以高效率地進(jìn)行雜質(zhì)的吸附作用。所以可得到與上述同樣的效果，更可減少零件件數(shù)而使構(gòu)造簡單化。
在本發(fā)明中，設(shè)置內(nèi)側(cè)電極的加熱裝置，也可隔著內(nèi)側(cè)電極而設(shè)置吸氣劑的加熱裝置。
在圖5、圖6中表示用以構(gòu)成內(nèi)側(cè)電極的加熱裝置的電路結(jié)構(gòu)圖的例子。
設(shè)置如此的加熱裝置時(shí)，內(nèi)側(cè)電極14的形態(tài)最好為線圈狀，但是，此外也可為薄壁的管狀形態(tài)。若吸氣劑如上述第3實(shí)施形態(tài)那樣構(gòu)成為形成內(nèi)側(cè)電極14本體，則最后為高效率加熱吸氣劑，但是設(shè)置貼緊內(nèi)側(cè)電極14即為充分。
在此，圖5是設(shè)置切換點(diǎn)燈電源20及電極加熱用電源21使其通電的開關(guān)23的電路結(jié)構(gòu)圖。藉通過變壓器(C)使點(diǎn)燈電源20與電極加熱用電源21絕緣。在圖5中省略內(nèi)側(cè)管及吸氣劑的圖示。
點(diǎn)燈時(shí)，使開關(guān)23為開放狀態(tài)，使點(diǎn)燈電源2動(dòng)作。使吸氣劑活性化時(shí)，在點(diǎn)燈電源20非動(dòng)作時(shí)，使開關(guān)23短路而從電極加熱用電源21流出電流，對內(nèi)側(cè)電極14加熱。然后，加熱到使吸氣劑成活性化程度的溫度、例如900℃。
圖6是與圖5不同的電路結(jié)構(gòu)圖。
僅以點(diǎn)燈電源20進(jìn)行點(diǎn)燈及電極加熱的電路結(jié)構(gòu)。進(jìn)行點(diǎn)燈時(shí)，使短路開關(guān)24為開放狀態(tài)，使點(diǎn)燈電源21動(dòng)作。使吸氣劑活性化時(shí)，降低點(diǎn)燈電源20的輸出電壓至不點(diǎn)燈的電壓，使短路開關(guān)24短路。電極“的阻抗低時(shí)，由電容器25限制短路時(shí)的電流值。電極14的電流值可由電壓、頻率、電容器容量決定，加熱至目標(biāo)溫度。在此的目標(biāo)溫度是使吸氣劑成活性化程度的溫度。
根據(jù)此實(shí)施形態(tài)，還有后述的優(yōu)點(diǎn)。
長時(shí)間使用的話，在點(diǎn)燈中，有從石英玻璃等釋出氧或水等不純氣體而使放射照度降低的情況。此時(shí)，超過吸氣劑的不純氣體吸附容許范圍時(shí)，使封入的吸氣劑再度活性化使其吸附不純氣體，從而可使放射照度恢復(fù)。
即，根據(jù)圖5、圖6所示的電路結(jié)構(gòu)圖的加熱裝置，在電極流入商用頻率等電流，使吸氣劑加熱至預(yù)定溫度，則吸氣劑將可再度活性化，而可恢復(fù)雜質(zhì)的吸附能力。然后，所謂使吸氣劑活性化程度的溫度，在非蒸發(fā)吸氣劑時(shí)例如為400-1000℃。使用蒸發(fā)吸氣劑時(shí)，因吸氣劑材料加熱至蒸發(fā)溫度(鋇約1900℃、鈦約3200℃)可形成新的蒸附膜，因而與上述同樣可去除放電容器內(nèi)的不純氣體，恢復(fù)放射照度。
接著，圖7是具備本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈的準(zhǔn)分子燈裝置的一例。此準(zhǔn)分子燈的內(nèi)側(cè)管17的兩端是開放的，具備圖示省略的點(diǎn)燈電源。如圖7所示，準(zhǔn)分子燈系使燈的管軸L相對于水平面、在該圖中包含X軸的平面傾斜而保持。如此實(shí)施形態(tài)，使燈的管軸相對于水平面傾斜而點(diǎn)燈的話，因放電容器10內(nèi)部的氣體由對流而被搬運(yùn)而流過吸氣劑18附近，可謀求吸氣劑18作用的高效率化。
已說明了本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)，但是，本發(fā)明并不限于上述形態(tài)。
在以上說明中，吸氣劑的位置被配置在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部即為充分，但是，最后是在燈的長度方向上在形成主要放電的范圍內(nèi)。特別是配置在內(nèi)側(cè)管與內(nèi)側(cè)電極之間產(chǎn)生放電(非主要放電)的部分為佳。此是因在形成放電的部分中，內(nèi)側(cè)管的溫度上升更為明顯。然后，在燈的半徑方向，只要是在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部設(shè)置在任何位置都可以。例如，內(nèi)側(cè)電極是由管、線圈等形態(tài)而成時(shí)，也可配置在其內(nèi)部。
關(guān)于內(nèi)側(cè)管，至少一個(gè)端部在放電容器的內(nèi)部為開口，而另一個(gè)開口為封閉也可以。
內(nèi)側(cè)電極，例如專利文獻(xiàn)2(日本特開平7-272694號(hào)公報(bào))中所記載的燈那樣，可僅從該內(nèi)側(cè)電極的一個(gè)端部導(dǎo)出。
并且，在外側(cè)電極中，當(dāng)然也不限定在網(wǎng)狀，可適當(dāng)變更。
以下，說明關(guān)本發(fā)明的具體的實(shí)施例，而本發(fā)明并不為此所限定。
(實(shí)施例1)依照下述條件制作圖1所示的構(gòu)造的準(zhǔn)分子燈A1。
放電容器(10)全長約1500mm；內(nèi)側(cè)管(17)材質(zhì)合成石英玻璃，內(nèi)徑約14mm，外徑約16mm(壁厚1mm)；外側(cè)管(11)材質(zhì)合成石英玻璃，外徑26mm，內(nèi)徑24mm(壁厚1mm)；內(nèi)側(cè)電極(14)材質(zhì)鎢，導(dǎo)線束徑0.5mm，線圈直徑13.5mm，軸向間距5mm，全長1300mm(260圈)；外側(cè)電極(13)材質(zhì)不銹鋼，放電用氣體氙氣(封入壓20kPa)。
作為吸氣劑，將以鉭而材質(zhì)而成的直徑0.2mm的金屬線，以間距100％纏繞在內(nèi)側(cè)電極上，在軸向纏上50mm固定。
(實(shí)施例2)依照下述條件制作圖4所示的構(gòu)造的準(zhǔn)分子燈A2。
放電容器(10)全長約1500mm；內(nèi)側(cè)管(17)材質(zhì)合成石英玻璃，內(nèi)徑約14mm，外徑約16mm(壁厚1mm)；外側(cè)管(11)材質(zhì)合成石英玻璃，外徑26mm，內(nèi)徑24mm(壁厚1mm)；內(nèi)側(cè)電極(14)材質(zhì)鈦，導(dǎo)線束徑0.5mm，線圈直徑13.5mm，軸向間距5mm，全長1300mm(260圈)；外側(cè)電極(13)材質(zhì)不銹鋼，放電用氣體氙氣(封入壓20kPa)。
在此實(shí)施例2是以鈦?zhàn)鞒傻膬?nèi)電極作為吸氣劑而作用。
(比較例1)上述實(shí)施例1除不具備內(nèi)側(cè)管(17)這一點(diǎn)之外，同樣構(gòu)造地制作背景技術(shù)的準(zhǔn)分子燈B1。
作為吸氣劑以鉭為材質(zhì)而成的直徑0.2mm的金屬線，在內(nèi)側(cè)電極以間距100％纏繞，在軸向纏上50mm而固定。
使上述準(zhǔn)分子燈A1以由電源施加電壓為5kV、頻率為約50kHz的高頻點(diǎn)燈1000小時(shí)。使上述準(zhǔn)分子燈B1以由電源施加電壓為4.5kV、頻率為約50kHz的高頻點(diǎn)燈1000小時(shí)。
圖8是表示使實(shí)施例1的準(zhǔn)分子燈A1及比較例1的準(zhǔn)分子燈B1點(diǎn)燈時(shí)的照度分布變化的圖。在該圖中橫軸是放電容器的軸向距離，縱軸是各準(zhǔn)分子燈的紫外線照度(相對值)。實(shí)線表示準(zhǔn)分子燈A1(實(shí)施例1)，虛線表示準(zhǔn)分子燈B1(比較例1)的照度分布，記號(hào)的形狀表示點(diǎn)燈時(shí)間。三角記號(hào)是點(diǎn)燈初期(點(diǎn)燈時(shí)間0小時(shí))的紫外線照度，圓形記號(hào)是從點(diǎn)燈經(jīng)過1000小時(shí)后的紫外線照度。
從圖8可明確得知準(zhǔn)分子燈A1可取得較有效果的吸氣劑的作用，與點(diǎn)燈初期的照度分布比較也幾乎無變化。
另一方面，準(zhǔn)分子燈B1為吸氣劑材質(zhì)產(chǎn)生濺射而污染放電容器的內(nèi)壁，在吸氣劑周邊產(chǎn)生極端的照度的低下。
(比較例2)上述實(shí)施例2除不具備內(nèi)側(cè)管(17)這一點(diǎn)之外，同樣構(gòu)造地制作背景技術(shù)的準(zhǔn)分子燈B2。
在此實(shí)施例2中，以鈦?zhàn)鞒傻膬?nèi)電極作為吸氣劑而作用。
使上述準(zhǔn)分子燈A1以由電源施加電壓為5kV、頻率為約50kHz的高頻點(diǎn)燈1000小時(shí)。使上述準(zhǔn)分子燈B1以由電源施加電壓為4.5kV，頻率為約50kHz的高頻點(diǎn)燈1000小時(shí)。
圖9是表示使實(shí)施例2的準(zhǔn)分子燈A2及比較例2的準(zhǔn)分子燈B2點(diǎn)燈時(shí)的照度分布變化的圖。在該圖中橫軸是放電容器的軸向距離，縱軸是各準(zhǔn)分子燈的紫外線照度(相對值)。實(shí)線表示準(zhǔn)分子燈A2(實(shí)施例2)，虛線表示準(zhǔn)分子燈B2(比較例2)的照度分布，記號(hào)的形狀表示點(diǎn)燈時(shí)間。三角記號(hào)是點(diǎn)燈初期(點(diǎn)燈時(shí)間0小時(shí))的紫外線照度，圓形記號(hào)是從點(diǎn)燈經(jīng)過1000小時(shí)后的紫外線照度。
從圖9可明確得知，準(zhǔn)分子燈A2可取得較有效果的吸氣劑的作用，與點(diǎn)燈初期的照度分布比較也幾乎無變化。
另一方面，準(zhǔn)分子燈B2為吸氣劑材質(zhì)產(chǎn)生濺射而污染放電容器的內(nèi)壁，在配置吸氣劑的燈的長度方向幾乎貫穿這個(gè)區(qū)域而產(chǎn)生極端的照度的低下。
從以上結(jié)果可明確得知，依據(jù)本發(fā)明的準(zhǔn)分子燈，配置吸氣劑在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部，由此可封閉熱而促進(jìn)高溫化，可提高不純氣體的吸附效率，并且就算吸氣劑材質(zhì)發(fā)生濺射，也可以避免放電容器的污染。所以，可以長時(shí)間維持高照度。而且，不用在放電容器中設(shè)置吸氣劑用的區(qū)劃區(qū)域(非發(fā)光部區(qū)域)。
其結(jié)果，可提供結(jié)構(gòu)簡單、同時(shí)非發(fā)光部比例小且壽命長而高效率的準(zhǔn)分子燈。
權(quán)利要求
1.一種準(zhǔn)分子燈，具有放電容器，其至少一部份由使紫外線透過的電介質(zhì)材質(zhì)構(gòu)成，且其內(nèi)部封入放電氣體內(nèi)側(cè)電極，其在該放電容器內(nèi)部的長度方向上延伸，并且氣密地被封止在放電容器端部的封止部中；以及外側(cè)電極，其被配置在放電容器的外面，該準(zhǔn)分子燈的特征在于在上述放電容器內(nèi)配置由電介質(zhì)形成的內(nèi)側(cè)管；將上述內(nèi)側(cè)電極插入上述內(nèi)側(cè)管內(nèi)，并且在該內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部配置吸氣劑。
2.如權(quán)利要求1所記載的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，在內(nèi)側(cè)電極的外周部上配置上述吸氣劑。
3.如權(quán)利要求1所記載的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，上述內(nèi)側(cè)電極至少包含鈦、鉭、鋯、鋇的一種以上而構(gòu)成，該內(nèi)側(cè)電極具有吸氣劑的功能。
4.如權(quán)利要求1至3中任1項(xiàng)所記載的準(zhǔn)分子燈，其特征在于，具備內(nèi)側(cè)電極的加熱裝置。
5.一種準(zhǔn)分子燈裝置，其特征在于，具有上述內(nèi)側(cè)管的兩個(gè)端部為開放的權(quán)利要求1至4中任1項(xiàng)所記載的準(zhǔn)分子燈、以及使該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈的點(diǎn)燈電源，使上述準(zhǔn)分子燈的管軸保持在相對于水平面為傾斜的狀態(tài)，使該準(zhǔn)分子燈點(diǎn)燈。
全文摘要
本發(fā)明提供一種具備吸氣劑的準(zhǔn)分子燈，其可謀求提高吸氣劑的功能并防止照度維持率降低，可謀求燈的長壽化。上述準(zhǔn)分子放電燈具有放電容器，其至少一部分由使紫外線透過的電介質(zhì)材質(zhì)構(gòu)成，且其內(nèi)部封入放電氣體內(nèi)側(cè)電極，其在該放電容器內(nèi)部的長度方向上延伸，并且氣密地被封止在放電容器端部的封止部中；以及外側(cè)電極，其被配置在放電容器的外面，該準(zhǔn)分子燈的特征在于在上述放電容器內(nèi)配置由電介質(zhì)形成的內(nèi)側(cè)管；將上述內(nèi)側(cè)電極插入上述內(nèi)側(cè)管內(nèi)，并且在該內(nèi)側(cè)管的內(nèi)部配置吸氣劑。
文檔編號(hào)H01J61/04GK1822312SQ200610008559
公開日2006年8月23日 申請日期2006年2月17日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月17日
發(fā)明者廣瀨賢一 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社