專利名稱：受激準分子燈的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種受激準分子燈，尤其涉及一種夾設電介質(zhì)材料而進行放電的受激準分子燈。
背景技術：
受激準分子燈具有強烈地放射單一波長的真空紫外光的特征，而縱所周知，在使用了例如氙氣作為放電用氣體的受激準分子燈中，放射波長172nm的真空紫外光，而裝載該燈的光照射裝置被使用于附著于液晶面板顯示元件的面板基板表面的有機物的分解除去或面板基板的表面改質(zhì)等。
圖8表示現(xiàn)有的受激準分子燈50，(a)表示管軸方向的剖面圖；(b)表示半徑方向的剖面圖。
受激準分子燈50包括例如由石英玻璃這樣的電介質(zhì)材料構成的外側(cè)管11和內(nèi)側(cè)管12被同軸配置的雙重圓筒管結構的放電容器13，上述外側(cè)管11的端部與內(nèi)側(cè)管12的端部通過焊接而形成側(cè)壁部14。在此些外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12之間形成環(huán)狀放電空間S，在其內(nèi)部封入例如氙氣而作為放電用氣體。在外側(cè)管11的外表面設有網(wǎng)狀外側(cè)電極15，而在內(nèi)側(cè)管12的內(nèi)側(cè)，設有管狀或剖面上在一部分具有缺口的大約C字形狀的內(nèi)側(cè)電極16。通過高頻電壓施加到外側(cè)電極15與內(nèi)側(cè)電極16之間，受激準分子形成在放電空間S內(nèi)，而使該受激準分子進行脫離，從而放射氙受激準分子光。
然而，近年來，隨著照射對象的液晶面板顯示元件的基板的大面積化，受激準分子燈也長尺度化，例如被要求全長超過800mm的受激準分子燈。
在這樣長尺度化的受激準分子燈中，如圖8所示的結構，水平地捆包在捆包容器內(nèi)而以軌道等進行搬運時，因給予燈的沖擊或振動而有產(chǎn)生放電容器破裂的不方便的可能。
尤其是，在熔敷外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12的側(cè)壁部14上會產(chǎn)生損傷或破損。
僅以放電容器13的兩端所支撐的內(nèi)側(cè)管12，若施加燈輸送時的沖擊等，則會使其中央部彎曲，由此，這樣的放電容器13的破損成為產(chǎn)生應力集中在內(nèi)側(cè)管12兩端的熔敷部分的側(cè)壁部14的原因。
如圖9所示，作為用于解決上述問題的手段，提出了在同軸配置了外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12的雙重圓筒管結構的放電容器13中、將支撐板配置于上述外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12之間的結構(參照專利文獻1)。依照該構造，通過支撐板17來支撐內(nèi)側(cè)管12，由此防止其彎曲，可防止放電容器13的裂縫。
然而，由于在發(fā)光部分配置支撐板17，因此有另外產(chǎn)生新的問題的可能。即，在放電空間S內(nèi)配置有支撐板17的部分不會形成放電，還有該支撐板17會遮住來自未配置支撐板17的發(fā)光部分的光，而不能取出至放電容器13外。由此，支撐板17的正下方的被處理物表面的光量會降低，不但會減少整體光量，還會使均勻性不充分。
即使使用光透過性材料作為支撐板17，也無法避免不發(fā)生放電，而且，也無法完全地排除支撐板所致的光吸收，因此無法避免支撐板正下方的被處理物面的光量降低及均勻性的惡化。
專利文獻1日本特開2004-139889號發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明要解決的課題是，提供一種受激準分子燈，即使為了防止放電容器的裂縫而具備支撐板時，也可將支撐板正下方的被處理面的照度降低及均勻性惡化抑制成最小限度。
本發(fā)明的受激準分子燈，具有放電容器，同軸狀地被配置的外側(cè)管與內(nèi)側(cè)管相互在端部焊接，并在兩者間形成環(huán)狀放電空間；以及外側(cè)電極及內(nèi)側(cè)電極，分別被配設在上述外側(cè)管的外表面和內(nèi)側(cè)管的內(nèi)表面，該受激準分子燈在上述外側(cè)管與內(nèi)側(cè)管之間配置有支撐該內(nèi)側(cè)管的支撐板，在上述放電空間內(nèi)填充著生成受激準分子的放電氣體，其特征在于，上述支撐板在半徑方向的剖面中朝光取出方向具有缺口。
發(fā)明的效果在本發(fā)明的受激準分子燈中，在用于防止放電容器的內(nèi)側(cè)管的彎曲并防止放電容器的裂縫等損傷的支撐板上，在其光取出一側(cè)設置缺口，從而在該部分也形成放電，不會降低該部分的照度，而且，作為整體也可使得放電穩(wěn)定且均勻化。此外，具有不會遮斷來自其他發(fā)光部分的光、不會減少光量或惡化均勻性的效果。


圖1表示
具體實施例方式(a)是軸向剖面圖，(b)是半徑方向剖面圖。
圖2是表示其他實施例的半徑方向剖面圖。
圖3表示其他實施例(a)是半徑方向剖面圖，(b)是王要部分軸向剖面圖。
圖4是表示其他實施例的半徑方向剖面圖。
圖5是表示其他實施例的半徑方向剖面圖。
圖6是表示其他實施例的軸向剖面圖。
圖7(a)至圖7(d)是表示用以說明在實施例1至實施例6中、將支撐板20精度優(yōu)異地固定于外側(cè)管11中央部附近的方法的圖。
圖8表示現(xiàn)有例(a)是軸向剖面圖，(b)是半徑方向剖面圖。
圖9表示其他現(xiàn)有例。
具體實施例方式
以下，參照第1圖至第6圖說明本發(fā)明的實施例。在各圖中，或與第8圖與第9圖相同符號是表示相同構件。
(實施例1)在圖1中，(a)是管軸方向剖面圖，(b)是半徑方向剖面圖。
在放電空間S內(nèi)的外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12之間與內(nèi)側(cè)管12相嵌合地設有支撐板20，如(b)所示，在該支撐板20上，朝光取出部方向，在圖示的情況下，朝下方形成缺口21。該缺口21盡量被切成較大，以成為相對于外側(cè)管11支撐內(nèi)側(cè)管12而不會產(chǎn)生妨礙的程度。
上述支撐板20被嵌插在內(nèi)側(cè)管，而其一部分與該內(nèi)側(cè)管12熔敷或粘接22，限制繞內(nèi)側(cè)管12的旋轉(zhuǎn)方向及軸向的移動。
(實施例2)在圖2的實施例2中，形成了缺口21的支撐板20，在其外周的一部分與外側(cè)管11熔敷或粘接23，此外與上述實施例1相同。
如上述實施例1及實施例2所示，可采用支撐板20在內(nèi)周緣被熔敷或粘接于內(nèi)側(cè)管12、或是在外周緣被焊著或粘接于外側(cè)管11的任一種，考慮放電容器13的裝配工序時，最好如實施例1所示，支撐板20被固定在內(nèi)側(cè)管12上。
即，放電容器13的裝配在將支撐板20安裝到內(nèi)側(cè)管12的狀態(tài)下插入到外側(cè)管11內(nèi)，并通過在端部接合兩者而進行，因此，支撐板20被固定在內(nèi)側(cè)管12上，可順利地進行向外側(cè)管11內(nèi)的插入。
(實施例3)在圖3的實施例3中，在支撐板20的缺口21的下方位置，在外側(cè)管11形成有凹處24。該凹處24，以燃燒器烘烤軟化外側(cè)管11的后、推壓棒狀體就可形成。這時候，凹處24是在放電空間S內(nèi)朝上方、即朝外側(cè)管11的上部內(nèi)面方向抬高支撐板20般地作用，而朝外側(cè)管11推壓支撐板20。該凹處24限制支撐板20的旋轉(zhuǎn)方向的動作。
而且，在內(nèi)側(cè)管12形成有形成在支撐板20兩側(cè)的小突起25，限制支撐板20向內(nèi)側(cè)管12的軸向的動作。該小突起25，通過加熱軟化石英玻璃棒而熔敷于內(nèi)側(cè)管12就可形成。
在該實施例3中，利用凹處24使得支撐板20外側(cè)管11相抵接，因而，通過搬運時等的振動可避免支撐板20與外側(cè)管11在其間的微小間隙相撞，可防止支撐板20、特別是外周緣的角部損傷于未然。
(實施例4)在圖4所示的實施例4中，光取出方向的缺口26形成比實施例1至實施例3更大的缺口，使得內(nèi)側(cè)管12的一部分從缺口26露出。
如上所述，若光取出方向在下方時，缺口26被殘留，以便支撐板20覆蓋內(nèi)側(cè)管12的周邊180度以上，可在殘留支撐內(nèi)側(cè)管12的功能的范圍內(nèi)切除。
(實施例5)對于以上的實施例1至實施例4，圖5的實施例5是光取出方向在上方的例子。該實施例的情況下，支撐板20成為從下方支撐內(nèi)側(cè)管12的形態(tài)，而支撐板20的缺口結構，除了上述實施例1～4的結構之外，也可以切成在內(nèi)側(cè)管12周圍的180度以下的范圍內(nèi)支撐。由此，缺口27可切成比實施例1～4的情形更大，在支撐板20上方空間的放電與沒有支撐板的其他部分大致同樣地生成，并且也可進一步減少遮光程度。
此外，在這些實施例4及實施例5中，限制支撐板20的旋轉(zhuǎn)方向及軸向的動作的裝置當然也可采用與實施例1～3同樣的裝置。
(實施例6)作為設置上述各實施例的支撐板20的放電容器13，并不限于圖1至圖5所示的外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12在兩端被結合的放電容器，當然也可適用于圖6所示的兩側(cè)管11、12僅在一端被連結的形狀的放電容器。
在實施例1～6中，支撐板20固定在外側(cè)管11、內(nèi)側(cè)管12的任意一個都可以，但要可靠地固定在外側(cè)管11的中央部附近時最好采用以下方法。圖7是表示在實施例1～6中、用于說明將支撐板20精度優(yōu)異地固定在外側(cè)管11中央部附近的方法的圖。
(第一工序)在將支撐板20固定在固定夾具31的狀態(tài)下插入到要成為外側(cè)管11的第一管111內(nèi)，并配置在第一石英玻璃管111的端部110附近(參照圖7(a))。而且，支撐板20是環(huán)狀，如下述地可貫通內(nèi)側(cè)管12，且具有適合于內(nèi)側(cè)管12之外徑的直徑的孔。
(第二工序)在(a)的狀態(tài)中，通過車床來一邊旋轉(zhuǎn)固定夾具31及第一石英玻璃管111，一邊以燃燒器烘焙第一石英玻璃管111中對應于支撐板20的部位，由此將支撐板20熔敷于第一石英玻璃管111(參照第圖7(b)]。結束該熔敷作業(yè)后，由固定夾具31解放支撐板20。
(第三工序)使第二石英玻璃112與第一石英玻璃111的端部110相抵接，通過車床一邊旋轉(zhuǎn)兩者一邊以燃燒器烘焙兩者的抵接部分，由此使第一石英玻璃管111與第二石英玻璃管112被熔敷而構成外側(cè)管11。由此，可將支撐板20精度優(yōu)異地固定在外側(cè)管11的中央部附近(參照圖7(c))。
而且，對于在上述工序中制作之外側(cè)管11，貫通固定于外側(cè)管11內(nèi)周面的支撐板20的孔地插入內(nèi)側(cè)管12后，外側(cè)管11與內(nèi)側(cè)管12在端部相互熔敷而完成放電容器13。
進而，通過采用上述方法，較長的石英玻璃管未必是筆直的而是彎曲的，因而成為在多個部位需要進行修正的作業(yè)，而較短的石英玻璃管是較筆直的，因而筆直地連接多根該石英玻璃管，由此也具有簡化修正作業(yè)本身的優(yōu)點。
在上述各實施例中，圖示的是支撐板20設在一個部位的例子，但并不限于此，當然對應于放電容器13的長度也可作成設置于多個部位的結構。進而，在上述各實施例中，外側(cè)電極11與內(nèi)側(cè)電極12的結構并不限于此。例如對于外側(cè)電極11，除了圖示的網(wǎng)狀電極之外，也可以將大致半圓簡狀電極設在與光取出一側(cè)相反方向者，而對于內(nèi)側(cè)電極12，例如也可以是線圈狀電極。
如上所述，通過將缺口21、26、27設在防止內(nèi)側(cè)管12的彎曲的支撐板20的光取出方向上，而在該部分也形成有在內(nèi)外側(cè)電極間的放電，并且也不會遮斷來自其他發(fā)光部分的光線，可防止照度降低或不均勻性。
權利要求
1.一種受激準分子燈，具有放電容器，同軸狀配置的外側(cè)管與內(nèi)側(cè)管相互在端部焊接，并在兩者間形成環(huán)狀放電空間；以及外側(cè)電極和內(nèi)側(cè)電極，分別被配設在上述外側(cè)管的外表面和內(nèi)側(cè)管的內(nèi)表面，該受激準分子燈在上述外側(cè)管與內(nèi)側(cè)管之間配置有支撐該內(nèi)側(cè)管的支撐板，在上述放電空間內(nèi)填充著生成受激準分子的放電氣體，其特征在于，上述支撐板在半徑方向的剖面中在光取出方向具有缺口。
2.如權利要求1所述的受激準分子燈，其特征在于，上述支撐板被固定在內(nèi)側(cè)管上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種受激準分子燈，防止支撐板所致的照度降低或均勻性惡化，該支撐板用于防止雙重圓筒型放電容器的內(nèi)側(cè)管的彎曲。在設于構成放電容器的內(nèi)側(cè)管與外側(cè)管之間的、支撐該內(nèi)側(cè)管并防止其彎曲的支撐板上，朝光取出方向形成缺口。
文檔編號H01J65/00GK1713336SQ20051007911
公開日2005年12月28日 申請日期2005年6月24日 優(yōu)先權日2004年6月24日
發(fā)明者廣瀨賢一, 清瀨正秀, 住友卓 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社