像素電極、顯示裝置及像素電極的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)像素電極、顯示裝置及像素電極的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示裝置等平板型顯示裝置中，一般使用像素電極，通過(guò)對(duì)于每個(gè)像素控制顯示光(包括被調(diào)制等的透過(guò)光和反射光)而形成圖像。在液晶顯示裝置等透過(guò)型顯示裝置中，作為像素電極的形成材料，從光透過(guò)性和耐腐蝕性的觀點(diǎn)來(lái)看，使用ιτο(氧化銦錫合金)和IZO(氧化銦鋅合金)等透過(guò)性導(dǎo)電材料。
[0003]但是，在電泳顯示裝置等反射型顯示裝置中，一對(duì)電極中的位于顯示面的相反側(cè)的一方電極不需要具有透過(guò)性，甚至優(yōu)選具有反射性。因此，例如專利文獻(xiàn)I所示，提出了一種電氣光學(xué)裝置，其中，所述一方的電極由如下的導(dǎo)電膜構(gòu)成，該導(dǎo)向膜通過(guò)層疊Al (鋁)膜和由鉬中含有三氧化二鋁的材料構(gòu)成的薄膜而形成。
[0004]但是，由上述的導(dǎo)電膜構(gòu)成的電極，存在下述問(wèn)題:當(dāng)與包括電解質(zhì)的液體接觸時(shí)，容易引起腐蝕(溶解)，耐久性及可靠性有可能下降。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2009-230061號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明為了解決上述問(wèn)題的至少一部分而完成，能夠通過(guò)以下的方式或者適用例而實(shí)現(xiàn)。
[0009](適用例I)本適用例涉及的一種像素電極為在具有顯示層的顯示裝置中使用的像素電極，其中，所述顯示層配置于一對(duì)基板間，所述像素電極的特征在于，包括:第一面與所述顯示層接觸的第一層；以及與所述第一層的與所述第一面相對(duì)的第二面接觸的第二層，所述第一層的電極電位比所述第二層的電極電位低。
[0010]根據(jù)本適用例，在將電壓施加于像素電極的情況下，在像素電極內(nèi)發(fā)生從電極電位低的第一層向電極電位高的第二層的電子的流動(dòng)。其結(jié)果是，在第一導(dǎo)電體層內(nèi)發(fā)生氧化反應(yīng)，在第二層內(nèi)發(fā)生還原反應(yīng)。在這種情況下，即使在顯示層中包括電解質(zhì)，如果能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第二層的露出面積，也能夠限制經(jīng)由顯示層的電子的授受，能夠抑制第一層的氧化反應(yīng)，即，能夠抑制對(duì)于顯示層的溶解。從而，即使在第一層中使用具有溶解性的反射性高的金屬材料的情況下，也能夠確保像素電極的耐久性，能夠?qū)崿F(xiàn)兼顧顯示性能和可靠性的像素電極。
[0011](適用例2)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，所述第二層的端部未被所述第一層覆蓋。
[0012]根據(jù)本適用例，能夠抑制電子從第一層向第二層移動(dòng)，能夠抑制第一層對(duì)于顯示層的溶解。
[0013](適用例3)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，形成有貫通所述第一層和所述第二層的孔。
[0014]根據(jù)本適用例，能夠與該第二層的層厚無(wú)關(guān)地設(shè)定第二層的露出的面積。從而，能夠任意地設(shè)定第二層的層厚，能夠不損傷可靠性而實(shí)現(xiàn)顯示性能高的像素電極。
[0015](適用例4)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，所述第一層的厚度比所述第二層的厚度厚。
[0016]根據(jù)本適用例，不使第二層的露出的面積不必要地增大而能夠形成像素電極。
[0017](適用例5)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，所述第一層由Al或者Al合金形成。
[0018]Al或者Al合金具有高反射性。因此，根據(jù)本適用例，能夠不損傷可靠性而實(shí)現(xiàn)顯不性能尚的像素電極。
[0019](適用例6)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，所述第二層由Ti或者Ti合金形成。
[0020]根據(jù)本實(shí)施方式，Ti或者Ti合金具有高電極電位。因此，這種構(gòu)成能夠抑制第一層的溶解。
[0021](適用例7)本適用例涉及的顯示裝置，其特征在于，具有上述適用例中任一項(xiàng)所述的像素電極。
[0022]根據(jù)本適用例，由于具備上述像素電極，能夠?qū)崿F(xiàn)兼顧顯示性能和可靠性的顯示
目.ο
[0023](適用例8)上述適用例涉及的像素電極，其特征在于，具有安裝端子，所述安裝端子由所述第一層和所述第二層組成。
[0024]上述安裝端子與上述像素電極通過(guò)同一工序形成。安裝端子，與僅由反射性高的第一層構(gòu)成的安裝端子相比，其耐久性提高。因此，根據(jù)本適用例，能夠不增加制造成本而實(shí)現(xiàn)具有可靠性高的安裝端子的顯示裝置。
[0025](適用例9)本適用例涉及的像素電極的制造方法，其特征在于，包括:在絕緣層上形成第二導(dǎo)電體層的工序；在所述第二導(dǎo)電體層上形成第一導(dǎo)電體層的工序，其中，所述第一導(dǎo)電體層具有電極電位低于所述第二導(dǎo)電體層的形成材料的電極電位的材料；以及將所述第一導(dǎo)電體層和所述第二導(dǎo)電體層一起圖案化而形成島狀的電極的工序。
[0026]根據(jù)本適用例，不使第二導(dǎo)電體層的露出的面積不必要地增大而能夠形成像素電極。并且，能夠減少圖案化的工序數(shù)。因此，能夠不增加制造成本而制造顯示性能高的像素電極。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1為示出電泳顯示裝置的構(gòu)成的概要立體圖。
[0028]圖2為示出電泳顯示裝置中的像素等的構(gòu)造的概要截面圖。
[0029]圖3為示出第一實(shí)施方式涉及的像素電極的概要的圖，圖3的(a)為平面圖，圖3的(b)為圖3的(a)的A-A線截面圖，圖3的(c)為圖3的(b)的B所示出的部分的擴(kuò)大圖。
[0030]圖4為示出以給定的時(shí)間將方形波施加至Ti層的露出面積較少的像素電極的結(jié)果的圖。
[0031]圖5為示出以給定的時(shí)間將方形波施加至Ti層的露出面積較多的像素電極的結(jié)果的圖。
[0032]圖6為示出實(shí)驗(yàn)所使用的像素電極的截面的圖，圖6的(a)為Ti層的露出面積較少的像素電極的截面圖，圖6的(b)為Ti層的露出面積較多的像素電極的截面圖。
[0033]圖7的(a)至(d)為示出像素電極的制造方法的工序圖。
[0034]圖8為示出第三?第五實(shí)施方式涉及的像素電極的圖，圖8的(a)為示出第三實(shí)施方式涉及的像素電極的圖，圖8的(b)為示出第四實(shí)施方式涉及的像素電極的圖，圖8的(C)為示出第五實(shí)施方式涉及的像素電極的圖。
[0035]圖9為與比較例一起示出的第六實(shí)施方式涉及的安裝端子的圖，圖9的(a)為示出層疊Al層和Ti層而形成的第六實(shí)施方式涉及的安裝端子的圖，圖9的(b)為示出比較例的安裝端子的圖。
[0036]符號(hào)說(shuō)明
[0037]11元件基板；lla端子部；12相對(duì)基板；13焊線；15安裝端子；15a安裝端子；20電泳層；21黑色粒子；22白色粒子；23分散介質(zhì)；24微膠囊；30 TFT ；33半導(dǎo)體層；
35第一接觸孔；36柵極電極；37第二接觸孔；39密封材料；40柵極絕緣膜；41第一層間絕緣膜；42第二層間絕緣膜；43中繼層；44像素電極；44a像素電極；44b像素電極；44c像素電極；44d像素電極；44e像素電極；45相對(duì)電極；46粘接層；47 Al層；47a Al層前體；48 Ti層；48a Ti層前體；49孔；72光刻膠層；100電泳顯示裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0038]下面，根據(jù)附圖對(duì)于將本發(fā)明具體化的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，為了使說(shuō)明的部分為能夠識(shí)別的狀態(tài)，適當(dāng)擴(kuò)大或者縮小顯示所使用的附圖。
[0039]此外，在以下的方式中，例如記載為“基板上”的情況表示:接觸基板的上而配置的情況；或者，經(jīng)由其他構(gòu)成物而配置于基板上的情況；或者，一部分接觸基板上而配置，一部分經(jīng)由其他構(gòu)成物而配置于基板上的情況。
[0040](第一實(shí)施方式)
[0041]首先，在說(shuō)明本實(shí)施方式涉及的像素電極之前，使用圖1及圖2，例舉電泳顯示裝置作為使用像素電極的顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖1為示出電泳顯示裝置的構(gòu)成的概要立體圖，圖2為示出電泳顯示裝置中的像素等的構(gòu)造的概要截面圖。
[0042](電泳顯示裝置)
[0043]如圖1所示，作為本實(shí)施方式的顯示裝置的電泳顯示裝置100，具有相對(duì)配置的元件基板11及相對(duì)基板12。并且，在上述一對(duì)的基板間配置作為顯示層的電泳層20(參照?qǐng)D2) ο此外，在本實(shí)施方式中，上述的一對(duì)基板均為方形，但不限于該形狀。
[0044]電泳層20在上述一對(duì)基板間具有劃分為矩陣狀的多個(gè)區(qū)域，多個(gè)區(qū)域分別具有作為像素P的功能。也就是說(shuō)，通過(guò)配列為矩陣狀的多個(gè)像素P構(gòu)成顯示區(qū)域E。
[0045]此外，在本實(shí)施方式中，在顯示區(qū)域E中，將矩陣狀配置的像素P的行方向作為X方向，將像素P的列方向作為Y方向，將從元件基板11面向相對(duì)基板12而與X方向及Y方向正交的方向作為Z方向來(lái)說(shuō)明。此外，在Z方向上，將從相對(duì)基板12側(cè)觀察稱為平面視。
[0046]此外，像素P的配置圖案不限于上述的矩陣狀，例如，也可以采用三角狀的配置圖案。
[0047]在此，當(dāng)元件基板11在四邊內(nèi)的一邊側(cè)比相對(duì)基板12大、使元件基板11和相對(duì)基板12在給定的位置相對(duì)配置時(shí)，從相對(duì)基